# EUMETRYS GmbH

> Optische Metrologie- und Inspektionssysteme sowie Services für die Halbleiterindustrie

## Auf einen Blick

- **Website:** https://www.eumetrys.com/
- **Verfahren:** Optical Metrology (IVS, CD- und Overlay-Messung), Particles inspection / Oberflächenkontaminationsanalyse, Schichtdickenmessung (Layer thickness measurement), Photoluminescence (PL) Mapping / Mikro- und Makro-PL für VIS und NIR, Kristalldefekte- und Stacking-Fault-Klassifizierung, Micro LED Review, Prozessanalyse und Qualifizierung von Steppern, Präventive und kurative Wartung, Schulungen, Wartung (präventiv und kurativ), Schulungen (multi-level), Prozessanalyse / Datenanalyse, Roboter-Services, Virtuelle Produkt-Demonstrationen (3D/VR)
- **Werkstoffe:** SiC (Siliziumkarbid), III-V-Halbleiter, MEMS/LED-Substrate, Silizium-Halbleiterwafer, Inspectrology IVS (CD & Overlay), Oberflächenkontaminationsanalyse, PL-Mapping (ETAMAX), Kristalldefekt-Klassifizierung, Micro LED Review, All-in-one VIS/NIR-Messsystem
- **Branchen:** Halbleiterindustrie, Compound-Halbleiter (III-V), MEMS, LED / Micro-LED, Substrate, Telekommunikation / Waveguides, VCSEL, Power Devices, Forschungslabore
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/eumetrys

## Über uns

EUMETRYS ist ein auf optische Metrologie und Inspektion spezialisiertes Unternehmen für die Halbleiterindustrie. Das Portfolio umfasst IVS-Systeme für CD- und Overlay-Messung, Systeme zur Oberflächenkontaminationsanalyse (YGK), Photoluminescence-Mapping (ETAMAX PLATO), Klassifizierung von Kristalldefekten und Stacking Faults in SiC (MiPLATO SiC), Micro-LED-Review-Systeme sowie das All-in-one-Messsystem MICROSCAN für VIS- und NIR-Anwendungen. Neue und remanufacturierte Anlagen werden an Halbleiterhersteller und Labore vertrieben. Ergänzend bietet EUMETRYS präventive und kurative Wartung, mehrstufige Schulungen, Prozess- und Datenanalyse sowie Roboter-Services in Europa, Asien und Nordamerika an. Zielbranchen sind Standard- und Compound-Halbleiter (III-V), MEMS, LED, Substrate, Telekommunikation, VCSEL und Power Devices. Seit November 2022 besteht mit der EUMETRYS GmbH eine Tochtergesellschaft in Deutschland.

## Verfahren & technische Grenzen

- Optical Metrology (IVS, CD- und Overlay-Messung)
- Particles inspection / Oberflächenkontaminationsanalyse
- Schichtdickenmessung (Layer thickness measurement)
- Photoluminescence (PL) Mapping / Mikro- und Makro-PL für VIS und NIR
- Kristalldefekte- und Stacking-Fault-Klassifizierung
- Micro LED Review
- Prozessanalyse und Qualifizierung von Steppern
- Präventive und kurative Wartung, Schulungen

## Maschinenpark

- Optisches Metrologie- und Inspektionssystem (CD & Overlay) Eumetrys / Inspectrology IVS
- Oberflächenkontaminationsanalyse-System YGK
- Photoluminescence-Mapping-System ETAMAX PLATO
- Kristalldefekt-/Stacking-Fault-Klassifizierungssystem ETAMAX MiPLATO SiC
- Micro LED Review-System Eumetrys / ETAMAX MICRO LED
- All-in-one VIS/NIR Messsystem Eumetrys / ETAMAX MICROSCAN

## Historie

- 2020: Präsentation der Produkte über 3D-Virtual-Reality-Technologie auf der Website (Dezember 2020).
- 2022: CEO Yannick Bedin im Interview bei BFM Business TV, Sendung 'Décodage' (September 2022).
- 2022: Gründung der Tochtergesellschaft EUMETRYS GmbH in Deutschland (November 2022).