# scia Systems GmbH

> Vakuum-Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungsanlagen auf Ionenstrahl- und Plasmabasis mit Nanometer-Präzision

## Auf einen Blick

- **Ort:** Chemnitz
- **Website:** https://www.scia-systems.com
- **Gegründet:** 2013
- **Verfahren:** Ionenstrahlätzen (IBE / Ion Beam Milling), Reaktives Ionenstrahlätzen (RIBE), Chemisch-unterstütztes Ionenstrahlätzen (CAIBE), Ionenstrahltrimmen (Ion Beam Trimming), Ionenstrahl-Polierfehlerkorrektur, Ionenstrahlsputtern (IBS/IBD), Duales Ionenstrahlsputtern (DIBS/DIBD), Magnetronsputtern (PVD, statisch/konfokal/dynamisch), Elektronenstrahlverdampfen (EBPVD, optional mit Ionenstrahlunterstützung), Glancing Angle Deposition (Nanostrukturen), Plasma-gestütztes CVD (PECVD), Reaktives Ionenätzen (RIE), Atomlagenabscheidung (ALD), Trockenreinigung (Plasma-/Ionenstrahlreinigung), Substratvorreinigung / Oberflächenaktivierung vor Beschichtung, Formung von Rasierklingenschneiden, Anlagendesign / kundenspezifische Systementwicklung, Softwareentwicklung / Anlagensteuerung, Prozessentwicklung (F&E), Installation, Inbetriebnahme & Training
- **Werkstoffe:** Silizium, Indiumphosphid, Galliumarsenid, Silizium-Germanium, Lithiumniobat, Lithiumtantalat, Siliziumnitrid, Siliziumdioxid, Aluminiumnitrid, Tantaloxid, Gold, Ruthenium, Tantal, Halbleiter, Metalle, Keramiken, Polymere, dielektrische Materialien
- **Zertifikate:** EN ISO 9001:2015
- **Branchen:** Mikroelektronik, MEMS, Präzisionsoptik, Photonik / PICs, Astronomie, Biomedizinische Technik, Halbleiter (Advanced Packaging, Failure Analysis), Photonik / Photonic Integrated Circuits
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/scia-systems

## Über uns

scia Systems ist ein 2013 in Chemnitz gegründeter Hersteller von Anlagen zur ultrapräzisen Oberflächenbearbeitung auf Basis von Ionenstrahl- und Plasmatechnologien. Das Unternehmen entwickelt und fertigt Vakuumsysteme zum Beschichten, Ätzen, Trimmen und Reinigen mit Nanometer-Genauigkeit – von Ionenstrahlätzen (IBE/RIBE/CAIBE), Ionenstrahltrimmen und Ionenstrahlsputtern (IBS/DIBS) über Magnetronsputtern, Elektronenstrahlverdampfen, PECVD/RIE bis zu Plasma- und Ionenstrahl-Trockenreinigung. Die modularen Systeme werden als Einzelkammer-, Cluster- oder Inlineanlagen für Forschung und Großserienproduktion konfiguriert. Die Leistungspalette umfasst Anlagendesign, hausinterne Fertigung von Kernkomponenten, Softwareentwicklung, Prozessentwicklung, weltweite Inbetriebnahme sowie Service und Support mit 24/7-Hotline. Kunden sind Unternehmen und Forschungseinrichtungen aus Mikroelektronik, MEMS, Präzisionsoptik, Photonik, Astronomie und biomedizinischer Technik, darunter AMTC, die Universität Kiel und das kanadische INO. Das Unternehmen arbeitet in Partnerschaft mit der VON ARDENNE GmbH (Dresden) und bedient über ein weltweites Vertriebs- und Servicenetzwerk Märkte in Europa, Nordamerika und Asien.

## Verfahren & technische Grenzen

- Ionenstrahlätzen (IBE / Ion Beam Milling), Losgröße Kleinserien/F&E–Massenproduktion
- Reaktives Ionenstrahlätzen (RIBE)
- Chemisch-unterstütztes Ionenstrahlätzen (CAIBE)
- Ionenstrahltrimmen (Ion Beam Trimming), Toleranz Schichtdickenkorrektur bis in den Sub-Nanometerbereich
- Ionenstrahl-Polierfehlerkorrektur
- Ionenstrahlsputtern (IBS/IBD)
- Duales Ionenstrahlsputtern (DIBS/DIBD)
- Magnetronsputtern (PVD, statisch/konfokal/dynamisch)
- Elektronenstrahlverdampfen (EBPVD, optional mit Ionenstrahlunterstützung)
- Glancing Angle Deposition (Nanostrukturen)
- Plasma-gestütztes CVD (PECVD), Losgröße Chargen (3D-Beschichtung)–?
- Reaktives Ionenätzen (RIE)
- Atomlagenabscheidung (ALD)
- Trockenreinigung (Plasma-/Ionenstrahlreinigung)
- Substratvorreinigung / Oberflächenaktivierung vor Beschichtung
- Formung von Rasierklingenschneiden
- Anlagendesign / kundenspezifische Systementwicklung
- Softwareentwicklung / Anlagensteuerung
- Prozessentwicklung (F&E)
- Installation, Inbetriebnahme & Training
- Service & Support (Wartung, Ersatzteile, Retrofits)
- Fertigung von Kernkomponenten im Haus

## Maschinenpark

- Ionenstrahlätzsystem (IBE/RIBE/CAIBE) scia Systems scia Mill 150
- Ionenstrahlätzsystem (IBE/RIBE/CAIBE) scia Systems scia Mill 200
- Ionenstrahlätzsystem (IBE/RIBE/CAIBE) scia Systems scia Mill 300
- Ionenstrahl-TrimmSystem scia Systems scia Trim 200
- Ionenstrahl-TrimmSystem scia Systems scia Trim 300
- Ionenstrahl-Polierfehlerkorrektur scia Systems scia Finish 1500
- Ionenstrahlsputteranlage (IBS/DIBS/IBE) scia Systems scia Coat 200
- Ionenstrahlsputteranlage (IBS/DIBS/IBE) scia Systems scia Coat 500
- Ionenstrahlsputteranlage (IBS/DIBS) scia Systems scia Opto 300
- Magnetron-Sputtersystem scia Systems scia Multi 300
- Magnetron-Sputtersystem scia Systems scia Multi 680
- Magnetron-Sputtersystem scia Systems scia Multi 1500
- Magnetron-Sputter-Clusteranlage scia Systems scia Magna 200
- Magnetron-Sputter-Inline-Anlage scia Systems scia Magna 400/500/700/1200 Inline
- Elektronenstrahlverdampfer scia Systems scia Eva 200
- Trockenreinigungssystem scia Systems scia Clean 800
- Trockenreinigungssystem scia Systems scia Clean 1000/1500/3000
- PECVD/RIE-Chargensystem (3D-Beschichtung) scia Systems scia Batch 350
- PECVD/RIE-Großflächensystem scia Systems scia Cube 300
- PECVD/RIE-Großflächensystem scia Systems scia Cube 750
- Modulares Multi-Prozess-Clustersystem scia Systems scia Cluster 200
- Clustersystem (2 Prozesskammern, Handling-Roboter) für Ionenstrahlätzen optischer Materialien scia Systems scia Cluster 215
- Kundenspezifisches Inline-System scia Systems scia Inline 400

## Standorte

- Chemnitz – Hauptsitz mit Bürogebäude und Produktionshalle

## Historie

- 2013: Gründung in Chemnitz in Partnerschaft mit der VON ARDENNE GmbH (Dresden)
- 2026: Robert Rückriem vervollständigte mit Wirkung zum 1. Januar 2026 die Geschäftsführung gemeinsam mit Dr. Michael Zeuner und Dr. Michael Gempe

## Kontakt

- Clemens-Winkler-Str. 6c
- 09116 Chemnitz
- +49 371 33561-0
- info@scia-systems.com