# Brooks Automation

> Automations- und Kontamination-Control-Lösungen für die Halbleiter- und Life-Science-Industrie

## Auf einen Blick

- **Ort:** Chelmsford, MA, USA
- **Website:** https://www.brooks.com
- **Gegründet:** 1978
- **Mitarbeiter:** 2000+
- **Verfahren:** Vacuum Automation – präziser Substrattransport in Vakuum-Umgebungen, Advanced Packaging Automation, Contamination Control – Messen, Analysieren, Reinigen und Schützen kritischer Carrier, Interface Automation – Materialfluss und Factory-Integration (Load Ports, SMIF, EUV Reticle, Reticle Management & Lithography Automation, Lab Automation – Labor-Workflows, Sample Handling, analytische Prozesse, Pathway™ Service – Repair, Refurbishment, Upgrades, Diagnostics, Lifecycle Support, Automatisierte Probenmanagementsysteme (Life Science), Service, Training und 24/7-Support (Pathway Service), Reparatur und Refurbishment (OEM-Standard), Upgrades/Retrofit von Komponenten, Diagnostik, Health Checks, Lifecycle-Planung, Serviceverträge, Ersatzteile, präventive Wartung, Kundentechniker-Zertifizierungen (globale Trainingscenter), Kontamination Control (Reinigung, Messung, Analyse), Anwendungsspezifische Automatisierungskonstruktion
- **Werkstoffe:** Wafer (300mm), Wafer (200mm), Compound Semiconductor Substrate, Reticle (EUV), Wafer 300 mm, Wafer 200 mm
- **Zertifikate:** ISO 9001:2015, ISO 13485:2016
- **Branchen:** Halbleiterfertigung, Advanced Packaging, Life Sciences / Lab Automation, Klinische Diagnostik, Industrieautomation
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/brooks-automation

## Über uns

Brooks Automation ist ein weltweit tätiger Anbieter von Automations- und Kontamination-Control-Lösungen mit Sitz in Chelmsford, Massachusetts (USA). Das Unternehmen entwickelt und fertigt Vakuumroboter (MagnaTran®), modulare Vakuumsysteme (Marathon®), Load-Port- und SMIF-Interfacesysteme sowie Automatisierungslösungen für Advanced Packaging, Reticle Management und Laborautomation. Mehr als 100.000 Brooks-Automationslösungen laufen rund um die Uhr in halbleiterfertigenden Fabs; über 70.000 ausgelieferte Roboter transportieren schätzungsweise 50 Milliarden Wafer pro Jahr. Die Lösungsangebote beruhen auf Kompetenzen in Mechatronik, Materialwissenschaft, Thermodynamik, Vision, Robotik und Oberflächentechnik. Brooks bedient Halbleiterhersteller, OEMs und Life-Science-Kunden über ein globales Netzwerk von Entwicklungs-, Fertigungs-, Service- und Supportstandorten. In Deutschland unterhält das Unternehmen Niederlassungen in Steißlingen und Dresden. Neben Neuentwicklungen bietet Brooks mit Pathway™ Service Reparatur, Refurbishment, Upgrades, Diagnostik und Lifecycle-Support für installierte Systeme.

## Verfahren & technische Grenzen

- Vacuum Automation – präziser Substrattransport in Vakuum-Umgebungen
- Advanced Packaging Automation
- Contamination Control – Messen, Analysieren, Reinigen und Schützen kritischer Carrier
- Interface Automation – Materialfluss und Factory-Integration (Load Ports, SMIF, EUV Reticle
- Reticle Management & Lithography Automation
- Lab Automation – Labor-Workflows, Sample Handling, analytische Prozesse
- Pathway™ Service – Repair, Refurbishment, Upgrades, Diagnostics, Lifecycle Support
- Automatisierte Probenmanagementsysteme (Life Science)

## Maschinenpark

- über 70.00× Vakuumroboter Brooks MagnaTran®
- Hochtemperatur-Vakuumroboter Brooks MagnaTran® High-Temperature Robots
- Vakuumroboter-Plattform Brooks Leap™ Vacuum Robot Platforms
- über 10.00× Modulare Vakuumsysteme Brooks Marathon® Vacuum Systems
- EFEM-Plattform (Atmospheric) Brooks Marathon® EFEM Platforms
- über 10.00× Load Port Systeme Brooks Vision LEAP Load Ports
- SMIF-Interface Brooks SMIF, Versaport
- EUV Reticle Loadport Brooks EUV Reticle Loadport
- Identifikationssystem Brooks Auto ID
- Kollaborative Roboter Brooks PreciseFlex
- Kryopumpen, Kryofüller und Kompressoren Brooks

## Historie

- 1978: Gründung durch Norman und Frank Brooks.
- 2002: Übernahme von Intelligent Automation Systems, Inc. (Cambridge, MA).
- 2011: Erwerb der Celigo Zellzytometer-Produktlinie von Cyntellect; Übernahme von Nexus Biosystems.
- 2012: Erwerb immaterieller Vermögenswerte von Intevac; Übernahme von Crossing Automation Inc.
- 2014: Verkauf des Geschäftsbereichs Granville-Phillips an MKS Instruments (abgeschlossen 30.05.2014).
- 2017: Erwerb von 4titude (Labormaterialien).
- 2018: Übernahme von GENEWIZ (Genomikdienstleister).
- 2022: David Jarzynka wird CEO, David Pietrantoni wird CFO (Februar 2022).
- 2024: Robin Vacha wird SVP und GM Semiconductor Group; ISO 9001 Erstzertifizierung Livermore (Juli 2024).
- 2025: Robert Caveney wird Chief Technology Enablement Officer; 100% Stromverbrauch über Energy Attribute Certificates gedeckt.

## Kontakt

- 15 Elizabeth Drive
- 01824 Chelmsford, MA, USA
- +1 978-262-2400