# Fabmatics GmbH

> Fabmatics automatisiert Materialflüsse und Handhabungsprozesse in Halbleiterfabriken und Hochtech-Reinraumumgebungen – von Robotern bis zum Digital Twin.

## Auf einen Blick

- **Ort:** Dresden
- **Website:** https://www.fabmatics.com
- **Gegründet:** 1991
- **Mitarbeiter:** 300
- **Verfahren:** Mobile Roboter (HERO, SCOUT, HERO Rail) für Wafer-, Reticle- und Carrier-Handling, Automated Material Handling Systems (AMHS) für 200mm und 300mm Frontend-Fabs, Test Wafer Center (Kitting, Storage, De-Kitting von Testwafern), Purge Systeme für FOUP/SMIF Wafer Pods (Inertgas-Spülung), Smart Load Ports / Slim Load Ports (OHT I/O Stations mit RFID), RFID-Systeme, RFID-Retrofit, Fab RTLS (Indoor GPS FAB-LIPS), Conveyor-Transportsysteme für Reinraumproduktion, Stocker-Lagersysteme (FlatStocker, CubeStocker, ZFS) für 200mm Waferkassetten, Stationäre Roboterzelle LUNA, Robot Cells, EFEMs, Carrier-/Wafer-/Reticle-Greifer (100 bis 450 mm), EUV-Reticle-Handling (Reticle Gripper), AGV / RGV / PGV Transportsysteme (HERO Fab, HERO Scout, HERO Rail, RFID-Trolley), Fab Assessment, Machbarkeitsstudien, Fab-Optimierung, Prozess- und Anforderungsanalyse, Automation System Modeling: Analytics, Simulation, Digital Twin, Software: Systemintegration, Fleet Manager (HSFM), GUI-Entwicklung, Third-Party Support: Installation, Inbetriebnahme, Wartung, Field Service, Retrofit, Refurbishment,, Reinraumfertigung von Robotersystemen, Baugruppen, Komponenten und Präzisionsteilen (Cleanroom bis, Box Opening Transfer Unit (Conveyor), FOUP Opener (Handling Tool), Fab Assessment, Machbarkeitsstudien
- **Werkstoffe:** Wafer (100 bis 450 mm), Reticles / EUV-Reticles (Lithographiemasken), FOUP/SMIF Wafer Pods, Reticles / EUV-Reticles, Mobile Roboter (HERO FAB Wi-Fi E84, HERO Scout, HERO Rail, HERO Fab), Schienengebundene Transportsysteme (RGV) und Conveyor, Stocker-Lagersysteme (FlatStocker, CubeStocker, ZFS), Stationäre Roboterzelle LUNA, Robot Cells, EFEMs, RFID-Systeme, CAN Gateway, Fab RTLS (FAB-LIPS), Smart Load Port, Slim Load Port, Test Wafer Center
- **Zertifikate:** ISO 9001, ISO 14001, IATF 16949, EN 9100
- **Branchen:** Halbleiterfertigung (200mm/300mm Frontend), Hightech-/Reinraum-Produktionsumgebungen, Equipmenthersteller (OEM), Photovoltaik (historisch)
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/fabmatics-cee8

## Über uns

Die Fabmatics GmbH mit Hauptsitz in Dresden ist ein spezialisierter Anbieter für die Automatisierung von Materialflüssen und Handhabungsprozessen in Halbleiterfabriken und anderen High-Tech-Produktionsumgebungen. Das 1991 gegründete Unternehmen mit rund 300 Mitarbeitenden entwickelt und fertigt mobile Roboter (HERO, SCOUT), Schienen- und fahrerlose Transportsysteme, stationäre Roboterzellen, Stocker-Lagersysteme, Load Ports, RFID-Systeme sowie Reinraumkomponenten und Präzisionsteile bis Reinraumklasse ISO 1 und besser. Das Portfolio deckt Hardware und Software für Handhabung, Transport und Lagerung ab, ergänzt um Beratung, Simulation, Digital Twin, Systemintegration sowie Wartung und Field Service. Ein Schwerpunkt ist die Modernisierung von 200-mm-Semiconductor-Fabs weltweit; Systeme beherrschen das Handling von Wafern von 100 bis 450 mm sowie von EUV-Reticles. Seit 2023 gehört Fabmatics zur SCIO Automation Group. Über die Tochtergesellschaft Fabmatics USA Inc. in Utica, New York, ist das Unternehmen weltweit aktiv, unter anderem für Kunden wie Infineon Technologies Dresden und BOSCH.

## Verfahren & technische Grenzen

- Mobile Roboter (HERO, SCOUT, HERO Rail) für Wafer-, Reticle- und Carrier-Handling
- Automated Material Handling Systems (AMHS) für 200mm und 300mm Frontend-Fabs
- Test Wafer Center (Kitting, Storage, De-Kitting von Testwafern)
- Purge Systeme für FOUP/SMIF Wafer Pods (Inertgas-Spülung)
- Smart Load Ports / Slim Load Ports (OHT I/O Stations mit RFID)
- RFID-Systeme, RFID-Retrofit, Fab RTLS (Indoor GPS FAB-LIPS)
- Conveyor-Transportsysteme für Reinraumproduktion
- Stocker-Lagersysteme (FlatStocker, CubeStocker, ZFS) für 200mm Waferkassetten
- Stationäre Roboterzelle LUNA, Robot Cells, EFEMs, Carrier-/Wafer-/Reticle-Greifer (100 bis 450 mm), max. Länge 450 mm (Wafergreifer)
- EUV-Reticle-Handling (Reticle Gripper)
- AGV / RGV / PGV Transportsysteme (HERO Fab, HERO Scout, HERO Rail, RFID-Trolley)
- Fab Assessment, Machbarkeitsstudien, Fab-Optimierung, Prozess- und Anforderungsanalyse
- Automation System Modeling: Analytics, Simulation, Digital Twin
- Software: Systemintegration, Fleet Manager (HSFM), GUI-Entwicklung
- Third-Party Support: Installation, Inbetriebnahme, Wartung, Field Service, Retrofit, Refurbishment,
- Reinraumfertigung von Robotersystemen, Baugruppen, Komponenten und Präzisionsteilen (Cleanroom bis
- Box Opening Transfer Unit (Conveyor)
- FOUP Opener (Handling Tool)

## Maschinenpark

- Mobiler Roboter (AMR) Fabmatics HERO FAB Wi-Fi E84
- Autonomer mobiler Roboter (AMR) Fabmatics HERO Scout
- Schienengebundenes Transportsystem (RGV) Fabmatics HERO Rail
- Fahrerloses Transportsystem (AGV) Fabmatics HERO Fab
- Manuelles Transportsystem (PGV) Fabmatics RFID Trolley
- Stationäre Roboterzelle Fabmatics LUNA
- Stocker-Lagersystem Fabmatics FlatStocker
- Stocker-Lagersystem Fabmatics CubeStocker
- Test Wafer Center Fabmatics
- RFID Reader (LF/HF, Serie LF-134, HF-1356) Fabmatics LF-134-SER-MINI, LF-134-ETH-MUX4, LF-134-SER, LF-134-CAN-ANT, LF-134-CAN,
- Indoor GPS / RTLS System Fabmatics FAB-LIPS
- Purge System für Wafer Pods Fabmatics Wafer Pod Purge System
- Load Ports (OHT I/O Stationen) Fabmatics Smart Load Port, Slim Load Port
- Fleet Manager Fabmatics HSFM

## Standorte

- Dresden – Hauptsitz Europa: Entwicklung, Reinraumfertigung, Software und Service
- Utica, NY – Standort USA (Fabmatics USA Inc.)

## Historie

- 1991: Gründung der HAP GmbH Dresden (Handling-, Automatisierungs- und Präzisionstechnik) durch Dr. Steffen Pollack, Manfred Jähnert und Lothar Andritzke
- 2007: Ortner tritt in den Photovoltaik-Markt ein; erstes 5-Track-Wafer-Sortiersystem
- 2009: Ortner wird 100%-Mitglied der Roth & Rau Gruppe (2010 umbenannt in Roth & Rau - Ortner GmbH)
- 2010: Erste mobile Roboterlösung HAP-HERO für die Halbleiterindustrie
- 2013: Zeiss-Lieferantenaward SUCCESS für HAP; größter Einzelauftrag der Fabrikautomation (3,2 Mio. €) an Roth & Rau - Ortner von BOSCH
- 2014: Süd Beteiligungen und Wachstumsfonds Mittelstand Sachsen werden Anteilseigner (HAP Holding); Handling Award für den Roboter SCOUT
- 2015: HAP übernimmt Roth & Rau - Ortner GmbH und Ortner USA
- 2016: Fusion von HAP und Ortner zu Fabmatics GmbH bzw. Fabmatics USA Inc. (1.9.2016); Umzug an den neuen Firmensitz; FlatStocker erstmals im Einsatz
- 2018: Dr. Roland Giesen wird Geschäftsführer; Gründer Dr. Steffen Pollack wechselt in den Beirat
- 2019: 2. Platz Sächsischer Innovationspreis für die Weiterentwicklung des Roboters SCOUT
- 2020: Dr. Andreas Purath wird Geschäftsführer (Nachfolger von Heinz Martin Esser); 10 Jahre mobiler Roboter HERO
- 2021: Managementwechsel bei Fabmatics USA: Thomas Beeg folgt auf Stan Rosenlof
- 2022: 30 Jahre Automatisierung – Firmenjubiläum mit 320 Gästen in Dresden
- 2023: Fabmatics wird Teil der SCIO Automation Group (ca. 1.800 Mitarbeiter in 8 Ländern)
- 2026: HERO Scout erfolgreich mit Infineon Technologies Dresden im EU-Projekt AIMS 5.0 im Realbetrieb einer 200-mm-Fab getestet; Einführung des CAN Gateway

## Kontakt

- Zur Steinhöhe 1
- 01109 Dresden
- +49 351 65237-0
- info@fabmatics.com