# MagTec GmbH

> Kundenspezifische PVD-Beschichtungen mit Magnetronsputtern, NEG-Coating, Sputterquellen und Schichtanalyse

## Auf einen Blick

- **Ort:** Ellerstadt
- **Website:** https://magtec-cs.de
- **Verfahren:** PVD-Beschichtung (Magnetronsputtern), DC-Magnetronsputtern, RF-Magnetronsputtern, Reaktives Magnetronsputtern, Inline-PVD-Beschichtung von Substraten bis 400 mm x 1300 mm, Batch-Beschichtung von 3D-Geometrien bis 400 mm x 300 mm x 300 mm, Innenbeschichtung von Rohren bis 120 mm Durchmesser und 1,6 m Länge, NEG-Beschichtung (non-evaporable getter) von Rohren und Bauteilen für UHV-Anwendungen, Fertigung von Neutronenleitern (rechteckig bis 300 x 300 mm, 1200 mm Länge; rohrförmig 52–120 mm, Fertigung von Choppers für Ultra-Kalt-Neutronen, Fertigung von Soller-Kollimatoren, Design und Fertigung kundenspezifischer Magnetron-Sputterquellen, Magnetfeldsimulation (MC-Simulation), Fräsen, Drehen, Elektroerosion, Bauteil- und Maskenfertigung sowie Prototypenbau, XRF-Elementanalyse (Analyse-Dienstleistung), XRR-, XRD-, GID-Analyse von Schichten (Rauheit, Dicke, Dichte, Struktur), UV/ViS-Transmissions- und Reflektivitätsmessungen (175–3300 nm)
- **Werkstoffe:** Polycarbonat, Polyimid (Kapton), Plexiglas (PMMA), PE (Polyethylen), Glas, Metallfolien, Halbleiter-Wafer, Metalle (verschiedene Beschichtungsmaterialien, nahezu gesamtes Periodensystem verfügbar), CuTi (Kupfer-Titan, Neutronenspiegel), Nickel-Phosphorus (NiP), NEG (non-evaporable getter)
- **Zertifikate:** Reinraum ISO 5 (Produktion), Produktionsbegleitende Qualitätskontrolle (XRF, XRD, XRR, GID, UV/ViS), ISO 9001
- **Branchen:** Optik, Halbleiterindustrie, Weltraum- und Vakuumtechnik, Neutronenphysik/Forschung
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/magtec

## Über uns

Die MagTec GmbH ist ein Hochtechnologie-Unternehmen mit Sitz in Ellerstadt in der Pfalz, das sich auf kundenspezifische PVD-Beschichtungen mit Magnetron-Sputtertechnologie spezialisiert hat. Das Unternehmen verfügt über mehr als 15 Jahre Erfahrung und beschichtet metallische Oberflächen, Gläser, Kunststoffe wie Polycarbonat, Polyimid (Kapton), PMMA und PE sowie Halbleiter-Wafer mittels DC-, RF- und reaktivem Magnetronsputtern. Die Produktion erfolgt unter Reinraumbedingungen (ISO 5) auf rund 150 m² Fläche mit vier PVD-Anlagen: zwei Inline-Anlagen für Substrate bis 400 x 1300 mm, eine Batchanlage für 3D-Geometrien bis 400 x 300 x 300 mm und eine Anlage zur Innenbeschichtung von Rohren bis 120 mm Durchmesser und 1,6 m Länge. Ergänzend fertigt das Unternehmen auf 100 m² Werkstattfläche per Fräsen, Drehen und Elektroerosion Bauteile, Masken und Prototypen sowie kundenspezifische Magnetron-Sputterquellen. Anwendungsfelder sind Optik, Halbleiterindustrie, Weltraum- und Vakuumtechnik sowie Neutronenphysik; zu den Kunden zählen Forschungseinrichtungen wie ILL, PSI, Los Alamos National Laboratory, FRM II und TRIGA Mainz.

## Verfahren & technische Grenzen

- PVD-Beschichtung (Magnetronsputtern), max. Länge 1300 mm
- DC-Magnetronsputtern
- RF-Magnetronsputtern
- Reaktives Magnetronsputtern
- Inline-PVD-Beschichtung von Substraten bis 400 mm x 1300 mm, max. Länge 1300 mm
- Batch-Beschichtung von 3D-Geometrien bis 400 mm x 300 mm x 300 mm, max. Länge 300 mm
- Innenbeschichtung von Rohren bis 120 mm Durchmesser und 1,6 m Länge, max. Länge 1,6 m
- NEG-Beschichtung (non-evaporable getter) von Rohren und Bauteilen für UHV-Anwendungen
- Fertigung von Neutronenleitern (rechteckig bis 300 x 300 mm, 1200 mm Länge; rohrförmig 52–120 mm, max. Länge 1600 mm
- Fertigung von Choppers für Ultra-Kalt-Neutronen
- Fertigung von Soller-Kollimatoren
- Design und Fertigung kundenspezifischer Magnetron-Sputterquellen
- Magnetfeldsimulation (MC-Simulation)
- Fräsen
- Drehen
- Elektroerosion
- Bauteil- und Maskenfertigung sowie Prototypenbau
- XRF-Elementanalyse (Analyse-Dienstleistung)
- XRR-, XRD-, GID-Analyse von Schichten (Rauheit, Dicke, Dichte, Struktur)
- UV/ViS-Transmissions- und Reflektivitätsmessungen (175–3300 nm)

## Maschinenpark

- 2× PVD Inline Beschichtungssystem
- 1× PVD Batch-Beschichtungsanlage für 3D-Geometrien
- 1× PVD Beschichtungsanlage für Innenbeschichtung von Rohren
- Fräsmaschine
- Drehmaschine
- Elektroerosionsmaschine
- 1× Röntgendiffraktometer (XRD/XRR/GID) Bruker D8 ADVANCE ECO
- 1× Röntgenspektrometer (XRF) Bruker AXS S4 Pioneer
- 1× UV/ViS-Spektrometer Perkin Elmer Lambda 950

## Standorte

- Ellerstadt – Hauptsitz, Produktion, Werkstatt und Labor

## Historie

- : Gründung des Unternehmens; mehr als 15 Jahre Erfahrung in kundenspezifischen PVD-Beschichtungen
- 2018: Europäische Patentanmeldung 17 728 516.0 zur NEG-Beschichtung (Anmelder: Pfeiffer Vacuum Components & Solutions GmbH und Movatec GmbH; Erfinder: Dr. A. Kraft und Dr. T. Lauer)

## Kontakt

- Bahnstraße 73
- 67518 Ellerstadt
- +49 (6237) 404 20 20
- info@magtec-cs.de