# CE-MAT GmbH

> Lösungen aus Silizium, Keramik und Quarz sowie Rework-Services für die Halbleiter-, Solar- und LED-Industrie.

## Auf einen Blick

- **Ort:** Linsengericht
- **Website:** https://www.ce-mat.com
- **Gegründet:** 2004
- **Verfahren:** Rework / Wiederaufarbeitung (Reanodisierung gemäß MIL-A-8625), Herstellung von Siliziumbooten für vertikale Ofenprozesse (aus CZ-Monosilizium, Reinraumklasse 100, Herstellung von Siliziumbooten für horizontale Ofenprozesse (25/50 Waferslots, 150–300 mm Wafer), Fertigung von Spezialbooten aus Silizium mit herausnehmbaren Waferhalterungen, Fertigung von Prozessrohren aus Silizium (segmentiert, gasdicht nach Einbau), Herstellung keramischer Elektrostatischer Chucks (ESCs) via Spray Coating (Funktionsflächen aus, Herstellung von Ersatzteilen (Consumables) für Etch-, CVD- und PVD-Prozesse, Lieferung von Ersatzteilen für die Ionenimplantation, Vertrieb von O-Ringen (PPE), Lieferung von Wafer Inspektions Tools, Rework von Bauteilen (mechanische und chemische Reparatur), Reanodisierung nach MIL-A-8625, Beschichtung, Endkontrolle inkl. Schichtdicke, Scheinleitwert, Rauheit, Durchschlagsfestigkeit, Reinraumreinigung und Verpackung (Klasse 100), Kundenspezifische Lösungen für Spare Parts, Equipment und Service
- **Werkstoffe:** Silizium (CZ-Monosilizium, wafergleich), Quarzglas (geschmolzen oder synthetisch), Siliziumkarbid (SiC), CVD-SiC, Oxidkeramik, Nichtoxidkeramik, Al2O3 (hochreine Oxidkeramik), Polyimid, Einkristallsilizium (Waferadapter), Multikristallines Silizium, Quasimonokristallines Silizium, CZ-Monosilizium (wafergleich), Multi- und quasimonokristallines Silizium, Einkristallsilizium, Hochreine Oxidkeramik (Al2O3), Oxid- und Nichtoxidkeramik
- **Zertifikate:** DIN EN ISO 9001:2015, ISO 9001
- **Branchen:** Halbleiterindustrie, Solarindustrie, LED-Industrie
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/ce-mat

## Über uns

Die CE-MAT GmbH wurde 2004 mit dem Ziel gegründet, kostengünstige und innovative Lösungen für den Halbleitermarkt anzubieten. Das Unternehmen ist ein etablierter Lieferant namhafter Halbleiterhersteller in Deutschland, Europa und Asien und bietet darüber hinaus Ersatzteile und Servicelösungen für die Solar- und LED-Industrie. Das Portfolio umfasst Teile aus Silizium für Ofenprozesse (Boote für vertikale und horizontale Öfen, Spezialboote mit herausnehmbaren Waferhalterungen, Prozessrohre), keramische elektrostatische Waferhalterungen (ESCs) mit Funktionsflächen aus hochreinem Al2O3 sowie Consumables für Etch-, CVD- und PVD-Prozesse aus Quarzglas, Silizium, Keramik und CVD-SiC. Im Servicebereich bietet CE-MAT mechanische und chemische Reparatur prozessbelasteter Bauteile einschließlich Reanodisierung nach MIL-A-8625 an, mit Endkontrolle zu Schichtdicke, Scheinleitwert, Rauheit und Durchschlagsfestigkeit sowie Reinraumreinigung und Verpackung der Klasse 100. Das Fundament bilden mehr als 20 Jahre Erfahrung der Gründer und Mitarbeiter im Halbleitermarkt in Europa, Asien und Nordamerika; Partner in Asien und Europa liefern Second-Source- und alternative Lösungen für Teile, Service und Equipment. Der Hauptsitz befindet sich in Linsengericht, ergänzt durch Büros in Dresden und Siegen.

## Verfahren & technische Grenzen

- Rework / Wiederaufarbeitung (Reanodisierung gemäß MIL-A-8625)
- Herstellung von Siliziumbooten für vertikale Ofenprozesse (aus CZ-Monosilizium, Reinraumklasse 100
- Herstellung von Siliziumbooten für horizontale Ofenprozesse (25/50 Waferslots, 150–300 mm Wafer)
- Fertigung von Spezialbooten aus Silizium mit herausnehmbaren Waferhalterungen
- Fertigung von Prozessrohren aus Silizium (segmentiert, gasdicht nach Einbau)
- Herstellung keramischer Elektrostatischer Chucks (ESCs) via Spray Coating (Funktionsflächen aus
- Herstellung von Ersatzteilen (Consumables) für Etch-, CVD- und PVD-Prozesse
- Lieferung von Ersatzteilen für die Ionenimplantation
- Vertrieb von O-Ringen (PPE)
- Lieferung von Wafer Inspektions Tools

## Maschinenpark

- Anodisierungsanlage (Reanodisierung nach MIL-A-8625) CE-MAT
- Reinraumanlage (Klasse 100) für Endreinigung und Verpackung CE-MAT

## Standorte

- Linsengericht – Hauptsitz mit Fertigung und Service (Rework)
- Dresden – Büro (Kontakt: Axel Junge)
- Siegen – Büro (Kontakt: Dr. Ralf Walther)

## Historie

- 2004: Gründung der CE-MAT GmbH mit dem Ziel, kostengünstige und innovative Lösungen für den Halbleitermarkt anzubieten.
- 2021: Kooperation mit Creative Technology Corp. (Japan) für elektrostatische Chucks und Prozesskammerbauteile für den nordeuropäischen Markt, Start am 01. März 2021.
- 2024: 20-jähriges Firmenjubiläum, gefeiert im Lingener Schloss in Dresden.

## Kontakt

- Bachweg 2
- 63589 Linsengericht
- +49 6051 977 3920
- info@ce-mat.com