# Diener electronic GmbH & Co. KG

> Entwicklung und Bau von Plasma-, Parylene- und Vakuumanlagen sowie Lohnbehandlung von Oberflächen

## Auf einen Blick

- **Ort:** Ebhausen
- **Website:** https://www.plasma.com
- **Gegründet:** 1993
- **Mitarbeiter:** über 110
- **Verfahren:** Plasma Reinigung, Plasma Aktivierung, Ätzen mit Plasma (isotropes/anisotropes Ätzen, RIE), Beschichten mit Plasma, Parylene-Beschichtung (N, C, D, F-VT4), Silanisierung (CVD), Vakuumentgasung, Vakuumtrocknung, Manueller Vakuumverguss, Höhensimulation / Drucktest, Dichtigkeitsprüfung, Sensor-Kalibrierung, Pulver- und Schüttgutbehandlung mit Plasma, Lohnbehandlung Oberflächenmodifizierung im Reinraum nach ISO 14644-1, Prozessentwicklung, Wafer-Reinigung mit Plasma, Aktivieren mit Wasserstoffplasma / Wasserdampf, Plasma-Anlagenbau (Niederdruck, Atmosphärendruck), Parylene-Anlagenbau und Parylene-Lohnbeschichtung, Vakuumanlagen und Vakuumkammern
- **Werkstoffe:** Parylene N, Parylene C, Parylene D, Parylene F-VT4, Kunststoff, Gummi, Keramik, Glas, Silizium, Aluminium, Edelstahl, Kupfer, Poly(p-Xylylen) N, Gummi/Elastomere
- **Zertifikate:** Reinraum ISO 14644-1
- **Branchen:** Automobiltechnik/Automobilzulieferer, Medizintechnik, Elektronik und Elektrotechnik, Halbleitertechnik, Optik, Feinwerktechnik, Luft- und Raumfahrt, Labortechnik/Wissenschaft/Forschung, Kunststofftechnik, Textilindustrie, Uhren- und Schmuckindustrie, Verpackungsindustrie, Solartechnik, Konsumgüter, Luft- und Raumfahrt (Aerospace)
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/diener-electronic

## Über uns

Diener electronic GmbH & Co. KG mit Hauptsitz in Ebhausen (Baden-Württemberg) entwickelt und fertigt seit 1993 Anlagen für die Plasma-Oberflächenbehandlung. Das Portfolio umfasst Niederdruck-Plasmaanlagen von Laborgröße (ca. 1 Liter) bis zu Produktionsanlagen mit über 12.000 Litern Kammervolumen, Atmosphärendruck-Plasmasysteme der PlasmaBeam-Baureihe, Parylene-Beschichtungsanlagen sowie Vakuumsysteme und Aluminium-Vakuumkammern. Eigens entwickelte HF-Generatoren (40 kHz, 13,56 MHz, 2,45 GHz) und eine eigene Konstruktionsabteilung für Sonderanlagen ergänzen den Anlagenbau. Im Technikum stehen rund 30 Anlagen für die Prozessentwicklung bereit. Als Dienstleister bietet das Unternehmen Lohnbehandlung inklusive Plasmabehandlung im Reinraum nach ISO 14644-1, Parylene-Lohnbeschichtung, Silanisierung (CVD) sowie Vakuumprozesse wie Entgasung, Trocknung und Verguss an. Pro Jahr werden ca. 700 Plasmasysteme gebaut; rund 13.000 Systeme wurden weltweit verkauft. Das Unternehmen beschäftigt über 110 Mitarbeitende, bildet seit 2002 aus und beliefert Branchen von Medizintechnik und Elektronik bis Automotive, Optik und Luft- und Raumfahrt.

## Verfahren & technische Grenzen

- Plasma Reinigung
- Plasma Aktivierung
- Ätzen mit Plasma (isotropes/anisotropes Ätzen, RIE)
- Beschichten mit Plasma
- Parylene-Beschichtung (N, C, D, F-VT4)
- Silanisierung (CVD)
- Vakuumentgasung
- Vakuumtrocknung
- Manueller Vakuumverguss
- Höhensimulation / Drucktest
- Dichtigkeitsprüfung
- Sensor-Kalibrierung
- Pulver- und Schüttgutbehandlung mit Plasma
- Lohnbehandlung Oberflächenmodifizierung im Reinraum nach ISO 14644-1
- Prozessentwicklung
- Wafer-Reinigung mit Plasma
- Aktivieren mit Wasserstoffplasma / Wasserdampf

## Maschinenpark

- Niederdruck-Plasmaanlage Diener electronic Zepto ONE
- Niederdruck-Plasmaanlage Diener electronic Zepto
- Niederdruck-Plasmaanlage Diener electronic Atto
- Niederdruck-Plasmaanlage Diener electronic Femto
- Niederdruck-Plasmaanlage Diener electronic Pico
- Niederdruck-Plasmaanlage Diener electronic Nano
- Niederdruck-Plasmaanlage Diener electronic Tetra 30
- Niederdruck-Plasmaanlage Diener electronic Tetra 45
- Niederdruck-Plasmaanlage Diener electronic Tetra 100
- Niederdruck-Plasmaanlage Diener electronic Tetra 150
- Niederdruck-Plasmaanlage Diener electronic Tetra 270
- Niederdruck-Plasmaanlage Diener electronic Tetra 320R
- Niederdruck-Plasmaanlage Diener electronic Tetra 360
- Niederdruck-Plasmaanlage Diener electronic Tetra 640
- Niederdruck-Plasmaanlage Diener electronic Tetra 1000
- Niederdruck-Plasmaanlage Diener electronic Tetra 1440
- Niederdruck-Plasmaanlage Diener electronic Tetra 2800
- Niederdruck-Plasmaanlage (Sonderanlagen) Diener electronic Tetra 140 RAPID
- Niederdruck-Plasmaanlage Diener electronic Tetra 2880
- Niederdruck-Plasmaanlage Diener electronic Tetra 3600
- Niederdruck-Plasmaanlage Diener electronic Tetra 12600
- Niederdruck-Plasmaanlage (Pulver/Schüttgut) Diener electronic Tetra 120
- Niederdruck-Plasmaanlage (Pulver) Diener electronic Tetra 300
- Niederdruck-Plasmaanlage (Schüttgut, rotierend) Diener electronic Tetra 1400
- Atmosphärendruck-Plasmaanlage (PlasmaBeam) Diener electronic PlasmaBeam STANDARD
- Atmosphärendruck-Plasmaanlage Diener electronic PlasmaBeam 19"
- Atmosphärendruck-Plasmaanlage Diener electronic PlasmaBeam DUO
- Atmosphärendruck-Plasmaanlage Diener electronic PlasmaBeam PC
- Atmosphärendruck-Plasmaanlage Diener electronic PlasmaBeam Mini
- Atmosphärendruck-Plasmaanlage Diener electronic PlasmaBeam Quattro
- Atmosphärendruck-Plasmaanlage (rotierend) Diener electronic PlasmaBeam RT
- DBD-Plasmasystem Diener electronic DBD B4.2
- DBD-Quarzglasröhre Diener electronic DBD 565
- DBD-Quarzglasreaktor Diener electronic DBD 228
- DBD Plasma Beam Diener electronic DBD Plasma Beam Mini Helium
- Parylene-Beschichtungsanlage Diener electronic Parylene P6
- Parylene-Beschichtungsanlage Diener electronic Parylene P17
- Parylene-Beschichtungsanlage Diener electronic Parylene P35
- Parylene-Beschichtungsanlage Diener electronic Parylene P1200D
- Parylene-Beschichtungsanlage Diener electronic Parylene P260
- Parylene-Beschichtungsanlage Diener electronic Parylene P300
- Vakuumkammer (Aluminium) Diener electronic VC P110x120
- Vakuumkammer (Aluminium) Diener electronic VC P150x160
- Vakuumkammer (Aluminium) Diener electronic VC P240x240
- Vakuumkammer (Aluminium) Diener electronic VC P305x300
- Vakuumkammer (Aluminium) Diener electronic VC P572x125
- Vakuumkammer (Aluminium) Diener electronic VC P400x400
- Vakuumkammer (Aluminium) Diener electronic VC P400x400 HV
- Vakuumkammer (Aluminium) Diener electronic VC P400x600 / VC P600x400
- Vakuumkammer (Aluminium) Diener electronic VC P700D
- Vakuumkammer (Aluminium) Diener electronic VC M600²
- Vakuumkammer (Aluminium) Diener electronic VC M800²
- Vakuumkammer (Aluminium) Diener electronic VC M1000²
- Vakuumkammer (Aluminium) Diener electronic VC M1200²
- Vakuumkammer (Aluminium) Diener electronic VC M1600x1800
- RF-Generator 13,56 MHz Diener electronic 13,56 MHz 100 W
- RF-Generator 13,56 MHz Diener electronic 13,56 MHz 300 W
- LFG-Generator Diener electronic LFG 500W
- LFG-Generator Diener electronic LFG 1000W
- LFG-Generator Diener electronic LFG 3000W
- LFG-Generator Diener electronic LFG 5000W
- Mikrowellen-Generator Diener electronic 2,45 GHz 1000 W
- CVD-/Silanisierungsanlage Diener electronic

## Standorte

- Ebhausen – Hauptsitz: Anlagenbau, Verwaltung, Prozessentwicklung, Technikum
- Ebhausen (Carl-Schickhardt-Str. 40) – Lohnbehandlung (Diener Plasma GmbH & Co. KG), seit 2025 mit Reinraum nach ISO 14644-1
- Jettingen – Sitz der Geschäftsleitung
- Shanghai – Labor/Standort mit Distributor Shanghai Verde Instrument Technology

## Historie

- 1993: Gründung durch Christof Diener am Standort Jettingen mit Fokus auf Plasma-Anlagen und Hochfrequenzgeneratoren.
- 1997: Wachstum auf fünf Mitarbeiter, Umzug nach Nagold.
- 2000: Offizielle Gründung der GmbH.
- 2002: Einstellung des ersten Auszubildenden; seitdem kontinuierlicher Ausbildungsbetrieb mit ca. 10 Auszubildenden.
- 2004: Verkauf der ersten eigens entwickelten Atmosphärendruck-Anlage.
- 2010: Verlegung des Hauptsitzes nach Ebhausen, Nagolder Str. 61.
- 2011: Verkauf der ersten eigenen Parylene-Anlage.
- 2015: Erweiterung des Produktportfolios um Vakuumkammern.
- 2018: Einführung eigener Vakuumsysteme; Eröffnung eines eigenen Labors in Shanghai mit dem Distributor Shanghai Verde Instrument Technology.
- 2023: Berufung von Felix Diener zum Geschäftsführer, Beginn des Generationenwechsels.
- 2025: Expansion in das renovierte Gebäude Carl-Schickhardt-Straße in Ebhausen; Lohnbehandlung zieht in neue Räumlichkeiten inklusive Reinraum.

## Kontakt

- Nagolder Straße 61
- 72224 Ebhausen
- +49 7458 99931-0
- info@plasma.com