# GSEC GmbH

> Entwicklung und Bau automatisierter Reinigungssysteme für FOUP-Transportbehälter in der Halbleiterfertigung

## Auf einen Blick

- **Ort:** Radolfzell
- **Website:** https://gsec.tech/
- **Gegründet:** 2021
- **Mitarbeiter:** 11–50
- **Verfahren:** FOUP-Reinigung von Transportbehältern (patentiertes GFPS-System, separierte Reinigung mit, Reinigung von Transportbehältern mit Reinstmedien (H2O, Stickstoff, hochreine Druckluft), Entwicklung von Reinigungssystemen für EUV-Technologie (Partikel- und Fremdmolekülfreiheit der, Optische Inspektionssysteme zur Detektion von Behälterbeschädigungen, Herstellung automatisierter Equipment für naßchemische Reinigung (wet-chemical equipment), Automatisierte Reinigungssysteme (FOUP-Reinigung), Prozessentwicklung, Software-Entwicklung, Projektleitung und Engineering, Integrierte Messtechnik zur Qualitätsüberwachung, Optische Inspektionssysteme, Support installierter Anlagen
- **Werkstoffe:** GFPS-Reinigungssystem, Nasschemisches Reinigungsequipment, EUV-Reinigungssysteme, Integrierte Messtechnik, Optische Inspektionssysteme
- **Branchen:** Halbleiterindustrie, Chipfertigung (inkl. EUV-Technologie)
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/gsec

## Über uns

Die GSEC (German Semiconductor Equipment Company) GmbH wurde 2021 in Radolfzell gegründet und entwickelt automatisierte Equipment für die naßchemische Reinigung in der Halbleiterindustrie. Kernprodukt ist das patentierte GFPS-System zur Reinigung von FOUP-Transportbehältern, das mit separierter Reinigung auf Basis von deionisiertem Wasser und reiner Druckluft arbeitet und dabei bis zu 70 % weniger Energie und Reinstmedien (H2O, Stickstoff, hochreine Druckluft) verbraucht als vergleichbare Systeme. Zu den Leistungen gehören Prozessentwicklung, Software-Entwicklung, Projektleitung und Engineering sowie der Support der im Feld installierten Anlagen. In die Systeme ist Messtechnik zur Überwachung der Reinigungsqualität im laufenden Prozess sowie optische Inspektion zur Detektion von Behälterbeschädigungen integriert. Für die EUV-Technologie, die neueste Generation der Belichtung, entwickelt GSEC Anlagen mit höchsten Anforderungen an Partikel- und Fremdmolekülfreiheit. Durch die Kooperation mit einem multinationalen japanischen Konzern und Partnerschaften mit Akteuren wie TCMC oder Intel greift das Unternehmen auf langjährige Erfahrung in der globalen Halbleiterindustrie zurück.

## Verfahren & technische Grenzen

- FOUP-Reinigung von Transportbehältern (patentiertes GFPS-System, separierte Reinigung mit
- Reinigung von Transportbehältern mit Reinstmedien (H2O, Stickstoff, hochreine Druckluft)
- Entwicklung von Reinigungssystemen für EUV-Technologie (Partikel- und Fremdmolekülfreiheit der
- Optische Inspektionssysteme zur Detektion von Behälterbeschädigungen
- Herstellung automatisierter Equipment für naßchemische Reinigung (wet-chemical equipment)

## Maschinenpark

- Automatisiertes Reinigungssystem für FOUP-Transportbehälter (GFPS) GSEC GmbH GFPS

## Standorte

- Radolfzell – Hauptsitz: Büro Software-Entwicklung, Engineering
- Hausen – Büro Projektleitung und Engineering, Service und Prozessentwicklung
- Furtwangen – Standort

## Historie

- 2021: Gründung der GSEC (German Semiconductor Equipment Company) GmbH in Radolfzell

## Kontakt

- Fritz Reichle Ring 18
- 78315 Radolfzell
- +49 7732 8907 600