# LayTec AG

> LayTec entwickelt und fertigt integrierte In-situ- und In-line-Messtechnik für Dünnschichtprozesse in Halbleiter- und Photovoltaik-Fertigung.

## Auf einen Blick

- **Ort:** Berlin
- **Website:** https://laytec.de
- **Gegründet:** 1999
- **Verfahren:** In-situ Metrologie für Abscheideprozesse (Deposition) – Echtzeit-Prozesskontrolle, In-line Metrologie während des Substrattransfers zwischen Abscheidungen, In-situ Monitoring der Dünnschichtbildung bei Spin-Coating, Slot-Die-Coating, PVD und, In-line Monitoring von Mehrschicht-Dünnschichtstrukturen in Großflächenprozessen (spektrale, In-situ/in-line Photolumineszenz (PL), zeitabhängige PL zur Ladungsträgerlebensdauer-Messung, In-situ Monitoring epitaktischer Abscheidung von 2D-Materialien (Reflexion, Deflexion,, Endpunkt-Metrologie für Plasma-Ätz-Prozesse (TRIton), Optische Inspektion in Dünnschicht-Produktionslinien: Schichtdicke, Reflexion, Transmission,, In-situ- und In-line-Messtechnik für Dünnschichtprozesse, Installation, Inbetriebnahme und Schulungen bei Kunden weltweit, Service mit 24h-Reaktionszeit (WERKtage Berlin/CET), Ersatzteile, Vor-Ort-Reparaturen, Präventive Wartung und Vor-Ort-Kalibrierung, Fortgeschrittene Datenanalyse, Serviceverträge / Premium Care Service Package, Trainingssitzungen
- **Werkstoffe:** Perovskit (Perovskite-basierte Solarzellen), Silizium (Si-Perovskit-Tandem), Graphen, Hexagonales Bornitrid, Wolframdisulfid, CIGS (Kupfer-Indium-Gallium-Selenid), III-V-Verbindungshalbleiter, Organische PV-Materialien, Perowskit (Perowskit-Solarzellen), Silizium (Si-Perowskit-Tandem), Organische PV- und Hybridmaterialien, 2D-Materialien (Graphen, hBN, WS2)
- **Zertifikate:** DIN EN ISO 9001:2015, ISO 9001
- **Branchen:** Halbleiterindustrie (Compound Semiconductor, Si-Dünnschicht), Photovoltaik (Perowskit, organische PV, CIGS, Si-Tandem), Large-Area Coating / Display, 2D-Materialien, Forschungseinrichtungen, OEM-Kunden, Plasma-Etching, Halbleiterindustrie (Compound Semiconductor, Silizium-Dünnschicht-Charakterisier, Large-Area Coating / Display-Industrie, 2D-Materialien (Graphen, hBN, WS2)
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/laytec

## Über uns

LayTec AG entwickelt und produziert metrologiebasierte Messsysteme für Prozesskontrolle in der Halbleiter- und Photovoltaikindustrie. Das Portfolio umfasst In-situ-, In-line-, Lab-line- und Map-line-Metrologie zur Echtzeitüberwachung von Abscheideprozessen: Schichtdicke, Bandlücke, Reflexion, Transmission, Flächewiderstand, Temperatur, Wafer-Krümmung und Ladungsträgerlebensdauer werden berührungslos während des Prozesses gemessen. Zu den Produkten zählen InspiRe (spektrales In-situ-Monitoring für Spin-Coating, Slot-Die-Coating, PVD und Temperprozesse), Flames und ILMetro (In-line-Monitoring großflächiger Mehrschichtstrukturen), PearL/t-PearL (Photolumineszenz), EpiTT und EpiCurve TT (Temperatur- und Krümmungsmessung bei 2D-Materialien), TRIton (Endpunkt-Metrologie für Plasma-Ätzen) sowie die C2C-Mapping-Station EpiX. Anwendungsfelder sind Compound-Halbleiter, Si-Dünnschicht-Charakterisierung, Perowskit- und organische Photovoltaik, CIGS, 2D-Materialien wie Graphen, hBN und WS2 sowie Displays und Large-Area-Coating. Weltweit sind mehr als 3500 Systeme installiert. LayTec fertigt in Berlin und betreut Kunden über ein globales Vertriebs- und Servicenetzwerk unter DIN EN ISO 9001:2015.

## Verfahren & technische Grenzen

- In-situ Metrologie für Abscheideprozesse (Deposition) – Echtzeit-Prozesskontrolle
- In-line Metrologie während des Substrattransfers zwischen Abscheidungen
- In-situ Monitoring der Dünnschichtbildung bei Spin-Coating, Slot-Die-Coating, PVD und
- In-line Monitoring von Mehrschicht-Dünnschichtstrukturen in Großflächenprozessen (spektrale
- In-situ/in-line Photolumineszenz (PL), zeitabhängige PL zur Ladungsträgerlebensdauer-Messung
- In-situ Monitoring epitaktischer Abscheidung von 2D-Materialien (Reflexion, Deflexion,
- Endpunkt-Metrologie für Plasma-Ätz-Prozesse (TRIton)
- Optische Inspektion in Dünnschicht-Produktionslinien: Schichtdicke, Reflexion, Transmission,

## Maschinenpark

- Spektrales In-situ-Monitoring-System LayTec InspiRe
- In-line Monitoring-System für Großflächen-Dünnschichtstrukturen LayTec Flames
- In-line Kontrollsystem mit multiplen berührungslosen Messungen LayTec ILMetro
- PL-Metrologie für Raumtemperatur-Abscheidungsprozesse LayTec PearL / t-PearL
- In-situ Temperatur-/Reflexionsmesssystem (3 Wellenlängen) LayTec EpiTT
- Wafer-Krümmungs-Messsystem mit emissivitätskorrigierter Pyrometrie LayTec EpiCurve TT
- Endpunkt-Metrologie-System für Plasma-Ätzen LayTec TRIton
- Optische Wafer-Charakterisierung / C2C Mapping-Station LayTec EpiX
- Automatisierte optische Inspektion für Dünnschicht-Produktionslinien LayTec

## Standorte

- Berlin – Headquarter – Hauptsitz, Entwicklung und Fertigung
- Berlin – Application and Support – Application and Support / Service mit 24h-Reaktionszeit (WERKtage CET)

## Historie

- 1999: Gründung der LayTec GmbH; schnell Weltmarktführer für In-situ-Messtechnik in LED- und LASER-Produktion
- 2008: Expansion in Anwendungen jenseits der Halbleiterindustrie; In-line-Messtechnik für Dünnschicht-PV und Displays
- 2009–2011: Zu den 50 am schnellsten wachsenden Technologieunternehmen Deutschlands gezählt
- 2011: Übernahme der Assets von ORS (Optical Reference Systems), heute LayTec UK
- 2018: LayTec Teil des Portfolio der Nynomic AG
- 2025: Caelux wählt LayTec für optische Qualitätsprüfung in Perowskit-Solarglas-Produktion
- 2026: Sandia National Laboratories wählt LayTecs EpiX für optische Wafer-Charakterisierung

## Kontakt

- Seesener Str. 10–13
- 10709 Berlin
- +49 30 8900550
- info@laytec.de