# Scienta Omicron GmbH

> Entwickelt und fertigt UHV-Instrumente für Elektronenspektroskopie, Rastersondenmikroskopie und Dünnschichtabscheidung

## Auf einen Blick

- **Ort:** Taunusstein
- **Website:** https://www.scientaomicron.com
- **Verfahren:** Elektronenspektroskopie (XPS, ESCA), Photoelektronenspektroskopie (PES, ARPES), HAXPES (Harte Röntgen-Photoelektronenspektroskopie, als Service: ACCESS-HAXPES), APPES / APXPS (Umgebungsdruck-Photoelektronenspektroskopie), Rastersondenmikroskopie (SPM): STM, AFM, Molekularstrahlepitaxie (MBE) / Dünnschichtabscheidung, Thermisches Verdampfen und Sputtern (Dünnschichtabscheidung), Rasterelektronenmikroskopie (SEM, UHV Gemini), Auger-Elektronenspektroskopie (AES/NanoSAM), LEED (Niedrigenergie-Elektronenbeugung), Sputtern / Ionenätzen zur Probenreinigung und Tiefenprofilierung (FDG15/FDG150 Ion Source), Lithographie im UHV-SPM (large-scale lithography, z. B. Qubit-Strukturen), UHV-Probenmanipulation (Open/Closed Cycle Sample Manipulators, <3.5 K bis RT), Material Innovationsplattformen (MIP) - UHV-Cluster mit Wachstum und In-situ-Charakterisierung, UHV-Systemdesign und kundenspezifische Systemlösungen (CREATE Platform, >85 Oberflächenanalyse- und, Systemservice, Wartung, Upgrades, Schulung, Beratung, Serviceverträge (präventive Wartung, Ersatzteile, Verbrauchsmaterial), System Health Check-Up, Wartungs- und Reparaturbesuche vor Ort, Remote Support Sessions
- **Werkstoffe:** Tantalnitrid (Ta₃N₅), NiOx (Nickeloxid), Silizium (Si(111) 7x7, silicon surface), Gold (Au(111) surface), Niobdiselenid (NbSe2), Natriumchlorid (NaCl(100)), Tantal (Ta-Pins, Ta-Folie in VUV5k Source), Photoelektronenspektroskopie (XPS, ARPES, HAXPES, APPES), Rastersondenmikroskopie (STM, AFM), Molekularstrahlepitaxie / Dünnschichtabscheidung, Ultrahochvakuum-Systemtechnik
- **Branchen:** Oberflächenphysik und Nanotechnologie, Materialforschung (Batterien, Quantentechnologien, Elektronik, Solarindustrie,, Forschungseinrichtungen und Universitäten, Oberflächenphysik- und Nanotechnologieforschung, Wissenschaft/Forschungseinrichtungen
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/scienta-omicron

## Über uns

Scienta Omicron ist ein Hersteller von Hochtechnologie-Instrumenten für Oberflächenphysik und Nanotechnologie. Das Unternehmen entwickelt und produziert an seinen Technologiezentren in Uppsala (Schweden) und Taunusstein (Deutschland) Systeme für Elektronenspektroskopie (XPS/ESCA, ARPES, HAXPES, APXPS), Rastersondenmikroskopie (STM, AFM) und Dünnschichtabscheidung (Molekularstrahlepitaxie, thermisches Verdampfen, Sputtern), sämtlich für den Einsatz unter Ultrahochvakuum (UHV). Neben Einzelkomponenten werden kundenspezifische UHV-Cluster als Materials Innovation Platforms (MIP) angeboten, basierend auf einer Plattformstrategie mit mehr als 85 Oberflächenanalyse- und Abscheidetechniken und über 1000 ausgelieferten UHV-Systemen. Abnehmer sind Forschungseinrichtungen und Industrie, insbesondere in den Bereichen Batterie- und Materialforschung, Quantentechnologien, Elektronik, Solarindustrie und Sensorik. Vertrieb und Service erfolgen weltweit über vier regionale Hubs in den USA, China, Japan und Deutschland sowie Partner in Südkorea, Singapur, Taiwan, Australien und Indien.

## Verfahren & technische Grenzen

- Elektronenspektroskopie (XPS, ESCA)
- Photoelektronenspektroskopie (PES, ARPES)
- HAXPES (Harte Röntgen-Photoelektronenspektroskopie, als Service: ACCESS-HAXPES)
- APPES / APXPS (Umgebungsdruck-Photoelektronenspektroskopie)
- Rastersondenmikroskopie (SPM): STM, AFM
- Molekularstrahlepitaxie (MBE) / Dünnschichtabscheidung
- Thermisches Verdampfen und Sputtern (Dünnschichtabscheidung)
- Rasterelektronenmikroskopie (SEM, UHV Gemini)
- Auger-Elektronenspektroskopie (AES/NanoSAM)
- LEED (Niedrigenergie-Elektronenbeugung)
- Sputtern / Ionenätzen zur Probenreinigung und Tiefenprofilierung (FDG15/FDG150 Ion Source)
- Lithographie im UHV-SPM (large-scale lithography, z. B. Qubit-Strukturen)
- UHV-Probenmanipulation (Open/Closed Cycle Sample Manipulators, <3.5 K bis RT)
- Material Innovationsplattformen (MIP) - UHV-Cluster mit Wachstum und In-situ-Charakterisierung
- UHV-Systemdesign und kundenspezifische Systemlösungen (CREATE Platform, >85 Oberflächenanalyse- und
- Systemservice, Wartung, Upgrades, Schulung, Beratung

## Maschinenpark

- LT STM (Tieftemperatur-Rastertunnelmikroskop) Scienta Omicron LT STM
- SPM (Scanning Probe Microscope) Scienta Omicron POLAR
- SPM (Scanning Probe Microscope, Closed Cycle, 9 K) Scienta Omicron INFINITY
- SPM (Scanning Probe Microscope) Scienta Omicron STREAM
- UHV-SEM (Rasterelektronenmikroskop) Scienta Omicron UHV Gemini
- Halbkugel-Analysator (Photoelektronenspektroskopie) Scienta Omicron DA30-L
- Halbkugel-Analysator / ARPES-Lab Scienta Omicron DA20
- ARPES-Analysesystem Scienta Omicron R4000
- Analysator-Systeme Scienta Omicron EW4000, HiPP-3, DFS30
- Ionensputterquelle Scienta Omicron FDG15
- Feinfokus-Ionenquelle Scienta Omicron FDG 150
- Material Innovation Platform (UHV-Cluster) Scienta Omicron MIP
- UHV-Plattform / Modulsystem Scienta Omicron CREATE Platform
- Linear Transfer Line (UHV-Probenhandling) Scienta Omicron LTL
- Radial Distribution Chamber (rotierbarer Transferarm, bis 4" Wafer) Scienta Omicron RDC
- UHV-Vakuumsteuerung Scienta Omicron MISTRAL
- UHV-Transportkoffer (bis 6 Probenhalter) Scienta Omicron UHV Suitcase
- Vakuum-UV-Quelle Scienta Omicron VUV5k
- MBE-Anlage mit integrierter Analyse Omicron
- Photoelektronenmikroskop-System Scienta Omicron NanoESCA
- Tieftemperatur-Nanoprobe Scienta Omicron LT Nanoprobe
- STM mit variabler Temperatur (4 bis über 1000 K) Omicron VT STM

## Standorte

- Uppsala – Hauptsitz und Technologiezentrum (Entwicklung und Produktion)
- Taunusstein – Technologiezentrum (Entwicklung und Produktion); Vertrieb und Service Europa/Rest der Welt
- Denver, CO – Regional Hub Vertrieb und Service Amerika
- Peking – Regional Hub Vertrieb und Service China
- Seoul – Vertrieb und Service Südkorea

## Historie

- 1983: Gründung von Scienta, ausgehend vom Nobelpreis 1981 für Kai Siegbahn (ESCA/XPS)
- 1984: Gründung von Omicron (Omicron Vakuumphysik GmbH) durch Norbert Nold und Ernst Lang
- 1987: Erstes kommerzielles UHV-STM (STM 1)
- 1996: VT STM erhält den R&D 100 Award
- 1999: Omicron als „Hidden Champion“ ausgezeichnet
- 2000: Erste MBE-Anlage mit integrierter Analysemöglichkeit
- 2007: NanoESCA-System erhält den R&D 100 Award
- 2011: Omicron gehört zu Oxford Instruments plc
- 2013: LT Nanoprobe-System erhält den R&D 100 Award
- 2015: Zusammenschluss von VG Scienta und Omicron NanoTechnology zu Scienta Omicron

## Kontakt

- Limburger Strasse 75
- 65232 Taunusstein
- +49 6128 987-0
- info@scientaomicron.com