# idonus sàrl

> Sondermaschinen und Präzisionszerspanung für MEMS- und Mikrotechnik-Industrie

## Auf einen Blick

- **Ort:** Hauterive / Neuchâtel
- **Website:** https://www.idonus.com
- **Gegründet:** 2004
- **Verfahren:** 5 axes CNC milling (5-Achs-Fräsen), CNC turning (CNC-Drehen), Electrical discharge machining (EDM, Funkenerosion), Polishing (Polieren), Conventional machining (konventionelle Zerspanung), Surface grinding (Flachschleifen), Soldering (Löten), Machining of brittle materials (Silicon, glass, quartz, ceramic), Ion implantation surface treatment (services), HF vapor phase etching (Ätzen von Silizium-basierten Bauteilen, MEMS release), UV-LED photolithography exposure (inkl. Retrofit von Mask Alignern), UV curing / UV-Behandlung, Engineering services & prototyping / small series manufacturing, Special machinery design & manufacturing (MEMS equipment, Sondermaschinenbau), Machine vision & optical measurement solutions (telecentric optics), Wafer inspection (IR microscope), Mechanical conception (CAD) and drawings, Automated gluing station (robot-based Klebeapplikation mit Machine Vision), Engineering services (Mechanik, MEMS, Optik, Machine Vision), Prototyping und Kleinserienfertigung
- **Werkstoffe:** Aluminium, Nichteisenmetalle (non-ferrous metals), Stahl, Edelstahl (stainless steel), Polymere (Polymers / synthetics), Silizium, Glas, Borofloat® glass, Quarz, Keramik, Gallium Phosphide (GaP), Aluminium und Nichteisenmetalle, Edelstahl, Polymere, Glas und Borofloat®, Quarz und Keramik
- **Branchen:** MEMS-/Mikrofertigungsindustrie, Halbleiter-/Mikrotechnologie, Uhrenindustrie, Forschungseinrichtungen, Uhrenindustrie (Watch Valley), Halbleiter/Mikrotechnologie
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/idonus-s-rl

## Über uns

Die idonus sàrl wurde 2004 als Start-up des Institute of Microengineering der Universität Neuchâtel (heute IEM/EPFL) gegründet und ist auf Entwicklung und Fertigung von Spezialausrüstung für die MEMS- und Uhrenindustrie spezialisiert. Das Portfolio umfasst UV-LED-Expositionssysteme für die Photolithografie inklusive Retrofit von Mask Alignern, HF-Dampfphasenätzer (VPE) für siliziumbasierte Bauteile, IR-Mikroskope für Wafer-Inspektion sowie seit 2016 Ionimplantationsdienstleistungen und Sondermaschinen zur Oberflächenbehandlung. Ergänzend offersiert das Unternehmen Maschinenbearbeitungsdienstleistungen (5-Achsen-CNC-Fräsen, CNC-Drehen, Funkenerosion, Flachschleifen, Polieren, Löten) für Prototypen, Einzelteile und Kleinserien – auch an spröden Werkstoffen wie Silizium, Glas, Quarz und Keramik. Hinzu kommen Engineering-Dienstleistungen in Mechanik, MEMS, Nichtabbildender Optik und Machine Vision sowie Messsysteme mit telezentrischer Beleuchtung. Der Standort im Innoparc 1 in Hauterive bei Neuchâtel liegt im Zentrum des Schweizer Watch Valley; mit vertikaler Integration ermöglicht das Unternehmen schnelles Prototyping und kurze Lieferzeiten. Vertriebspartner betreuen Kunden weltweit, u. a. in Asien, Nordamerika und Brasilien.

## Verfahren & technische Grenzen

- 5 axes CNC milling (5-Achs-Fräsen), Losgröße Prototyping / Einzelteile–kleine Serien
- CNC turning (CNC-Drehen), Losgröße Prototyping / Einzelteile–kleine Serien
- Electrical discharge machining (EDM, Funkenerosion)
- Polishing (Polieren)
- Conventional machining (konventionelle Zerspanung)
- Surface grinding (Flachschleifen)
- Soldering (Löten)
- Machining of brittle materials (Silicon, glass, quartz, ceramic)
- Ion implantation surface treatment (services)
- HF vapor phase etching (Ätzen von Silizium-basierten Bauteilen, MEMS release)
- UV-LED photolithography exposure (inkl. Retrofit von Mask Alignern)
- UV curing / UV-Behandlung
- Engineering services & prototyping / small series manufacturing, Losgröße ?–kleine Serien
- Special machinery design & manufacturing (MEMS equipment, Sondermaschinenbau)
- Machine vision & optical measurement solutions (telecentric optics)
- Wafer inspection (IR microscope)
- Mechanical conception (CAD) and drawings
- Automated gluing station (robot-based Klebeapplikation mit Machine Vision)

## Maschinenpark

- 5-Achs-CNC-Fräsmaschine
- CNC-Drehmaschine
- Funkenerosionsmaschine (EDM)
- Flachschleifmaschine
- HF Vapor Phase Etcher (VPE), eigenes Produkt (z. B. VPE100) idonus VPE100
- UV-LED Exposure System (eigenes Produkt, z. B. UV-EXP150R / UV-EXP300S) idonus UV-EXP150R
- Ion implantation machines for surface treatment (Sondermaschinen) idonus
- IR microscope for wafer inspection (eigenes Produkt IR-M) idonus IR-M
- Retrofit: Mask Aligner (z. B. EVG® 620) mit UV-EXP150R EVG / idonus EVG 620 + UV-EXP150R
- Automated gluing station (Kleberoboter mit Machine Vision)
- Vacuum-compatible high-speed XY table (custom engineering) idonus
- Linear XY stage with large aperture for bottom side alignment (PLX photolithography equipment) idonus PLX
- Wafer Chuck for Uniform Electrodeposition (WEDC), 3-inch version idonus WEDC

## Standorte

- Hauterive (Neuchâtel) – Hauptsitz: Engineering, Machining-Services, Sondermaschinenbau

## Historie

- 2004: Gründung als Start-up des Institute of Microengineering der Universität Neuchâtel (IMT, heute IEM/EPFL)
- 2014: idonus HF Vapor Phase Etcher in wissenschaftlicher Publikation (J. Micromechanics and Microengineering) zitiert
- 2016: Aufnahme von Ionimplantations-Dienstleistungen und -Maschinen für Oberflächenbehandlung
- 2019: Teilnahme am Tag der offenen Tür im Innoparc 1, Hauterive
- 2021: Einführung der zweiten Generation (Gen. 2) der UV-LED-Expositionssysteme

## Kontakt

- Rouges-Terres 61
- 2068 Hauterive / Neuchâtel
- +41 32 724 44 40
- info@idonus.com