# KLA Corporation

> KLA entwickelt und fertigt Prozesskontroll- und Prozesslösungen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung – von Inspektion und Metrologie bis Etch und Deposition.

## Auf einen Blick

- **Ort:** Milpitas, CA, USA
- **Website:** https://www.kla.com
- **Gegründet:** 1976
- **Mitarbeiter:** ~16000
- **Verfahren:** Defekt-Inspektion und Review (Wafer/IC), Metrology / Messsysteme (u. a. Archer, SpectraShape, Aleris, Axion), Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD), SPTS Sigma, Plasma-enhanced CVD (PECVD), SPTS Delta/Osprey, Plasma Etch (SPTS Omega, Mosaic, Plasma Dicing), UV-Laserdrilling / Xactix Xe-etched (Xactix CVE/e2/X4), Direkte Belichtung (Direct Imaging) für PCB-Patterning und Lötstopplack, Tintenstrahl- und Additive Printing (Orbotech Magna/Neos/Sprint), PCB-Inspektion, Repair und Imaging, Schichtdickenmessung / Reflektometer (Filmetrics), Masken-/Reticle-Qualifikation (Teron, TeraScan), Service und Support (über 3.000 Field Service Engineers), Ersatzteilversorgung (über 250.000 Teile), Serviceverträge und Upgrades/Enhancements, KLA Pro Systems (zertifizierte und remanufacturierte Tools), Training (Learning & Knowledge Services), Prozesslösungen (Etch, PVD, PECVD), Computational Analytics / Software, Produktschulung
- **Werkstoffe:** Silizium-Wafer (Halbleiter), GaN (Galliumnitrid) Leistungshalbleiter, AlScN (Aluminium-Scandium-Nitrid) / Elektrodenmetalle für BAW-Filter, Silizium-Wafer, Galliumnitrid (GaN), AlScN / Elektrodenmetalle, Physikalische Gasphasenabscheidung (SPTS Sigma), Plasmaunterstützte CVD (SPTS Delta/Osprey), Plasma-Etch (SPTS Omega, Mosaic), Xenon-Difluorid- / Vapor-Etch (Xactix, Primaxx), Direktbelichtung (Orbotech Diamond, Nuvogo)
- **Zertifikate:** ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018, IATF 16949
- **Branchen:** Halbleiterfertigung, Wafer-Herstellung, Retikel-/Maskenqualifizierung, Advanced Packaging, PCB & IC-Substrate, 5G, Automotive, IoT, KI/Data Center, Solarenergie, Festplattenfertigung, Forschung/Universitäten
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/kla-corporation

## Über uns

KLA Corporation ist ein global tätiger Anbieter von Prozesskontroll- und prozessunterstützenden Lösungen für die Halbleiterfertigung. Das Unternehmen entwickelt und fertigt Inspektionssysteme für Defekterkennung, Metrologiesysteme, Masken- und Reticle-Qualifizierungssysteme sowie Prozesslösungen wie Plasma-Etch, physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) und plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD). Ergänzt wird das Portfolio durch Direktbelichtungssysteme und additive Druckverfahren für Leiterplatten und IC-Substrate, Schichtdickenreflektometer (Filmetrics) sowie Software und Computational Analytics. Die Produkte werden in Reinform von der Forschung und Entwicklung bis zur Großserienfertigung eingesetzt und bearbeiten Werkstoffe wie Silizium-Wafer, GaN-Leistungshalbleiter und AlScN-Dünnschichten. Abnehmer stammen aus Halbleiterfertigung, Wafer-Herstellung, Advanced Packaging, PCB-Fertigung, 5G, Automotive, IoT, KI/Data Center, Solarenergie und Forschung. Neben dem Hauptsitz in Milpitas (Kalifornien) unterhält KLA Fertigungs- und Entwicklungsstandorte unter anderem in Newport (Wales), Weilburg und Jena (Deutschland), Ann Arbor (Michigan), Israel, Singapur und Shenzhen. KLA ist an der NASDAQ gelistet und beschäftigt rund 16.000 Mitarbeitende weltweit.

## Verfahren & technische Grenzen

- Defekt-Inspektion und Review (Wafer/IC)
- Metrology / Messsysteme (u. a. Archer, SpectraShape, Aleris, Axion)
- Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD), SPTS Sigma
- Plasma-enhanced CVD (PECVD), SPTS Delta/Osprey
- Plasma Etch (SPTS Omega, Mosaic, Plasma Dicing)
- UV-Laserdrilling / Xactix Xe-etched (Xactix CVE/e2/X4)
- Direkte Belichtung (Direct Imaging) für PCB-Patterning und Lötstopplack
- Tintenstrahl- und Additive Printing (Orbotech Magna/Neos/Sprint)
- PCB-Inspektion, Repair und Imaging
- Schichtdickenmessung / Reflektometer (Filmetrics)
- Masken-/Reticle-Qualifikation (Teron, TeraScan)

## Maschinenpark

- PVD-Beschichtungsanlage SPTS (KLA) Sigma PVD
- PECVD-Beschichtungsanlage SPTS (KLA) Delta PECVD / Osprey PECVD
- MVCVD (MVD300/300E) KLA MVD300/300E
- Plasma-Etchanlage (ICP/Rapier/DSi-v/SynapsEtch) SPTS (KLA) Omega
- Plasma-Dicing-System SPTS (KLA) Mosaic / Rapier-S / Rapier-300S
- Xenon-Difluorid-Etch-System Xactix (KLA) CVE / e2 / X4
- Vapor-Etch-System Primaxx (KLA) Monarch 25 / Monarch 3 / Monarch 300 / uEtch
- Defekt-Inspektionssysteme KLA Surfscan / 39xx / 29xx / CIRCL / Voyager / eDR7380
- Mess-/Metrologiesysteme KLA Archer / SpectraShape / Aleris / Axion / Candela
- Direktbelichtungssysteme (Direct Imaging) Orbotech (KLA) Diamond 10/10W / Nuvogo / Serena / Corus / Infinitum
- Schichtdickenreflektometer Filmetrics (KLA) F10/F20/F3/F32/F40/F50/F54/F60
- Masken-/Reticle-Inspektionssystem KLA Teron 6xx / TeraScan 5xx

## Standorte

- Milpitas, CA – Konzernzentrale
- Newport – Fertigung und F&E (SPTS-Division)
- Weilburg – Fertigung und F&E (KLA MIE GmbH)
- Jena – Entwicklung, Fertigung, Vertrieb und Service
- Ann Arbor, MI – Fertigung und F&E / Wachstumszentrum
- Migdal Ha'Emek – Entwicklung, Fertigung, Vertrieb und Service
- Yavne – Fertigung (Orbotech)
- Singapur – Fertigung
- Shenzhen – Fertigung
- San Diego, CA – Filmetrics Headquarters

## Historie

- 1975: Wegweisendes Masken-Inspektionssystem; Beginn des Zeitalters der Halbleiter-Prozesskontrolle
- 1976: Gründung von KLA; seither Unterstützung der Yield-Steigerung durch Process Control
- 1984: SPTS (Wales) beginnt mit Innovation im Halbleiterausrüstungsbereich
- 2019: Übernahme von SPTS (Etch/Deposition) und Orbotech
- 2025: Eröffnung des neuen R&D- und Fertigungszentrums in Newport, Wales (138 Mio. USD)
- 2026: 50 Jahre Innovation und Kundenerfolg; Feier mit NASDAQ-Glocke

## Kontakt

- Three Technology Drive
- 95035 Milpitas, CA, USA
- +1-408-875-3000