# exateq GmbH

> Entwicklung, Fertigung und Inbetriebnahme von Nassbänken zum Ätzen und Reinigen sowie Carriern für Wafer und Substrate

## Auf einen Blick

- **Ort:** Neumarkt i.d.OPf.
- **Website:** https://www.exateq.de/
- **Gegründet:** 2015
- **Verfahren:** Nassbänke zum Ätzen und Reinigen (Wet Processing), Reinigungs- und Texturprozesse für Solarwafer (automatisierte Nassbank qRUN), Manuelle Nassbank (qLAB), Automatische Nassbank (qSPRINT), Automatisierte Nassbank für Substrate bis 600 × 600 mm² (qMARATHON), Medienver- und Medienentsorgungssysteme 25 bis 1000 Liter (qCXS), Carrierfertigung: Spritzguss, Schweißen von Hand, maschinelles Schweißen, Tempern (qCAR), Konstruktion von Automatisierungs- und nasschemischen Anlagen (Behälter, Rohrleitungen,, Montage, Prüfung und Inbetriebnahme von Anlagen (mechanische und elektrische Montage, Baugruppen), Spanende Fertigung, Schweißarbeiten, Steuerungs- und Softwareentwicklung (Rezepturverwaltung, MES, GEM SECS), Rohrleitungsbau (Abluft, Abläufe, Chemieversorgung, DI-Wasser; CAD-Planung, Vorfertigung), Service: Wartung, Retrofit, Ersatzteile, Konstruktion, Fertigung/Montage, Steuerungs- und Softwareentwicklung, Dokumentation (P&ID, CE-Konformität, ATEX), Service/Wartung/Retrofit/Ersatzteile, Rohrleitungsbau
- **Werkstoffe:** PVDF, PFA, PP, Edelstahl, Leitfähige Kunststoffe, Silizium-Solarwafer, Glas
- **Branchen:** Photovoltaik, Halbleiter, Elektronik, Glas, Medizintechnik
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/exateq

## Über uns

Die exateq GmbH mit Sitz in Neumarkt in der Oberpfalz entwickelt, fertigt und installiert Nassbearbeitungsanlagen (Wet Processing Equipment) zum Ätzen und Reinigen von Solarwafern, Halbleiter-Substraten und Glas. Das Produktspektrum umfasst manuelle Nassbänke (qLAB), automatische Nassbänke (qSPRINT), automatisierte Anlagen für Batchgrößen von 50 bis 600 Wafern (qRUN), Anlagen für Substrate bis 600 × 600 mm² (qMARATHON), kundenspezifische Lösungen (qFLEX), Medienver- und -entsorgungssysteme von 25 bis 1000 Litern (qCXS) sowie Carrier für Einzelwafer, PV-Wafer, Semi-Wafer und Substrate. Die Fertigung umfasst mechanische und elektrische Montage, spanende Fertigung, Schweißarbeiten und Rohrleitungsbau auf nahezu 3.000 m² Fertigungsfläche in drei Hallen. Zusätzlich liefert exateq Steuerungs- und Softwareentwicklung inklusive Rezepturverwaltung und GEM-SECS-Schnittstellen, komplette Dokumentation (P&ID, CE-Konformität, ATEX) sowie Wartung, Retrofit und Ersatzteile. Die Anlagen kommen in der Photovoltaik, Halbleiterfertigung, Elektronik-, Glas- und Medizintechnikindustrie zum Einsatz.

## Verfahren & technische Grenzen

- Nassbänke zum Ätzen und Reinigen (Wet Processing)
- Reinigungs- und Texturprozesse für Solarwafer (automatisierte Nassbank qRUN), Losgröße 50 Wafer pro Batch–600 Wafer pro Batch
- Manuelle Nassbank (qLAB)
- Automatische Nassbank (qSPRINT)
- Automatisierte Nassbank für Substrate bis 600 × 600 mm² (qMARATHON), max. Länge 600 mm
- Medienver- und Medienentsorgungssysteme 25 bis 1000 Liter (qCXS)
- Carrierfertigung: Spritzguss, Schweißen von Hand, maschinelles Schweißen, Tempern (qCAR), Losgröße Einzelfertigung–Serienfertigung
- Konstruktion von Automatisierungs- und nasschemischen Anlagen (Behälter, Rohrleitungen,
- Montage, Prüfung und Inbetriebnahme von Anlagen (mechanische und elektrische Montage, Baugruppen)
- Spanende Fertigung
- Schweißarbeiten
- Steuerungs- und Softwareentwicklung (Rezepturverwaltung, MES, GEM SECS)
- Rohrleitungsbau (Abluft, Abläufe, Chemieversorgung, DI-Wasser; CAD-Planung, Vorfertigung)
- Service: Wartung, Retrofit, Ersatzteile

## Maschinenpark

- Manuelle Nassbank exateq qLAB
- Automatische Nassbank exateq qSPRINT
- Automatisierte Nassbank exateq qRUN
- Automatisierte Nassbank für Substrate exateq qMARATHON
- Kundenspezifische Nassbanklösung exateq qFLEX
- Medienver- und Medienentsorgungssystem exateq qCXS
- Carrier (Spritzguss/Schweißen/Tempern) exateq qCAR
- Batchanlage mit 600 Wafern/Batch (weltweit erste) exateq
- 3× Fertigungshalle für Anlagenmontage

## Standorte

- Neumarkt i.d.OPf. – Hauptsitz, Fertigung und Endmontage

## Historie

- 1995: Beginn der gemeinsamen Tätigkeit der späteren Gründer im Nassanlagenbau
- 2015: Gründung von exateq durch Matthias Niese und Gerry Knoch; Auslieferung erster Produktionsanlagen nach Asien
- 2016: Bau der weltweit ersten Batchanlage mit 600 Wafern/Batch
- 2019: Bau der ersten Halbleiteranlage
- 2022: Fertigungserweiterung um eine zweite Halle
- 2023: Fertigungserweiterung um eine dritte Halle
- 2025: 10 Jahre exateq

## Kontakt

- Alois-Senefelder-Str. 6
- 92318 Neumarkt i.d.OPf.
- +49 9181 463 64 22
- info@exateq.de