# AURION Anlagentechnik GmbH

> Entwickelt individuelle Plasmaanlagen für Reinigung, Beschichtung und Ätzen sowie Hochfrequenzkomponenten.

## Auf einen Blick

- **Ort:** Seligenstadt
- **Website:** https://aurion.de/de/
- **Verfahren:** Plasmareinigung, Plasmabeschichtung, Atmosphärendruck-Plasmaquellen, Atmosphärendruck-Sputtern, RIE (Reaktives Ionenätzen), PECVD, Mikrowellen-Downstream-Plasma, PVD (Sputtern), Niederdruckplasma, Beratungsdienstleistungen, Schulungen
- **Werkstoffe:** Atmosphärendruck-Plasma (KIVOS), Reaktives Ionenätzen, Mikrowellen-Downstream-Plasma, PVD-Sputtern, PECVD, Hochfrequenzkomponenten
- **Branchen:** Big Science / Forschung (Teilchenbeschleuniger), Oberflächentechnik / Vakuumtechnik
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/aurion-anlagentechnik

## Über uns

AURION Anlagentechnik GmbH mit Sitz in Seligenstadt entwickelt und fertigt spezifische Plasmaanlagen und plasmatechnische Komponenten. Das Portfolio umfasst Atmosphärendruck-Plasmaquellen (KIVOS-Konzept), Anlagen für atmosphärisches Sputtern, Reaktives Ionenätzen (RIE), Mikrowellen-Downstream-Plasma, PVD-Sputteranlagen sowie PECVD-Anlagen, einschließlich Cluster- und Inline-Lösungen. Daneben bietet das Unternehmen hochfrequenztechnische Komponenten wie automatische Impedanz-Anpassungsnetzwerke (Matchboxen), Schalter, Filter, Power Splitter und Phasenschieber sowie HF-Systeme für Teilchenbeschleuniger an. Jede Anlage wird im Rahmen eines kundenspezifischen Projektzyklus entwickelt und eng mit dem Kunden abgestimmt. Ergänzend bietet AURION Beratungsdienstleistungen und Schulungen auf den Gebieten Plasma- und Hochfrequenztechnik. Kunden stammen unter anderem aus der Forschung (Big Science, Teilchenbeschleuniger) sowie aus Oberflächen- und Vakuumtechnik.

## Verfahren & technische Grenzen

- Plasmareinigung
- Plasmabeschichtung
- Atmosphärendruck-Plasmaquellen
- Atmosphärendruck-Sputtern
- RIE (Reaktives Ionenätzen)
- PECVD
- Mikrowellen-Downstream-Plasma
- PVD (Sputtern)
- Niederdruckplasma

## Maschinenpark

- Atmosphärendruck-Plasmaanlage AURION KIVOS
- RIE-Anlage AURION
- Mikrowellen-Downstream-Plasmaanlage AURION
- PVD-Sputteranlage AURION
- PECVD-Anlage AURION
- Cluster- und Inline-Anlagen (Plasma) AURION

## Standorte

- Seligenstadt – Hauptsitz: Entwicklung, Fertigung und Vertrieb

## Kontakt

- Am Sandborn 14
- 63500 Seligenstadt
- +49 6182 9628-0
- neue_wege@aurion.de