# SAWATEC AG

> Entwicklung und Fertigung von Prozessinstrumenten für Mikro- und Nanolithographie

## Auf einen Blick

- **Ort:** CH-9468 Sax
- **Website:** https://www.sawatec.com
- **Gegründet:** 1996
- **Verfahren:** Hotplates (Soft-/Hard-Bake, Tempern auf Hotplate), Spin Coating (Spin Modules, Sprühbelacker/Spray Coater), Sprühentwickeln (Developers, Sprühentwickler), Spin Rinser Dryer (Spülen/Trocken), Coolplates (Kühlen), HMDS-Priming (Haftvermittlerauftrag), Sonderanfertigungen / kundenspezifische Lösungen, After-Sales Service und Wartung, Anwendungs-/Prozessoptimierung, Remote-/Smart-Services (In Entwicklung), Applikationstesting mit Forschungspartnern
- **Werkstoffe:** Fotolack, Halbleiter-/MEMS-Substrate (Wafer)
- **Zertifikate:** CE-Kennzeichnung (Produkte), Reinraumtauglichkeit
- **Branchen:** Halbleiterindustrie, MEMS, Mikro- und Nanolithographie, Nanotechnologie, Data Storage, CD-Industrie, 3D-Sensorik, Photonik / optische Lösungen, Forschung und Ausbildung, Optische Lösungen / Photonik, Forschung und Ausbildung (Universitäten, Institute)
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/sawatec

## Über uns

Die SAWATEC AG ist ein privates Schweizer Hightech-Unternehmen mit Sitz in Sax (Kanton St. Gallen), das 1996 durch den Zusammenschluss von Sawatzki Engineering und Bruno Sawatzki Konstruktion entstand. Das Unternehmen entwickelt und fertigt Prozessinstrumente und Systeme für die Mikro- und Nanolithographie: Spin Coater, Sprühbelacker (Spray Coater), Sprühentwickler, Hotplates, Coolplates und Spin Rinser Dryer sowie Cluster-Systeme, flexible Systeme mit 6-achsigen ROBO-Modulen, Tischeinlassmodule für Nassbänke sowie Dosierpumpen, Dosierventile und Buffertanks. Die Anlagen werden in Labors, Forschung und Entwicklung, in Kleinserienfertigung und in der Halbleiter- und MEMS-Industrie eingesetzt; Substrate bis Ø 900 mm und Dicken bis 14 mm sind möglich. Für Sonderanforderungen entstehen kundenspezifische Anfertigungen. Mit über 1000 installierten Systemen weltweit bedient SAWATEC die Halbleiterindustrie, MEMS, Nanotechnologie, Data Storage, die CD-Industrie und die 3D-Sensorik. Vertriebs- und Service-Center in Suzhou und Shenzhen (Greater China) sowie ein weltweites Partnernetz sichern Kundennähe und After-Sales-Service.

## Verfahren & technische Grenzen

- Hotplates (Soft-/Hard-Bake, Tempern auf Hotplate)
- Spin Coating (Spin Modules, Sprühbelacker/Spray Coater)
- Sprühentwickeln (Developers, Sprühentwickler)
- Spin Rinser Dryer (Spülen/Trocken)
- Coolplates (Kühlen)
- HMDS-Priming (Haftvermittlerauftrag)

## Maschinenpark

- Hotplate HP-150 (Tisch-/Tischeinlassversion) SAWATEC HP-150
- Hotplate HP-200+ (Soft-/Hard-Bake) SAWATEC HP-200+
- Hotplate HP-200-Z+ (Mehrzonen-Heizsystem, Vakuumkammer) SAWATEC HP-200-Z+
- Hotplate (Baureihe inkl. HP-300+, HP-600+) SAWATEC HP-Baureihe (HP-150, HP-200+, HP-200-Z+, HP-300+, HP-600+)
- Spin Modules / Spin Coater SAWATEC
- Spray Coater (Sprühbelacker) SAWATEC
- Developer (Sprühentwickler) SAWATEC
- Spin Rinser Dryer SAWATEC
- Coolplates SAWATEC
- Cluster-Systeme (SCS-4, CS-200-4 sirius) SAWATEC SCS-4; CS-200-4 sirius
- Flexible Systeme mit 6-achsigen ROBO-Modulen SAWATEC
- Tischeinlassmodule zur Integration in Nassbänke/Systeme SAWATEC
- Dosierpumpen, Dosierventile, Präzisionspumpen, Dosiersysteme, Buffertanks SAWATEC

## Standorte

- Sax – Hauptsitz: Entwicklung, Fertigung und Verwaltung
- Suzhou – Verkaufs- und Service-Center Greater China (Suzhou SAWATEC Semiconductor Systems Co., Ltd.)
- Shenzhen – Verkaufs- und Service-Center Greater China (Shenzhen SAWATEC Semiconductor Systems Co., Ltd.)

## Historie

- 1996: Gründung der SAWATEC AG durch Zusammenschluss von Sawatzki Engineering und Bruno Sawatzki Konstruktion (Harry und Bruno Sawatzki); erstes Produkt: Spin Coater mit Hotplate.
- 1998: Ausweitung der Produktpalette mit Dosierpumpen und Dosierventilen für Data Storage Systeme.
- 2000: Einstieg in die CD-Industrie mit Dosiersystemen, Buffertanks und Präzisionspumpen mit sehr geringen Fördermengen.
- 2001: Entwicklung und Markteinführung eines Sprühbelackers für Halbleiter und 3D-Sensorik.
- 2006: Entwicklung und Lancierung von Sprühentwicklern für den Halbleiterbereich.
- 2007: Entwicklung der ersten Cluster-Anlagen SCS-4.
- 2008: Entwicklung der ersten Tischeinlassmodule zur Integration in Nassbänke oder andere Systeme.
- 2010: Umzug in die Schweiz an den heutigen Firmensitz in Sax.
- 2015: Aufbau der ersten Auslandniederlassung in China (Suzhou).
- 2017: Erstes Cluster System CS-200-4 sirius an ein chinesisches Institut geliefert.
- 2019: Markteinführung eines flexiblen Systems mit 6-achsigen ROBO-Modulen.
- 2020: Mehr als 1000 installierte Systeme weltweit; Auslieferung eines HP-600.
- 2021: 25-jähriges Firmenjubiläum; Teilnahme an der Innovationsreise Smart Services.
- 2022: Eröffnung eines zusätzlichen Verkaufs- und Service-Centers in Shenzhen.

## Kontakt

- Eschagger 2
- CH-9468 Sax
- +41 81 750 44 00
- sales@sawatec.com