# M-O-T Mikro- und Oberflächentechnik GmbH

> Kundenspezifische Nassprozess-Anlagen für Halbleiter- und MEMS-Fertigung bis 300 mm Wafergröße

## Auf einen Blick

- **Ort:** Saarbrücken
- **Website:** https://www.woll-group.com/semicon/woll-semicon/ueber-uns
- **Verfahren:** Nasschemisches Ätzen, Reinigen (Nassreinigung), Galvanisieren / galvanische Abscheidung, Fotolackverarbeitung, Kundenspezifische Chemiestationen, Kundenspezifische Nassprozess-Anlagen (manuell, halb- und vollautomatisch), Ätzen, Reinigen, Galvanisieren, Chemiestationen, Wet-Bench-Systeme, Prozesskontrolle
- **Werkstoffe:** Silizium (Si), Siliziumkarbid (SiC), Galliumnitrid (GaN), Galliumarsenid (GaAs), Indiumphosphid (InP), Gold, Silber, Kupfer, Nickel
- **Zertifikate:** Prozesskontrolle
- **Branchen:** Halbleiter, MEMS, Photonik, Energie, 5G, microLED, Sensorik, Forschung und Entwicklung
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/m-o-t-mikro-und-oberflaechentechnik

## Über uns

WOLL.Semicon ist die Halbleitermarke der M-O-T Mikro- und Oberflächentechnik GmbH innerhalb der WOLL.Group. Am Standort Saarbrücken entwickeln und fertigen wir kundenspezifische Nassprozess-Anlagen für Forschung, Entwicklung und Serienproduktion. Die modularen Systeme lassen sich sowohl in bestehende Front-End-of-Line (FEOL) als auch Back-End-of-Line (BEOL) Fertigungsumgebungen integrieren. Die Anlagen beherrschen komplexe nasschemische Prozesse wie Ätzen, Reinigen, Galvanisieren und Fotolackverarbeitung und werden als manuelle, halb- oder vollautomatische Systeme sowie als kundenspezifische Chemiestationen geliefert. Verarbeitet werden unter anderem Silizium (Si), Siliziumkarbid (SiC), Galliumnitrid (GaN), Galliumarsenid (GaAs) und Indiumphosphid (InP) bei Wafergrößen bis 300 mm; ergänzend ermöglicht die Plattform die galvanische Abscheidung von Gold, Silber, Kupfer, Nickel und weiteren Legierungen. Die Systeme richten sich an Anwendungen in Photonik, Energie, 5G, microLED, Sensorik und MEMS.

## Verfahren & technische Grenzen

- Nasschemisches Ätzen
- Reinigen (Nassreinigung)
- Galvanisieren / galvanische Abscheidung
- Fotolackverarbeitung
- Kundenspezifische Chemiestationen

## Maschinenpark

- Manuelle Nassprozess-Anlage (Wet Bench) M-O-T Mikro- und Oberflächentechnik GmbH (WOLL.Semicon)
- Halbautomatische Nassprozess-Anlage M-O-T Mikro- und Oberflächentechnik GmbH (WOLL.Semicon)
- Vollautomatische Nassprozess-Anlage M-O-T Mikro- und Oberflächentechnik GmbH (WOLL.Semicon)

## Standorte

- Saarbrücken – Entwicklung und Fertigung Nassprozess-Anlagen

## Kontakt

- Saarbrücken
- +49 681 992 727 9-0
- info@m-o-t.info