# IDC Micro Inspection GmbH

> Automationssoftware und Inspektionslösungen für Keyence VHX Mikroskope in der Wafer- und Materialanalyse

## Auf einen Blick

- **Ort:** Schweiz
- **Website:** https://microinspection.ch/
- **Verfahren:** Automatisierte Mikroskop-Inspektion / Mikroskopie-Scanning (ScanX Software für Keyence VHX), Automationssoftware für Keyence VHX Mikroskope (ScanX), Automatisches Scannen nach Rezepten, Referenzmarken-/Fiducial-Erkennung, Bild-Stitching (unbegrenzt), HTTP REST API für Python und MATLAB, KLARF- und SINF-Map-Handling, Automatische Partikeldetektion und Reports, Offline-Stitching (Image Processor), Wafer Vacuum Chucks für 100–300 mm Wafer, Universal Bread Board für SL1 Stage, Online-Demos
- **Werkstoffe:** Automations- und Steuerungssoftware, HTTP REST API (Python/MATLAB), IDC 300-mm-Inspektionsstage mit VK-S1000K, Multi-Zone Wafer Vacuum Chuck für VHX SL1
- **Branchen:** Halbleiter/Wafer-Inspektion, Mikroskopie/Materialanalyse, Forschung
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/idc-micro-inspection

## Über uns

IDC Micro Inspection GmbH entwickelt ScanX, eine Automations- und Steuerungssoftware für Keyence VHX Digitale Mikroskope. Die Software automatisiert Mikroskop-Inspektionen durch Rezept-basiertes Scannen, automatische Referenzmarken- und Fiducial-Erkennung, unbegrenztes Image Stitching sowie automatische Partikeldetektion mit Reports. Über eine HTTP-REST-API lässt sich ScanX aus Python und MATLAB steuern; KLARF- und SINF-Map-Dateien werden importiert und verarbeitet. Ergänzend bietet das Unternehmen eigene Hardware wie Multi-Zone Wafer Vacuum Chucks für 100–300 mm Wafer, Universal Bread Boards für die SL1 Stage sowie einen anpassbaren 300-mm-Inspektionsstage (MI-300 mit VK-S1000K). ScanX steuert Keyence Mikroskope und Stages, Aerotech-, Peak Metrology- und Prior Scientific-Stages. Kunden kommen aus Halbleiter-/Wafer-Inspektion, Mikroskopie/Materialanalyse und Forschung. Das Unternehmen bietet Online-Demos mit einem voll ausgestatteten VHX X1 mit SL1 300-mm-Stage an.

## Verfahren & technische Grenzen

- Automatisierte Mikroskop-Inspektion / Mikroskopie-Scanning (ScanX Software für Keyence VHX)

## Maschinenpark

- Digitales Mikroskop Keyence VHX X1
- Digitales Mikroskop Keyence VHX-7000N with VHX-7100 or VHX-7020
- Positionier-/Inspektionsstage Keyence SL1
- Positionier-/Inspektionsstage Keyence S750E
- Positionier-/Inspektionsstage Aerotech
- Positionier-/Inspektionsstage Peak Metrology
- Customizable 300mm stage IDC MI-300 with VK-S1000K
- Positionier-/Inspektionsstage und Controller Prior Scientific
- Wafer Vacuum Chuck (Multi-Zone) für Keyence VHX SL1
- Universal Bread Board für SL1 Stage

## Standorte

- Schweiz – Entwicklung, Integration und Support