# EBARA Precision Machinery Europe GmbH

> Vakuumpumpen, Gas-Abatement-Systeme und Anlagen für die Halbleiterfertigung

## Auf einen Blick

- **Ort:** Deutschland
- **Website:** https://www.ebara-pm.eu/
- **Gegründet:** 1994 (EPME
- **Mitarbeiter:** > 230 in Europa &
- **Verfahren:** Chemical Mechanical Polishing (CMP) für 200mm und 300mm Wafer, Wafer Bevel Polishing (mechanischer slurry-freier Prozess zur Kanten-Aufbereitung), Substrate Plating / Electroplating (Through-Mask-Plating, Redistribution und Bumping in, Overhaul/Refurbishment von Vakuumpumpen und Zubehör (Dry Pumps, Turbo Pumps, Scroll Pumps, Wet, Engineering: Applikationsteam entwickelt Adaptionslösungen für Vakuumpumpen und Abatement-Systeme, Gas Abatement Systems (G- und TND-Serie), Vertrieb von Vakuum- und Turbomolekularpumpen, Gas-Abatement-Systeme, Engineering/Applications Team für Anpassungen, Integrated Solutions (Ersatzteile, Installation, Wartung), Overhaul/Refurbishment von Vakuum Pumpen (auch Fremdfabrikate), Service Center Livingston (Schottland) und Dresden, CMP-Tools (F-REX200M2, F-REX300X), Substrate Plating / Elektroplating (UFP-Serie), Wafer Bevel Polishing
- **Werkstoffe:** Trockenlaufende Vakuumpumpen, Turbomolekularpumpen, Gas-Abatement-Systeme, CMP-Tools, Elektroplating-Anlagen, Wafer-Bevel-Polishing
- **Branchen:** Halbleiter, Analytische Instrumente, General Vacuum, Forschung und Entwicklung, Chemische Industrie, Photovoltaik, LED-Fertigung, F&E
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/ebara-precision-machinery-europe

## Über uns

EBARA Precision Machinery Europe (EPME) ist Teil der EBARA-Gruppe und seit 1994 in Deutschland etabliert. Das Unternehmen vertreibt Trockenlauf-Vakuumpumpen, Turbomolekularpumpen mit mechanischer Lagerung sowie magnetgelagerten Rotoren, Gas-Abatement-Systeme der G- und TND-Serie sowie Halbleiterfertigungsanlagen. Zum Systemportfolio gehören CMP-Tools (Chemical Mechanical Polishing) für 200-mm- und 300-mm-Wafer der Baureihen F-REX200M2 und F-REX300X, Elektroplating-Anlagen der UFP-Serie für Through-Mask-Plating, Redistribution und Bumping im Wafer-Level-Packaging sowie Bevel-Polishing-Systeme zur Aufbereitung der Waferkante. Voll ausgestattete Servicezentren in Livingston (Schottland) und Dresden übernehmen Overhaul und Refurbishment von EBARA-Pumpen und Fremdfabrikaten, darunter Trocken-, Turbo-, Scroll- und Nasspumpen. Ein Applications-Team entwickelt Adaptionslösungen für Vakuumpumpen und Abatement-Systeme. EPME ist in acht Ländern Europas und Israels vertreten und bedient Branchen wie Halbleiter, Analytik, Vakuumtechnik, Chemie, Photovoltaik und LED-Fertigung.

## Verfahren & technische Grenzen

- Chemical Mechanical Polishing (CMP) für 200mm und 300mm Wafer
- Wafer Bevel Polishing (mechanischer slurry-freier Prozess zur Kanten-Aufbereitung)
- Substrate Plating / Electroplating (Through-Mask-Plating, Redistribution und Bumping in
- Overhaul/Refurbishment von Vakuumpumpen und Zubehör (Dry Pumps, Turbo Pumps, Scroll Pumps, Wet
- Engineering: Applikationsteam entwickelt Adaptionslösungen für Vakuumpumpen und Abatement-Systeme
- Gas Abatement Systems (G- und TND-Serie)

## Maschinenpark

- CMP Tool (Chemical Mechanical Polishing) EBARA F-REX200M2
- CMP Tool (Chemical Mechanical Polishing) EBARA F-REX300X
- Electroplating Tool EBARA UFP Ultra Fine Plating Serie
- Wafer Bevel Polishing Tool EBARA
- Dry Vacuum Pump EBARA
- Turbo Molecular Pump (mechanische Lagerung und magnetgelagerte Rotoren) EBARA
- Gas Abatement System EBARA G-Serie
- Gas Abatement System EBARA TND-Serie

## Standorte

- Deutschland (EPME-Zentrale) – Zentrale und Vertrieb, seit 1994
- Dresden – Servicezentrum für Overhaul und Refurbishment
- Livingston – Servicezentrum für Overhaul und Refurbishment

## Historie

- 1912: Gründung der EBARA-Gruppe; seitdem Engagement in Vakuum- und Halbleitersystemen
- 1994: EBARA Precision Machinery Europe in Deutschland etabliert