# FHR Anlagenbau GmbH

> Vakuumbeschichtungsanlagen, Sputtertargets und Dünnschichtdienstleistungen für Forschung und Industrie

## Auf einen Blick

- **Ort:** Ottendorf-Okrilla
- **Website:** https://www.fhr.biz/
- **Mitarbeiter:** 150+
- **Verfahren:** Vakuumbeschichtung / Dünnschichttechnik (Sputtern, Cluster-, Inline-, Rolle-zu-Rolle-, Boxx-), Beschichtungsservice (Bemusterung, Kleinserien, Qualifikation des Beschichtungsverfahrens), Target-Fertigung und Recycling, Anlagenbau (Sonderanlagen & Serienprodukte für Dünnschichttechnik), Beschichtungsmaterialien (Targets: Beratung, Fertigung, Recycling), Beschichtungsservice (Bemusterung, Kleinserien), Kundenservice (Wartung, Ersatzteile, Retrofits, Schulungen, technische Audits), Sonderanlagen & Serienprodukte für Dünnschichttechnik
- **Werkstoffe:** Sputtertargets (Beschichtungsmaterialien), Vakuumbeschichtung / Sputtern
- **Zertifikate:** Zertifizierungen
- **Branchen:** Forschung & Entwicklung, Halbleiter/Elektronik, Quantentechnologie, Industrie (Serienproduktion)
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/fhr-anlagenbau

## Über uns

Die FHR Anlagenbau GmbH ist auf Dünnschichttechnik spezialisiert und entwickelt sowie fertigt Vakuumbeschichtungsanlagen als Sonderanlagen und Serienprodukte – von Labor-Clustern bis zu großen Produktionssystemen in Cluster-, Inline-, Rolle-zu-Rolle- und Boxx-Bauweise. Das Unternehmen begleitet Kunden über den gesamten Lebenszyklus: vom Engineering über die Inbetriebnahme bis zu Wartung, Ersatzteilen, Retrofits, Schulungen und technischen Audits. Ergänzend bietet FHR Beschichtungsmaterialien an, insbesondere Sputtertargets inklusive Beratung, Fertigung und Recycling, sowie einen hauseigenen Beschichtungsservice für Bemusterung, Verfahrensqualifikation und Kleinserien. Auf 15.000 m² Produktions-, Beschichtungs- und Entwicklungsfläche arbeiten mehr als 150 Mitarbeitende für Kunden aus Forschung & Entwicklung, Halbleiter-/Elektronikindustrie, Quantentechnologie und serienfertigender Industrie, weltweit. Seit Dezember 2019 gehört FHR zur Vital Materials Company (Vital Group).

## Verfahren & technische Grenzen

- Vakuumbeschichtung / Dünnschichttechnik (Sputtern, Cluster-, Inline-, Rolle-zu-Rolle-, Boxx-), Losgröße Bemusterung / Kleinserie–groß angelegte Serienproduktion
- Beschichtungsservice (Bemusterung, Kleinserien, Qualifikation des Beschichtungsverfahrens), Losgröße ?–Kleinserie
- Target-Fertigung und Recycling
- Anlagenbau (Sonderanlagen & Serienprodukte für Dünnschichttechnik)

## Maschinenpark

- Vakuumbeschichtungsanlage - Cluster FHR Anlagenbau GmbH
- Vakuumbeschichtungsanlage - Inline FHR Anlagenbau GmbH
- Vakuumbeschichtungsanlage - Rolle-zu-Rolle FHR Anlagenbau GmbH
- Vakuumbeschichtungsanlage - Boxx FHR Anlagenbau GmbH

## Standorte

- Ottendorf-Okrilla – Produktion, Beschichtung, Entwicklung

## Historie

- 2019: Übernahme der FHR Anlagenbau GmbH durch die Vital Materials Company (Vital Group) im Dezember 2019.

## Kontakt

- +49 35205 520-0