# ELEMENT 3-5 GmbH

> Entwickelt und fertigt Epitaxie-Produktionssysteme und monokristalline Templates für Wide-Bandgap-Halbleiter

## Auf einen Blick

- **Ort:** Baesweiler
- **Website:** https://www.element3-5.com
- **Gegründet:** 2010
- **Mitarbeiter:** < 50 (Deutschland)
- **Verfahren:** Next Level Epitaxy (Plasma-Epitaxie, Herstellung monokristalliner Schichten/Templates), SiC-Epiwafer-Produktion, Abscheidung monokristalliner Strukturen bei Prozesstemperaturen unter 300 °C, Epitaxie zur Herstellung monokristalliner Templates für LEDs, miniLEDs, microLEDs und HEMTs, Epitaxie zur Herstellung monokristalliner Bulk-Acoustic-Wave-Filter (BAW-Filter), Epitaxie mit integrierter Nanostrukturierung (Laserstrukturierung, Projekt EPIWIN), Epitaxie von Halbleiterschichten (Next Level Epitaxy), Herstellung von Monokristallinen Templates/Epiwafern, Prozessentwicklung und Technology-Roadmap für Kunden, Coating von Substraten mit eigenem Equipment, Prozessunterstützung und Feintuning vor Ort, Monitoring von Prozessmerkmalen und Spezifikationen
- **Werkstoffe:** Siliziumkarbid, AlN, AlScN, Wide-Bandgap-Halbleiter (Verbindungen der 3. und 5. Hauptgruppe), Wide-Bandgap-Halbleiter (III-V-Verbindungen)
- **Zertifikate:** ISO 9001
- **Branchen:** Halbleiterindustrie, LED-/MiniLED-/MicroLED-Displays, Leistungselektronik (SiC-Leistungshalbleiter), Telekommunikation (BAW-Filter), Beleuchtung
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/element-3-5

## Über uns

Die ELEMENT 3-5 GmbH ist ein 2010 als Spin-off der RWTH Aachen (Vorgänger: AIXaTECH GmbH) gegründetes Halbleiterunternehmen mit Sitz in Baesweiler bei Aachen. Das Unternehmen entwickelt und fertigt Epitaxie-Produktionssysteme auf Basis der eigenen Technologie Next Level Epitaxy, die monokristalline Schichten bei Prozesstemperaturen unter 300 °C abscheidet – mit bis zu 90 % Energieeinsparung, bis zu zehnfach höherem Durchsatz und ohne Einsatz toxischer Prozessgase. Kernprodukte sind das Produktionssystem ACCELERATOR 3500K für monokristalline Templates für Wide-Bandgap-Halbleiter (u. a. LEDs, miniLEDs, microLEDs, HEMTs, Leistungselektronik) sowie das System ENABLER 150K für monokristalline Bulk-Acoustic-Wave-Filter auf Basis von AlN und AlScN. Neben dem Systemgeschäft bietet ELEMENT 3-5 Substratbeschichtungen im eigenen Technikum, Prozessentwicklung, Technology-Roadmaps sowie Prozessunterstützung und Monitoring vor Ort beim Kunden. Die bearbeiteten Werkstoffe sind vor allem Siliziumkarbid (SiC) und III-V-Verbindungshalbleiter. Mit einer EU-Beihilfegenehmigung von 353 Mio. EUR (2026) baut das Unternehmen eine Fabrik für SiC-Epiwafer in Baesweiler auf. Das Team umfasst weniger als 50 Beschäftigte in Deutschland; 2025 wurde das Unternehmen als 'Innovator of the Year' (TOP 100, Größenklasse A) ausgezeichnet.

## Verfahren & technische Grenzen

- Next Level Epitaxy (Plasma-Epitaxie, Herstellung monokristalliner Schichten/Templates)
- SiC-Epiwafer-Produktion
- Abscheidung monokristalliner Strukturen bei Prozesstemperaturen unter 300 °C
- Epitaxie zur Herstellung monokristalliner Templates für LEDs, miniLEDs, microLEDs und HEMTs
- Epitaxie zur Herstellung monokristalliner Bulk-Acoustic-Wave-Filter (BAW-Filter)
- Epitaxie mit integrierter Nanostrukturierung (Laserstrukturierung, Projekt EPIWIN)

## Maschinenpark

- Epitaxie-Produktionssystem (Next Level Epitaxy, Plasma-Technologie) ELEMENT 3-5 GmbH ACCELERATOR 3500K
- Epitaxie-System für monokristalline Bulk-Acoustic-Wave-Filter ELEMENT 3-5 GmbH ENABLER 150K

## Standorte

- Baesweiler – Hauptsitz, Technikum und Produktion

## Historie

- 2010: Gründung als AIXaTECH GmbH als Spin-off der RWTH Aachen durch Dr. Yilmaz Dikme u. a.
- 2015: Unabhängige Validierung der Technologie durch Dr. Yilmaz Dikme und Dr. Volker Sinhoff; Volker Sinhoff übernimmt die Geschäftsführung
- 2022: Series-A-Finanzierung (geführt von AVV Investment GmbH, zweistelliger Millionenbetrag); Ghassan Barbar übernimmt Produktmanagement/Vertrieb für den ACCELERATOR 3500K
- 2022: Umzug in das neue Hauptsitz-Gebäude, Robert-Koch-Str. 6a, 52499 Baesweiler (bezugsfertig zum 1. Oktober)
- 2024: Förderzusage für das Leuchtturmprojekt GREEN EPITAXY im Rheinischen Revier
- 2025: Markteintritt mit ersten ACCELERATOR 3500K-Systemen an Pilotkunden; Auszeichnung 'Innovator of the Year' (TOP 100, Größenklasse A) am 27. Juni
- 2025: Ausstellung auf der NRW Nano Conference in Dortmund (30.09.–01.10.)
- 2026: EU-Kommission genehmigt 353 Mio. EUR Beihilfe für eine SiC-Epiwafer-Fabrik in Baesweiler
- 2026: Besuch von NRW-Wirtschaftsministerin Mona Neubaur im Rahmen der Sommertour in Baesweiler

## Kontakt

- Robert-Koch-Str. 6a
- 52499 Baesweiler
- +49 2401 9680300
- info@element3-5.com