# atp GmbH

> Prozessanlagen für nasschemische Anwendungen: Nassprozessanlagen, Chemieversorgungssysteme und Sonderanlagen aus eigener Fertigung.

## Auf einen Blick

- **Ort:** Ötzingen
- **Website:** https://www.atp-gmbh.de
- **Gegründet:** 1992
- **Verfahren:** Nassprozessanlagen / Nassbänke (Ätzen und Reinigen von Siliziumwafern), Manuelle Nassprozessanlagen, Halbautomatische Nassprozessanlagen / Front-End-Reinigungsanlage, Automatische Nassbank, Laborabzüge für Reinraum- und Laborbereiche, Chemieversorgungssysteme (Reinstchemikalienversorgung), Entsorgungsmodule (Entsorgungskabinette für Säuren/Laugen, Lösemittel), Misch- und Dosiersysteme für Ätzlösungen (Lösemittel, Laugen), IPA-Trockner für Wafer, Spin Rinse Dryer, Refurbishment von Legacy-Tools (SAT-/SST-Anlagen) mit neuer Steuerung und Visualisierung, SAT-Anlagen (Sprühanlagen für Ätz-/Reinigungsaufgaben, Oxidschichtentfernung, Fotoresist-Stripping,, SST-Anlagen, Tube Cleaner zur Reinigung von Quarzrohren (horizontal/vertikal), Anlagen zur Neutralisation und Filtration chemischer Abwässer, Prozesslösungen für CMP-Abwässer, Kundenspezifische Sonderanlagen für Oberflächenbehandlung und nasschemische Prozesse, Nassprozessanlagen für die Solarzellenfertigung, Planung & Konstruktion / mechanische Konstruktion, Verfahrens- & Elektrotechnik (Anlagenaufbau, EMSR-Technik)
- **Werkstoffe:** Siliziumwafer, Quarz (Prozessrohre), PFA (medienberührend, Verrohrung), PVDF, PP (PP-weiss, FM4910), PE, PVC weiss (FM4910), Kunststoffkomponenten und Baugruppen (SemiPlast-Kooperation), PFA, PP-weiss (FM4910), Quarz, Kunststoffkomponenten & Baugruppen
- **Zertifikate:** Reinraum-Endmontage
- **Branchen:** Halbleiterindustrie, Solarindustrie, Sondermaschinenbau, Forschung & Entwicklung, Medizintechnik, Automotive, Dentaltechnologie
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/atp

## Über uns

Die atp GmbH (advanced technology process) entwickelt und fertigt seit 1992 Prozess-, Produktions- und Laboranlagen für die Halbleiterindustrie, Solarindustrie und den Sondermaschinenbau. Das Leistungsspektrum umfasst Nassprozessanlagen (manuelle Nassbänke, halbautomatische und automatische Anlagen zum Ätzen und Reinigen von Siliziumwafern bis 12"), Chemieversorgungssysteme in redundantem Aufbau, Misch- und Dosiersysteme, Entsorgungsmodule, Trocknungssysteme wie IPA-Trockner und Spin Rinse Dryer sowie kundenspezifische Sonderanlagen wie Tube Cleaner für Quarzrohre und Anlagen zur Abwasserneutralisation. Sämtliche Schritte der Prozesskette – Planung, Konstruktion, Verfahrens- und Elektrotechnik, SPS-Programmierung, Fertigung, Abnahme und Inbetriebnahme – erfolgen im eigenen Haus. Der Standort Ötzingen im Westerwald bietet 1.200 m² Produktionsfläche sowie einen 60 m² Reinraum für die Endmontage. Zusätzlich realisiert das Unternehmen Refurbishment von Legacy-Tools (SAT/SST).

## Verfahren & technische Grenzen

- Nassprozessanlagen / Nassbänke (Ätzen und Reinigen von Siliziumwafern)
- Manuelle Nassprozessanlagen
- Halbautomatische Nassprozessanlagen / Front-End-Reinigungsanlage, max. Länge Wafer bis 12"
- Automatische Nassbank
- Laborabzüge für Reinraum- und Laborbereiche
- Chemieversorgungssysteme (Reinstchemikalienversorgung), Losgröße Chemikalienversorgung 200 L–Chemikalienversorgung 1000 L
- Entsorgungsmodule (Entsorgungskabinette für Säuren/Laugen, Lösemittel), Losgröße 200 L–1000 L
- Misch- und Dosiersysteme für Ätzlösungen (Lösemittel, Laugen)
- IPA-Trockner für Wafer, max. Länge Wafer bis 8"
- Spin Rinse Dryer
- Refurbishment von Legacy-Tools (SAT-/SST-Anlagen) mit neuer Steuerung und Visualisierung
- SAT-Anlagen (Sprühanlagen für Ätz-/Reinigungsaufgaben, Oxidschichtentfernung, Fotoresist-Stripping,
- SST-Anlagen
- Tube Cleaner zur Reinigung von Quarzrohren (horizontal/vertikal)
- Anlagen zur Neutralisation und Filtration chemischer Abwässer
- Prozesslösungen für CMP-Abwässer
- Kundenspezifische Sonderanlagen für Oberflächenbehandlung und nasschemische Prozesse
- Nassprozessanlagen für die Solarzellenfertigung
- Planung & Konstruktion / mechanische Konstruktion
- Verfahrens- & Elektrotechnik (Anlagenaufbau, EMSR-Technik)
- Programmierung & Automatisierung (Schaltplanerstellung, SPS-Programmierung)
- Installation, Inbetriebnahme, Reinraummontage & Service

## Maschinenpark

- Manuelle Nassprozessanlage / Nassbank atp GmbH MWP new generation
- Halbautomatische Nassprozessbank atp GmbH
- Automatische Nassbank atp GmbH
- Laborabzug atp GmbH
- Chemieversorgungssystem atp GmbH smart line
- Entsorgungskabinett Säure/Laugen atp GmbH
- Entsorgungskabinett Lösemittel atp GmbH
- Misch- und Dosiersystem atp GmbH atp smart line
- IPA-Trockner atp GmbH
- Spin Rinse Dryer atp GmbH
- SAT-Anlage (Sprühätz-/Reinigungsanlage) atp GmbH
- SST-Anlage atp GmbH
- Horizontal Tube Cleaner (Quarzrohrreinigung) atp GmbH
- Vertikale Quarzrohrreinigungsanlage atp GmbH
- SPS-Steuerung mit Visualisierung Siemens TIA Portal
- Pneumatikkomponenten Festo / SMC
- 1× Reinraum für Endmontage

## Standorte

- Ötzingen – Produktion, Engineering, Reinraum-Endmontage

## Historie

- 1992: Gründung der atp GmbH durch Peter Becker und Michael Manns in Wirges, Westerwald.
- 1995: Produktionsstart am Standort Ötzingen.

## Kontakt

- Neubitz 3
- 56244 Ötzingen
- +49 2602 67016-0
- info@atp-gmbh.de