# CEOS GmbH

> Entwicklung und Fertigung von Aberrationskorrektoren, Energiefiltern, Monochromatoren und UHV-SEM-Säulen für Elektronenmikroskope.

## Auf einen Blick

- **Ort:** Heidelberg
- **Website:** https://ceos-gmbh.de/de
- **Gegründet:** 1996
- **Verfahren:** Entwicklung und Produktion von Aberrationskorrektoren für TEM-, STEM- und SEM-Systeme, Produktion von TEM Aberrations-Korrektoren (CETCOR, CETCOR-MeV, ATCOR, BCOR, CCOR, SALVE), Produktion von STEM Aberrations-Korrektoren (CESCOR, DCOR/ASCOR), Produktion des SEMCOR Cs/Cc Korrektors für CD-SEM (Halbleiter-Metrologie, Strukturgrößen unter 7 nm, Produktion des CEFID Post-Column Imaging Energy Filters (EFTEM, ESI, EELS, 30–300 kV), Produktion von Monochromatoren für TEM (Omega-Monochromator, 30–200 kV, Energiebreiten 0.7 eV bis, Produktion der Ultrahochvakuum-SEM-Säule NanoSAM (auf Zeiss-Gemini-Prinzip), Entwicklung der Software CEOS Panta Rhei zur Datenerfassung und -analyse (TEM Imaging, EELS, EFTEM,, Entwicklung und Produktion von elektronenoptischen Komponenten (Aberrationskorrektoren,, Software-Entwicklung (CEOS Panta Rhei, Open Source), kundenspezifische Entwicklung / Erweiterung für Fremdsysteme
- **Werkstoffe:** Galliumnitrid (GaN) (nur als Beispielprobe in Abbildungen), Silizium (110)-Probe (nur als Beispielprobe in Abbildungen), Elektronenoptische Komponenten, Ultrahochvakuum-Technik, CEOS Panta Rhei (Python)
- **Branchen:** Materialwissenschaften, Biowissenschaften (Kryo-EM), Halbleiterindustrie (Metrologie, Inspection), Elektronenmikroskopie, Forschungseinrichtungen
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/ceos

## Über uns

Die CEOS GmbH (Corrected Electron Optical Systems) wurde 1996 von Dr. Max Haider und Dr. Joachim Zach in Heidelberg gegründet und entwickelt und produziert elektronenoptische Komponenten für Elektronenmikroskope. Das Produktspektrum umfasst Aberrationskorrektoren für TEM-, STEM- und SEM-Systeme (u. a. CETCOR, ATCOR, BCOR, CCOR, SALVE, CESCOR, DCOR/ASCOR, SEMCOR), abbildende Energiefilter (CEFID), den elektrostatischen Omega-Monochromator für TEM sowie die ultrahochvakuumgeeignete SEM-Säule NanoSAM auf Zeiss-Gemini-Prinzip. Die Komponenten ermöglichen Bildaufnahmen mit Auflösungen bis in den Pikometerbereich und werden in Kleinserie gefertigt. Einsatzgebiete sind Materialwissenschaften, Biowissenschaften (u. a. Kryo-EM) sowie Metrologie- und Inspektionsanwendungen in der Halbleiterindustrie, etwa bei Strukturgrößen unterhalb des 7 nm und 5 nm Technologieknotens. Kunden sind unter anderem ZEISS, JEOL, Hitachi High Technology, Thermo Fisher Scientific, Omicron und HOLON. Am Hauptsitz in Heidelberg stehen Büros, Werkstätten, Labor und Lager- und Technikräume zur Verfügung; zudem entwickelt CEOS die Software CEOS Panta Rhei zur Datenerfassung und -analyse.

## Verfahren & technische Grenzen

- Entwicklung und Produktion von Aberrationskorrektoren für TEM-, STEM- und SEM-Systeme, Losgröße Kleinserie–?
- Produktion von TEM Aberrations-Korrektoren (CETCOR, CETCOR-MeV, ATCOR, BCOR, CCOR, SALVE)
- Produktion von STEM Aberrations-Korrektoren (CESCOR, DCOR/ASCOR)
- Produktion des SEMCOR Cs/Cc Korrektors für CD-SEM (Halbleiter-Metrologie, Strukturgrößen unter 7 nm, Toleranz Auflösung unter 2 nm (Strukturgrößen)
- Produktion des CEFID Post-Column Imaging Energy Filters (EFTEM, ESI, EELS, 30–300 kV), Toleranz Energieauflösung deutlich unter 100 meV (FWHM)
- Produktion von Monochromatoren für TEM (Omega-Monochromator, 30–200 kV, Energiebreiten 0.7 eV bis, Toleranz Energiebreite bis 0.05 eV
- Produktion der Ultrahochvakuum-SEM-Säule NanoSAM (auf Zeiss-Gemini-Prinzip)
- Entwicklung der Software CEOS Panta Rhei zur Datenerfassung und -analyse (TEM Imaging, EELS, EFTEM,

## Maschinenpark

- Zeiss TEM Libra 200 (kompatibles TEM für Omega-Monochromator) Zeiss Libra 200
- Hitachi 1.2MeV ultra-high-voltage electron microscope (kompatibles TEM für CETCOR-MeV) Hitachi 1.2MeV ultra-high-voltage electron microscope
- Mask CD-SEM 'ZX' (Referenzsystem mit SEMCOR Korrektor) HOLON Co., Ltd. ZX

## Standorte

- Heidelberg – Hauptsitz mit Büros, Werkstätten, Labor, Lager- und Technikräumen

## Historie

- 1996: Gründung der CEOS GmbH in Heidelberg durch Dr. Max Haider und Dr. Joachim Zach; Start mit vier Mitarbeitern
- 1999: Errichtung des Firmengebäudes in der Englerstr. 28 nach Plänen der Architekten Schulz & Uhlemann
- 2004: Umsatz von vier Millionen Euro (Stuttgarter Zeitung)
- 2005: Innovationspreis des Landes Baden-Württemberg (Rudolf-Eberle-Preis, 2. Platz); zu diesem Zeitpunkt 24 Mitarbeiter
- 2009: Umbau und Einbindung eines benachbarten Firmengebäudes (Büros, Werkstätten, Lager- und Technikräume)
- 2015: Dr. Stephan Uhlemann und Dr. Heiko Müller wurden im Februar 2015 in die Geschäftsführung berufen

## Kontakt

- Englerstr. 28
- 69126 Heidelberg
- +49 6221 89467-0
- info@ceos-gmbh.de