# ATU GmbH – Analytik für Technik und Umwelt

> Labor für chemische und physikalische Analytik: Fehleranalyse, Reinstmedien, Ultraspuren, Prozessentwicklung

## Auf einen Blick

- **Ort:** Herrenberg
- **Website:** https://www.atu-lab.de
- **Gegründet:** 1996
- **Mitarbeiter:** 13
- **Verfahren:** Fehleranalytik / Schadensanalytik, Produktanalytik (Zusammensetzung, Sauberkeit, Oberfläche), Analyse von Verunreinigungen mittels ICP-OES, ICP-MS, GC-MS, IC, Analyse von Rückständen und Ablagerungen mittels ICP-OES, ICP-MS, GC-MS, REM-EDX, FTIR, Untersuchung von Verunreinigungen und Oberflächendefekten (Lichtmikroskopie, LIBS, REM-EDX, XPS), Untersuchung organischer Rückstände mit GC-MS oder FTIR, Schichtdicken- und Schichtzusammensetzungsanalyse am Querschliff (Lichtmikroskopie, REM-EDX), Werkstoffzusammensetzungsanalyse mittels ICP-OES oder REM-EDX, Prüfung der technischen Sauberkeit nach ISO 16232 / VDA 19, Oberflächenkontaminationsanalyse mittels XPS / ESCA, Messung von Raumluft auf partikuläre oder chemische Verunreinigungen, Untersuchung von Prozessmedien auf Reinheit, Qualifikation von Leiterplatten nach IPC-A-600 und Baugruppen nach IPC-A-610, Tests nach IPC-TM-650, Fehleranalyse elektronischer Komponenten (elektrisch, Wärmebildkamera, Licht-/REM-Mikroskopie), SIR-Tests (Surface Insulation Resistance) im Klimaschrank, Ultraspurenanalytik von Silizium- und Siliziumcarbidwafern (IC, ICP-MS), Leach-Out Tests von Kunststoffen nach SEMI F40/F57, Restgasanalysen (RGA) nach ASML-Vorschrift, Partikelmessungen in Chemikalien und Reinstwässern, Untersuchung von Reinstmedien (Gase, Reinstwasser, Chemikalien)
- **Werkstoffe:** Siliziumwafer, Siliziumcarbidwafer, Kunststoffe, Leiterplatten (PCB), Reinstwasser (UPW), Reinstgase, Chemikalien
- **Zertifikate:** ISO 9001:2015, ISO 9001:2015 (DEKRA, Nr. 90302174/8)
- **Branchen:** Halbleiterindustrie, Elektronik / Leiterplatten (PCB), Automotive, Maschinenbau, Chemische Industrie, Medizintechnik (Produktlebensdauerversuche)
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/atu-analytik-fuer-technik-und-umwelt

## Über uns

Die ATU GmbH ist ein Dienstleistungslabor für chemische und physikalische Analytik mit Sitz in Herrenberg. Das Unternehmen entstand 1996 durch Management-Buyout aus dem ehemaligen IBM-Zentrallabor, das die Halbleiter-, Mehrschichtkeramik- und Leiterplattenfertigung der IBM Deutschland unterstützte. Zu den Leistungsangeboten zählen Fehler- und Schadensanalyse, Produktanalytik, die Untersuchung von Reinstmedien wie Reinstwasser, Reinstgasen und Chemikalien sowie Prozessentwicklung einschließlich Plasmabeschichtung, Plasmareinigung, Ultrareinigung und Produktlebensdauerversuchen. Das methodische Spektrum umfasst unter anderem ICP-MS, ICP-OES, Ionenchromatographie, GC-MS, FTIR, XPS/ESCA, LIBS, REM-EDX sowie Lichtmikroskopie und Materialographie; auch Prüfung der technischen Sauberkeit nach ISO 16232/VDA 19 und Leiterplattenqualifikation nach IPC-Normen gehören zum Angebot. Kunden kommen aus der Halbleiterindustrie, der Elektronikbranche, der Automobilindustrie, dem Maschinenbau und der chemischen Industrie. Im Labor auf 650 m² in Herrenberg sind 13 festangestellte Mitarbeiter tätig, die neben Messwerten auch Beratung zu Methodik und Ergebniseinordnung bieten.

## Verfahren & technische Grenzen

- Fehleranalytik / Schadensanalytik
- Produktanalytik (Zusammensetzung, Sauberkeit, Oberfläche)
- Analyse von Verunreinigungen mittels ICP-OES, ICP-MS, GC-MS, IC
- Analyse von Rückständen und Ablagerungen mittels ICP-OES, ICP-MS, GC-MS, REM-EDX, FTIR
- Untersuchung von Verunreinigungen und Oberflächendefekten (Lichtmikroskopie, LIBS, REM-EDX, XPS)
- Untersuchung organischer Rückstände mit GC-MS oder FTIR
- Schichtdicken- und Schichtzusammensetzungsanalyse am Querschliff (Lichtmikroskopie, REM-EDX)
- Werkstoffzusammensetzungsanalyse mittels ICP-OES oder REM-EDX
- Prüfung der technischen Sauberkeit nach ISO 16232 / VDA 19
- Oberflächenkontaminationsanalyse mittels XPS / ESCA
- Messung von Raumluft auf partikuläre oder chemische Verunreinigungen
- Untersuchung von Prozessmedien auf Reinheit
- Qualifikation von Leiterplatten nach IPC-A-600 und Baugruppen nach IPC-A-610, Tests nach IPC-TM-650
- Fehleranalyse elektronischer Komponenten (elektrisch, Wärmebildkamera, Licht-/REM-Mikroskopie)
- SIR-Tests (Surface Insulation Resistance) im Klimaschrank
- Ultraspurenanalytik von Silizium- und Siliziumcarbidwafern (IC, ICP-MS)
- Leach-Out Tests von Kunststoffen nach SEMI F40/F57
- Restgasanalysen (RGA) nach ASML-Vorschrift
- Partikelmessungen in Chemikalien und Reinstwässern
- Untersuchung von Reinstmedien (Gase, Reinstwasser, Chemikalien)
- Online-TOC-Analytik (Total Organic Carbon) vor Ort
- Plasmareinigung
- Plasmabeschichtung
- Ultrareinigung (Entwicklung und Durchführung, inkl. Partikel-, Ionen- und ICP-MS-Messungen)
- Produktlebensdauerversuche
- Prozessentwicklung
- Tiefenprofilierung mittels Argonsputtern und XPS bzw. LIBS
- Kompatibilitätstests von Sensoren/Steuergeräten mit Medien
- Untersuchung von Brennstoffzellenkomponenten (REM-EDX, XPS, IC, ICP-OES, ICP-MS)
- Materialographie

## Maschinenpark

- Gaschromatographie
- Gaschromatographie-Massenspektrometrie (GC-MS)
- ICP-OES (optische Emissionsspektroskopie)
- ICP-MS (Massenspektrometrie)
- REM-EDX (Rasterelektronenmikroskop mit Röntgenspektroskopie)
- XPS / ESCA (Photoelektronenspektroskopie)
- FTIR (Infrarotspektroskopie)
- LIBS (Laser-Induzierte Breakdown-Spektroskopie)
- Ionenchromatographie (IC)
- Lichtmikroskopie
- TD-MS (Thermodesorption-Massenspektrometrie)
- Wärmebildkamera
- Klimaschrank (für SIR-Tests)
- Anlage für Plasmabeschichtung und -reinigung
- Online-TOC-Analysesystem

## Standorte

- Herrenberg – Labor / Hauptsitz mit 650 m² Laborfläche

## Historie

- 1996: Gründung der ATU GmbH nach Management-Buyout aus dem ehemaligen IBM-Zentrallabor zur Unterstützung der Halbleiter-, Mehrschichtkeramik- und Leiterplattenfertigung der IBM Deutschland
- 1996–2026: Leitung durch Wolfgang Erlmann und Hans-Dieter Schmidt
- 2026-10: Hans-Dieter Schmidt wird alleiniger Geschäftsführer
- 2025-10: Neue Verbandsmitgliedschaften: Silicon Saxony Association und SEMI Europe
- 2026: Erfolgreiche Rezertifizierung des Qualitätsmanagementsystems nach ISO 9001 (Zertifikat gültig bis 02.08.2029)

## Kontakt

- Hertzstr. 17
- 71083 Herrenberg
- +49 7032 7960-0
- info@atu-lab.de