# Evatec AG

> Entwicklung, Fertigung und Vertrieb von Dünnschicht-Beschichtungsanlagen (PVD, PEALD) für die Halbleiter- und Optikindustrie

## Auf einen Blick

- **Ort:** Trübbach
- **Website:** https://evatecnet.com
- **Verfahren:** PVD-Sputtering (Advanced Directional Sputtering ADS) für Hoch-Aspekt-Verhältnis- und 3D-Strukturen, PVD deposition of PZT für MEMS, PEALD (Plasma Enhanced ALD) mit Microwave-ECR-Plasmaquelle, Dünnschicht-Metallisierung für SiC-Leistungsbauelemente, Dünnschichtabscheidung für Panel Level Packaging und Wafer Level Packaging, Optische Dünnschichtproduktion (Quantized Nanolaminates) mit in-situ optischem Monitoring bis 1700, Supraleitende Dünnschichten für Quantencomputing, Entwicklung, Fertigung und Verkauf von Dünnschicht-Prozessanlagen, Ramp-Up Support (Inbetriebnahme-Unterstützung), Vertrieb und Service vor Ort, Prozessentwicklung für Dünnschichtbeschichtung
- **Werkstoffe:** Aluminium, Aluminiumnitrid (AlN), Aluminium-Scandium-Nitrid (AlScN), PZT (Bleizirkonattitanat), Aluminiumoxid (Al₂O₃), Siliziumkarbid (SiC), Amorpher Kohlenstoff (a-C), Supraleitende Dünnschichten, PVD-Sputtering / ADS, PEALD, In-situ optisches Monitoring
- **Zertifikate:** ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
- **Branchen:** Halbleiter, MEMS / PiezoMEMS, Advanced Packaging / Panel Level Packaging, LED / Micro LED, Leistungselektronik (SiC Power Devices), RF-Filter / Funktechnologie, Quantencomputing, Optik (optische Dünnschichten), Photovoltaik, Elektromobilität
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/evatec

## Über uns

Die Evatec AG mit Hauptsitz in Trübbach, Schweiz, entwickelt, fertigt und verkauft Dünnschicht-Prozesssysteme für die Halbleiterfertigung. Das Produktportfolio umfasst Cluster-Beschichtungsanlagen der CLUSTERLINE®-Plattform (u. a. CLUSTERLINE® 200, 200 BPM und 300), die Sputteranlage SOLARIS® für dicke Aluminiumschichten, die Multi-Source-Sputteranlage MSQ, das optische Monitoringsystem GSM 1102 sowie PEALD-Technologie mit Microwave-ECR-Plasmaquelle. Die Verfahren decken PVD-Sputtering einschliesslich Advanced Directional Sputtering (ADS) für Hoch-Aspekt-Verhältnis- und 3D-Strukturen, Plasma-Enhanced ALD sowie in-situ optisches Monitoring bis 1700 nm ab. Abscheidetechnologien werden unter anderem für AlN, AlScN, PZT, Al₂O₃, SiC, amorphe Kohlenstoffsichten und supraleitende Dünnschichten eingesetzt. Zu den Zielbranchen zählen Halbleiter, MEMS, LED/Micro LED, Leistungselektronik, Advanced Packaging, Optik, RF-Filter und Quantencomputing. Neben der Anlagenfertigung bietet Evatec Prozessentwicklung, Ramp-Up-Support sowie Vertrieb und Service vor Ort, unter anderem seit 2026 mit einer eigenen Organisation in Südkorea.

## Verfahren & technische Grenzen

- PVD-Sputtering (Advanced Directional Sputtering ADS) für Hoch-Aspekt-Verhältnis- und 3D-Strukturen
- PVD deposition of PZT für MEMS
- PEALD (Plasma Enhanced ALD) mit Microwave-ECR-Plasmaquelle
- Dünnschicht-Metallisierung für SiC-Leistungsbauelemente
- Dünnschichtabscheidung für Panel Level Packaging und Wafer Level Packaging
- Optische Dünnschichtproduktion (Quantized Nanolaminates) mit in-situ optischem Monitoring bis 1700
- Supraleitende Dünnschichten für Quantencomputing
- Entwicklung, Fertigung und Verkauf von Dünnschicht-Prozessanlagen

## Maschinenpark

- Cluster-Beschichtungsanlage (Sputter/Coater) Evatec CLUSTERLINE® 200
- 2× Cluster-Beschichtungsanlage Evatec CLUSTERLINE® 300
- Sputteranlage für dicke Aluminiumschichten, cassette-to-cassette Evatec SOLARIS®
- Multi-Source-Sputteranlage Evatec MSQ Multi Source
- Optisches Monitoringsystem mit NIR-Erweiterung bis 1700 nm Evatec GSM 1102
- Sputteranlage mit ADS-Technologie Evatec ADS (Advanced Directional Sputtering)
- PEALD-Anlage mit Microwave-ECR-Plasmaquelle Evatec
- Cluster-Beschichtungsanlage (BPM-Variante, Partikelkontrolle Micro LED) Evatec CLUSTERLINE® 200 BPM

## Standorte

- Trübbach – Hauptsitz, Entwicklung, Fertigung und Vertrieb (Thin Film Process Systems)

## Historie

- 2014: ISO-9001-Zertifizierung seit 12.03.2014 (SGS); ISO-14001-Zertifizierung seit 13.04.2014.
- 2023: ISO-45001-Zertifizierung seit 13.03.2023 (SGS).
- 2026: Gründung von Evatec Korea (01.10.2026) als eigene Vertriebs- und Serviceorganisation in Südkorea; Ausbau der Präsenz in Japan; Veröffentlichung des zweiten Nachhaltigkeitsberichts.

## Kontakt

- Hauptstrasse 1a
- 9477 Trübbach