# SEMPA SYSTEMS GmbH

> Reinstmedienversorgungssysteme für hochreine Gase und Precursor-Chemikalien – Konstruktion, Fertigung, Installation und Service aus Dresden

## Auf einen Blick

- **Ort:** Dresden
- **Website:** https://sempa.de
- **Gegründet:** 2001
- **Mitarbeiter:** >200
- **Verfahren:** Design und Fertigung von Gasversorgungssystemen (GAS'BOT) für Bulk- und Spezialgase, Flüssigversorgungssysteme für Precursor-Chemikalien (CHEM'BOT, inkl. BULK- und EnMAT-Varianten), Verdampfungssysteme für Precursor (VAPOR'BOT: Verdampfer, Bubbler-Systeme, DLI-Einheiten,, Fertigung von Bubblern (Prozessbehälter zur Precursor-Verdampfung) mit elektropolierten Innenflächen, Orbitalschweißen von 1/8'' bis 8'' für Edelstahl und Anlagen in Hastelloy, Kupfer, Messing und Monel, Installation von Reinstmedienversorgungsleitungen in Edelstahl von 1/8'' bis 8'' sowie, Hook-up Installation von Prozessanlagen, Filterstationen, Rohrleitungsinstallationen,, Prüfungen: Dichtheitsprüfungen, Druck- und Vakuumtests, Feuchtigkeits- und Partikelmessungen,, Anlageninstallation und Inbetriebnahme von Reinstmedienversorgungssystemen inkl. Schulung, Permeationsmessung an Ultrabarrierematerialien (HiBarSens, WVTR/OTR, TDLAS), Sicherheitstechnologie: Emergency Cylinder Shutter ECS1 (automatisches mechanisches Absperrsystem), CNC-Lohnarbeiten (Niederlassung Marktl, ehem. Stefan Zettl GmbH), Wasserstrahlschneiden (Niederlassung Marktl, ehem. Stefan Zettl GmbH), Mechanische und elektrische Konstruktion/Software-Programmierung, Fertigung nach Plänen,, Sondermaschinenbau (Niederlassung Marktl, ehem. Stefan Zettl GmbH), Rohrleitungsmontagen aus Edelstahl für Bulk- und Sondergase, Gebindewechsel für gefährliche Materialien, Prüftests (Niederlassung Hermsdorf), Reinraum-Montage und Qualifikation von Versorgungssystemen (Reinraum 120 qm, Produktionsfläche, Konstruktion und Fertigung von Reinstmedienversorgungssystemen, Anlageninstallation vor Ort (Orbitalschweißen 1/8''–8'')
- **Werkstoffe:** Edelstahl, Edelstahl 316L, Hastelloy, Monel, Kupfer, Messing, Hochlegierter Stahl, TCC-Rohr, Ultrabarrierematerial
- **Zertifikate:** DIN EN ISO 9001:2015, DIN EN ISO 14001:2015, DIN EN ISO 3834-3 (Schweißqualität), SEMI S2, EcoVadis "Committed", CE (ECS1), ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, DIN EN ISO 3834-3, EcoVadis Committed
- **Branchen:** Halbleiter, LED/Photonik, Photovoltaik, Pharma, Lebensmittelverpackung, Flexible Elektronik (OLED/Organik), Wasserstoff-/Energieforschung
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/sempa-systems

## Über uns

Die SEMPA SYSTEMS GmbH entwickelt und fertigt seit 2001 am Hauptsitz in Dresden Reinstmedienversorgungssysteme aus Edelstahl für hochreine Gase und Vorläuferchemikalien (Präkursoren). Die Produktfamilien GAS'BOT (Gasversorgungssysteme), CHEM'BOT (Flüssigversorgungssysteme) und VAPOR'BOT (Verdampfungssysteme für CVD-, ALD- und EPI-Prozesse) sichern die kontaminationsfreie Versorgung vom Vorratsbehälter bis in die Prozesskammer. Die vertikal integrierte Fertigung umfasst mehr als 2.000 m² Produktionsfläche mit mehreren Produktionslinien, einem 120 m² Reinraum, Werkstätten für Metallbearbeitung und Elektrotechnik, einer Teststation und einem Innovationslabor (SEMPA LAB). Das Portfolio wird durch Bubbler-Fertigung (150 ml bis 3.950 ml), Sicherheitstechnologie (ECS1, CHEM'BOT EnMAT), Messtechnik (HiBarSens® Permeationsmessung), Anlageninstallation inklusive Orbitalschweißen sowie Wartung und 24/7-Service ergänzt. Kunden sind Unternehmen der Halbleiter-, LED-, Photovoltaik- und Pharma-Branche. Seit 2021 gehört SEMPA zur weltweit tätigen Meptagon Group.

## Verfahren & technische Grenzen

- Design und Fertigung von Gasversorgungssystemen (GAS'BOT) für Bulk- und Spezialgase
- Flüssigversorgungssysteme für Precursor-Chemikalien (CHEM'BOT, inkl. BULK- und EnMAT-Varianten)
- Verdampfungssysteme für Precursor (VAPOR'BOT: Verdampfer, Bubbler-Systeme, DLI-Einheiten,, Toleranz Lieferdruckregelung +/- 50 torr
- Fertigung von Bubblern (Prozessbehälter zur Precursor-Verdampfung) mit elektropolierten Innenflächen
- Orbitalschweißen von 1/8'' bis 8'' für Edelstahl und Anlagen in Hastelloy, Kupfer, Messing und Monel
- Installation von Reinstmedienversorgungsleitungen in Edelstahl von 1/8'' bis 8'' sowie
- Hook-up Installation von Prozessanlagen, Filterstationen, Rohrleitungsinstallationen,
- Prüfungen: Dichtheitsprüfungen, Druck- und Vakuumtests, Feuchtigkeits- und Partikelmessungen,
- Anlageninstallation und Inbetriebnahme von Reinstmedienversorgungssystemen inkl. Schulung
- Permeationsmessung an Ultrabarrierematerialien (HiBarSens, WVTR/OTR, TDLAS)
- Sicherheitstechnologie: Emergency Cylinder Shutter ECS1 (automatisches mechanisches Absperrsystem), max. Länge 254 mm
- CNC-Lohnarbeiten (Niederlassung Marktl, ehem. Stefan Zettl GmbH)
- Wasserstrahlschneiden (Niederlassung Marktl, ehem. Stefan Zettl GmbH)
- Mechanische und elektrische Konstruktion/Software-Programmierung, Fertigung nach Plänen,
- Sondermaschinenbau (Niederlassung Marktl, ehem. Stefan Zettl GmbH)
- Rohrleitungsmontagen aus Edelstahl für Bulk- und Sondergase
- Gebindewechsel für gefährliche Materialien, Prüftests (Niederlassung Hermsdorf)
- Reinraum-Montage und Qualifikation von Versorgungssystemen (Reinraum 120 qm, Produktionsfläche

## Standorte

- Dresden – Hauptsitz, Fertigung (2.000 m² Produktion, 120 m² Reinraum)
- Hermsdorf – Niederlassung, Installation und Prüftests
- Marktl/Inn – Niederlassung, Sondermaschinenbau und Zerspanung
- Reutlingen – Niederlassung (in Eröffnung)

## Historie

- 2001: Gründung durch Kurt Pietsch, Hauptsitz Dresden und Niederlassung Thüringen
- 2005: Gründung der ersten Niederlassung, heute Hermsdorf/Thüringen
- 2006: Erste flüssige MO-Versorgungssysteme
- 2007: Markteintritt Asien
- 2009: Markteintritt USA
- 2011: Dr. Jörg Koch wird Geschäftsführer für Business Development
- 2013: Neue Produktionsstätte: 2.000 m² Fertigung, 120 m² Reinraum, 1.000 m² Büro
- 2018: Einführung einer neuen Produktfamilie
- 2021: Übernahme durch die Meptagon Group zum 1. November
- 2023: Neues Führungsteam (Koch, Schlamm, Kretzschmar, Scheumann)
- 2024: Spatenstich neue Produktionshalle; Niederlassungen Marktl/Inn und Reutlingen
- 2025: Einweihung der neuen Firmengebäude, Verdoppelung der Produktionskapazität

## Kontakt

- Grenzstraße 13
- 01109 Dresden
- +49 (0)351-888 10 0
- info@sempa.de