# Innovative Sensor Technology IST AG

> Entwicklung und Herstellung von physikalischen, chemischen und biologischen Sensoren in Dünn-, Dickschicht- und MEMS-Technologie.

## Auf einen Blick

- **Ort:** Ebnat-Kappel
- **Website:** https://www.ist-ag.com
- **Gegründet:** 1991
- **Mitarbeiter:** 500
- **Verfahren:** Dünn- und Dickschichttechnologie (Herstellung physikalischer, chemischer und biologischer Sensoren), Dickschichttechnologie (Siebdruck) für Sensoren, Mikroheizer, Leiterplatten, Dünnschichttechnologie (PVD & CVD, Sputtern, galvanische Abscheidung, Sol-Gel), Fotolithografie, Ätzen (Ionenätzen, nasschemisches Ätzen), Lasertrimmen / Laserkalibrierung, Siebdruck (Kontaktstellen, Passivierung), Schneiden (Auftrennen der Substrate), Schweissen (Drahtanbindung an Sensoren), Messen und Kalibrierung (2-Punkt-Kalibrierungsmessung, Widerstandsprüfung), PVD, CVD / LPCVD / PECVD, Thermische Oxidation, Lithographie, Trockenes Ätzen (RIE, DRIE), Wafer-Bonden und Wafer-Dicing, MEMS Integration / Packaging (keramische Leiterplatten, Löten, Hartlöten, Wire Bonding), Herstellung siliziumbasierter MEMS-Sensoren (Thermopiles, piezoresistive Dehnungsmessstreifen,, Entwicklung und Herstellung von Temperatursensoren (Dünn-/Dickschicht-RTD aus Platin und Nickel), Herstellung von Feuchtesensoren und -modulen (kapazitiv)
- **Werkstoffe:** Platin, Nickel, Silizium, Polysilizium, SiN (Siliziumnitrid), Aluminium, AlN (Aluminiumnitrid, piezoelektrisch), Keramik (Substrate, keramische PCBs), Edelstahl (HYT 939 Gehäuse), Siliziumnitrid, Aluminiumnitrid (piezoelektrisch), Edelstahl, Polymer
- **Zertifikate:** ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 13485:2016, ESCC-Qualifikation (Hi-Rel Weltraum-Sensoren), ISO 9001, ISO 14001, ISO 13485, EN 9100, Sonstiges (ESCC-Qualifikation Hi-Rel Weltraumsensoren)
- **Branchen:** Medizintechnik, Prozesssteuerung/Verfahrenstechnik, Automatisierungstechnik, Elektrofahrzeuge (EVs), Luft- und Raumfahrt, Prüf- und Messtechnik, Biotechnologie, Automobilbau, Gasanalyse/Emissionsmonitoring, Konsumelektronik
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/innovative-sensor-technology-ist

## Über uns

Die Innovative Sensor Technology IST AG ist ein 1991 gegründeter Hersteller physikalischer, chemischer und biologischer Sensoren mit Hauptsitz in Ebnat-Kappel, Schweiz. Das Unternehmen entwickelt und fertigt Temperatursensoren (Dünn- und Dickschicht-RTDs aus Platin und Nickel), thermische Massendurchflusssensoren, kapazitive Feuchtesensoren und -module, Leitfähigkeitssensoren und Biosensoren sowie Mikroheizer und thermische Infrarot-Strahler. Die Fertigung erfolgt in Reinräumen (ISO 5, über 1.000 m²) mittels Sputter-/PVD-Beschichtung, Fotolithografie, Ätztechnik, Lasertrimmen, Siebdruck, Wafer-Bonding und MEMS-Prozessen auf Keramik- und Siliziumsubstraten. Neben Standardprodukten bietet die iST kundenspezifische Sensorentwicklungen, Signalaufbereitung, Konfektionierung, werksseitige Kalibrierung und 100%ige Produktendkontrolle an. Seit 2005 gehört das Unternehmen zur Endress+Hauser Gruppe und beschäftigt weltweit rund 500 Mitarbeitende an Standorten in der Schweiz, Tschechien, den USA, China und Deutschland.

## Verfahren & technische Grenzen

- Dünn- und Dickschichttechnologie (Herstellung physikalischer, chemischer und biologischer Sensoren), Losgröße ?–Grossserienfertigung
- Dickschichttechnologie (Siebdruck) für Sensoren, Mikroheizer, Leiterplatten, Losgröße ?–Hohe Stückzahlen (Grossserienfertigung)
- Dünnschichttechnologie (PVD & CVD, Sputtern, galvanische Abscheidung, Sol-Gel)
- Fotolithografie
- Ätzen (Ionenätzen, nasschemisches Ätzen)
- Lasertrimmen / Laserkalibrierung
- Siebdruck (Kontaktstellen, Passivierung)
- Schneiden (Auftrennen der Substrate)
- Schweissen (Drahtanbindung an Sensoren)
- Messen und Kalibrierung (2-Punkt-Kalibrierungsmessung, Widerstandsprüfung), Losgröße ?–100%ige Produkt-Endkontrolle
- PVD
- CVD / LPCVD / PECVD
- Thermische Oxidation
- Lithographie
- Trockenes Ätzen (RIE, DRIE)
- Wafer-Bonden und Wafer-Dicing
- MEMS Integration / Packaging (keramische Leiterplatten, Löten, Hartlöten, Wire Bonding)
- Herstellung siliziumbasierter MEMS-Sensoren (Thermopiles, piezoresistive Dehnungsmessstreifen,, Losgröße einige Tausend Sensoren/Jahr–mehrere Millionen Sensoren/Jahr
- Entwicklung und Herstellung von Temperatursensoren (Dünn-/Dickschicht-RTD aus Platin und Nickel)
- Herstellung von Feuchtesensoren und -modulen (kapazitiv)
- Herstellung thermischer Massendurchflusssensoren
- Herstellung von Leitfähigkeitssensoren und Biosensoren
- Herstellung von Mikroheizern (Dickschicht)
- Herstellung thermischer Infrarot-Strahler (Infrasolid)
- Component Overmolding in Electronics (Kunststoff-Umspritzung von Sensoren)
- Anwendungsspezifische Werkskalibrierung

## Maschinenpark

- Sputter-/Deposition-Anlage (PVD)
- Vollautomatische Dickschicht-Produktionslinien
- Reinraum ISO 5 (>1'000 m²) mit Produktionsfläche 3'700 m²
- Analysewerkzeuge (SEM/EDX, XRF, µCT, 3D-Lasermikroskopie)
- Produktionsstätte (Montage)

## Standorte

- Ebnat-Kappel – Hauptsitz: F&E, Produktion, Vertrieb, Verwaltung
- Roznov pod Radhostem – Produktionsstandort (Montage)
- Las Vegas – Vertriebsbüro und Application Support Center
- Shanghai – Vertriebsbüro und Application Support Center
- Freiburg – Tochtergesellschaft iST Jobst (Mikrosystemtechnik/elektrochemische Analytik)
- Berlin – Tochtergesellschaft iST Innuscreen (Nukleinsäureextraktion, Molekulardiagnostik)
- Dresden – Tochtergesellschaft Infrasolid GmbH (thermische Infrarot-Strahler)
- Fehraltorf – Tochtergesellschaft Senstech AG (Kraft-, Druck-, Dehnungs-, Wegsensoren)

## Historie

- 1991: Gründung der Innovative Sensor Technology IST AG in Wattwil, Schweiz; Einstieg in den Sensormarkt mit Nickel-Temperatursensoren
- 1993: Beginn der Entwicklung und Produktion von Platin-Temperatursensoren
- 1994: Eröffnung der Produktionsstätte (Montage) in Roznov pod Radhoštěm, Tschechien; Beginn der Entwicklung von Strömungssensoren
- 1995: Vertriebsstart in Las Vegas, USA durch eine exklusive Vertretung
- 1999: Beginn der Entwicklung und Produktion von Feuchtesensoren
- 2004: Beginn der Entwicklung und Produktion von Leitfähigkeitssensoren und Feuchtemodulen
- 2005: Übernahme der iST durch die Endress+Hauser Gruppe
- 2006: Gründung einer 100-prozentigen Tochtergesellschaft in Las Vegas, USA
- 2012: Umzug des Hauptsitzes von Wattwil in den eigenen Neubau nach Ebnat-Kappel
- 2015: Übernahme der Jobst Technologies GmbH in Freiburg, Deutschland; Eröffnung der Verkaufsbüros in Shanghai (China) und Prag (Tschechien)
- 2019: iST bezieht den erweiterten Hauptsitz
- 2020: Übernahme von AJ Innuscreen in Berlin, Deutschland; Umbenennung in IST Innuscreen GmbH
- 2022: Infrasolid GmbH in Dresden und Senstech AG in Fehraltorf werden Teil der iST Gruppe
- 2024: Einführung des neuen Brandings

## Kontakt

- Stegrütistrasse 14
- 9642 Ebnat-Kappel
- +41 71 992 01 00
- info@ist-ag.com