# 5microns GmbH

> Entwirft, entwickelt, charakterisiert und fertigt Mikrosysteme und Waferprozesse von der Idee bis zur Serie.

## Auf einen Blick

- **Ort:** Ilmenau
- **Website:** https://5microns.de/
- **Verfahren:** UV-Lithografie, Nanoimprint-Lithografie (UV-NIL), Laser-Direktschreiben, Belackung, Nassätzen mit Flusssäure (HF bzw. BOE), Nassätzen mit KOH, Nassätzen mit Metallätzer, Trockenätzen RIE (Reaktives Ionenätzen), Trockenätzen DRIE (Deep Reactive Ion Etching), Sputterätzen, HF-Dampfätzen, PVD-Beschichtung (Sputtern und Bedampfen), Reaktivsputtern, LPCVD-Beschichtung, PECVD-Beschichtung (CCP & ICP), Oxidation, Wafersäge, Drahtbonden, Thermokompressionsbonden, Löten
- **Werkstoffe:** UV-Lithografie, Nanoimprint-Lithografie (UV-NIL), Laser-Direktschreiben, Nassätzen (HF/BOE, KOH, Metallätzer), Trockenätzen (RIE, DRIE, Sputterätzen, HF-Dampf), PVD (Sputtern, Bedampfen, Reaktivsputtern), LPCVD / PECVD (CCP & ICP), Oxidation, Backend (Wafersäge, Drahtbonden, Thermokompressionsbonden, Löten)
- **Zertifikate:** Optische und taktile Profilometrie, Rasterelektronenmikroskopie (REM), Ellipsometrie, ISO 9001
- **Branchen:** Mikrosystemtechnik, MEMS, Optik/Photonik, Mittelstand, Mittelstand / Mikrosystemtechnik, Optik/Photonik (impliziert über OptoNet-Netzwerk)
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/5microns

## Über uns

Die 5microns GmbH aus Ilmenau ist ein Technologiedienstleister für Mikrosystemtechnik, der auf den Mittelstand als Zielgruppe spezialisiert ist. Das Unternehmen entwirft, entwickelt, charakterisiert und fertigt Mikrosysteme und Waferprozesse im Kundenauftrag – von der Idee über den Entwurf und die Prototypen- bzw. Kleinserienfertigung bis zur Überführung in eine Großserienfertigung oder den Aufbau eigener Fertigungsressourcen beim Kunden. Das Technologieportfolio umfasst Lithografie (UV-Lithografie, Nanoimprint-Lithografie, Laser-Direktschreiben, Belackung), Nassätzen (HF/BOE, KOH, Metallätzer), Trockenätzen (RIE, DRIE, Sputterätzen, HF-Dampf), Beschichtungstechniken wie PVD, Reaktivsputtern, LPCVD, PECVD und Oxidation sowie Backend-Prozesse wie Wafersäge, Drahtbonden, Thermokompressionsbonden und Löten. Zur Qualitätssicherung stehen optische und taktile Profilometrie, REM und Ellipsometrie zur Verfügung. Über den Zugang zu Reinräumen und die Nähe zur TU Ilmenau bedient die Firma Kunden aus Mikrosystemtechnik, MEMS und Photonik und begleitet sowohl Erstanwender als auch Spezialisten über den gesamten Produktentstehungszyklus.

## Verfahren & technische Grenzen

- UV-Lithografie, Losgröße Prototyp–Kleinserie
- Nanoimprint-Lithografie (UV-NIL)
- Laser-Direktschreiben
- Belackung
- Nassätzen mit Flusssäure (HF bzw. BOE)
- Nassätzen mit KOH
- Nassätzen mit Metallätzer
- Trockenätzen RIE (Reaktives Ionenätzen)
- Trockenätzen DRIE (Deep Reactive Ion Etching)
- Sputterätzen
- HF-Dampfätzen
- PVD-Beschichtung (Sputtern und Bedampfen)
- Reaktivsputtern
- LPCVD-Beschichtung
- PECVD-Beschichtung (CCP & ICP)
- Oxidation
- Wafersäge
- Drahtbonden
- Thermokompressionsbonden
- Löten
- Optische und taktile Profilometrie
- REM (Rasterelektronenmikroskopie)
- Ellipsometrie
- Entwurf von Mikrosystemen
- Entwicklung und Charakterisierung von MEMS-Prototypen
- Mikrofertigung sowie Prozessierung von Wafern, Losgröße Prototyp–Kleinserie
- Beratung im gesamten Produktentstehungszyklus (von der Idee bis zur Serie)
- Überführung in Großserienfertigung / Aufbau eigener Fertigungsressourcen

## Standorte

- Ilmenau – Hauptsitz mit Fertigung und Messtechnik

## Kontakt

- Margarethenstr. 6
- 98693 Ilmenau
- +49 3677 799639-0
- kontakt@5microns.de