# Advanced Mask Technology Center GmbH & Co. KG

> Entwicklung und Produktion von Photolithographiemasken für die weltweite Halbleiterindustrie – von 250 nm bis EUV.

## Auf einen Blick

- **Ort:** Dresden
- **Website:** https://amtc-dresden.com
- **Gegründet:** 2002
- **Mitarbeiter:** 320
- **Verfahren:** Photomaskenherstellung (Entwicklung und Produktion von Photolithographiemasken), Photomasken für 193-nm-Trocken-Lithographie, Photomasken für 193-nm-Immersions-Lithographie (Einzel- und Mehrfachbelichtung), Photomasken für EUV-Lithographie, Maskenproduktion 250 nm bis 12-nm-Technologie, Datenverarbeitung (Schaltungslayout-Bearbeitung im Hochleistungs-Computer-Cluster), Elektronenstrahlschreiben, Laserstrahlschreiben, Nasschemische Lackentwicklung, Plasmaätzen, Optische, AFM- und Elektronenstrahlmessung, Inspektion, Laser- und Ionenstrahlreparatur, Ioneninduzierte Abscheidung, Pelliclemontage, Reinigung von Photomasken, Entwicklung von Photolithographiemasken, Produktion von Photomasken (193-nm-Trocken- und Immersions-Lithographie, Einzel- und, Maskengenerationen 250 nm bis 12 nm, Pilotlinie
- **Werkstoffe:** Quarz (hochreine Quarz-Platten/Glassubstrate), Glas (hochreine Glasscheiben), Photoaktiver Lack (Resist), Absorberschicht-Material, Siliziumsubstrat (Wafer), Hochreine Quarz-Platten, Hochreine Glassubstrate
- **Zertifikate:** ISO 9001, ISO 14001 (zertifiziertes Umweltmanagementsystem seit 2006), ISO 50001 (Energiemanagementsystem), ISO 27001 (nur Rechenzentren des Hinweisgeberportals EQS), ISO 14001, ISO 50001, IATF 16949, EN 9100
- **Branchen:** Halbleiterindustrie, Halbleiterfertigung (Wafer/Fabriken)
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/advanced-mask-technology-center

## Über uns

Das Advanced Mask Technology Center (AMTC) mit Sitz in Dresden ist ein Joint Venture von GlobalFoundries und Tekscend Photomask und produziert seit 2002 Photolithographiemasken. Photomasken sind hochreine Quarz- oder Glassubstrate, die präzise Abbildungen von integrierten Schaltkreisen enthalten und als Werkzeug in Halbleiterfabriken zur Belichtung von Silizium-Wafern eingesetzt werden. Zum Produktportfolio zählen Masken für die 193-nm-Trocken- und Immersions-Lithographie (Einzel- und Mehrfachbelichtung) sowie für die EUV-Lithographie; die produzierten Maskengenerationen reichen von 250 nm bis 12 nm Technologie. Der mehrstufige Fertigungsprozess umfasst Datenverarbeitung in einem Hochleistungs-Computer-Cluster, Elektronen- und Laserstrahlschreiben, nasschemische Lackentwicklung, Plasmaätzen, Mess- und Inspektionstechnik, Laser- und Ionenstrahlreparatur sowie Pelliclemontage. Rund 320 Mitarbeitende fertigen 24 Stunden am Tag, 365 Tage im Jahr auf einer Produktionsfläche von 30.000 m². Das AMTC beliefert Halbleiterfabriken auf der ganzen Welt und ist eingebettet in das Cluster Silicon Saxony.

## Verfahren & technische Grenzen

- Photomaskenherstellung (Entwicklung und Produktion von Photolithographiemasken)
- Photomasken für 193-nm-Trocken-Lithographie
- Photomasken für 193-nm-Immersions-Lithographie (Einzel- und Mehrfachbelichtung)
- Photomasken für EUV-Lithographie
- Maskenproduktion 250 nm bis 12-nm-Technologie
- Datenverarbeitung (Schaltungslayout-Bearbeitung im Hochleistungs-Computer-Cluster)
- Elektronenstrahlschreiben
- Laserstrahlschreiben
- Nasschemische Lackentwicklung
- Plasmaätzen
- Optische, AFM- und Elektronenstrahlmessung
- Inspektion
- Laser- und Ionenstrahlreparatur
- Ioneninduzierte Abscheidung
- Pelliclemontage
- Reinigung von Photomasken

## Maschinenpark

- 1× Multibeam-Maskenschreiber IMS Nanofabrication
- Elektronenstrahlschreiber
- Laserstrahlschreiber
- Elektronenstrahl-Mikroskope
- Inspektions-Anlagen
- Hochleistungs-Computer-Cluster
- 1× Großwärmepumpe

## Standorte

- Dresden – Hauptsitz, Entwicklung und Produktion (Maskenzentrum)

## Historie

- 2002: Mai: Unternehmensgründung mit Infineon Technologies AG, DuPont Photomasks, Inc. (später Toppan Photomasks) und AMD; Gründungszweck: Produktion optischer Photomasken, Pilotlinie. Juni: Grundsteinlegung in Dresden.
- 2003: April: Lieferung der Anlagen; Oktober: Fertigstellung der ersten Maske.
- 2004: Start der Pilotproduktion.
- 2005: Ende: Produktion vollständig ausgerüstet.
- 2008: Januar: Anteilsübertragung von Infineon Technologies AG auf Qimonda AG.
- 2009: Ausschluss der Qimonda AG; AMD und Toppan Photomasks bleiben Gesellschafter.
- 2012: April: Übertragung der Gesellschaftsanteile von AMD auf GlobalFoundries; teilweise Übertragung der Produktion von Toppan Deutschland auf AMTC; neuer Gründungszweck: Entwicklung & Herstellung optischer Photomasken.
- 2022: 20 Jahre AMTC – 20 Jahre Maskengeschichte in Dresden.
- 2024: November: Vorstellung Europas ersten Multibeam-Maskenschreibers (Tekscend Photomask/IMS Nanofabrication); Oktober: Beitritt zum Verein „Wirtschaft für ein weltoffenes Sachsen“.
- 2025: Juni: Inbetriebnahme einer neuen Großwärmepumpe; Reduzierung des Energieaufwands pro Maske seit 2013 um über 60 %.
- 2026: Februar: Kooperation mit DAS Environmental Experts (DAS EE) zur nachhaltigen Abgasbehandlung.

## Kontakt

- Rähnitzer Allee 9
- 01109 Dresden
- +49 351 4048185