# Sensalight Technologies GmbH

> Entwicklung und Fertigung von Halbleiterlasern und LEDs für die Gas-, Flüssigkeits- und Feststoff-Analyse in Sensing-Anwendungen

## Auf einen Blick

- **Ort:** Würzburg
- **Website:** https://sensalight-technologies.com
- **Gegründet:** 2019
- **Mitarbeiter:** 45
- **Verfahren:** Halbleiterlaser-Herstellung (Design bis Assembly, vertikal integriert), Nanofabrikation per Elektronenstrahllithographie, Optische Lithographie, Trockenätzen, Nassätzen, Dielektrische und metallische Beschichtung durch Evaporation, Beschichtung durch Sputtern, Lasercharakterisierung und Test, Herstellung von Distributed-Feedback-Lasern (DFB), Herstellung weit abstimmbarer Monolithik-Laser (coupled cavity), Herstellung von Mid-IR-LEDs (Interband-Kaskaden-Heterostrukturen), Molekularstrahlepitaxie (MBE), Nanofabrikation (Elektronenstrahllithographie, bis ca. 10 nm Featuregröße), Trocken- und Nassätzen, Dielektrische und metallische Beschichtung (Evaporation, Sputtern), Design und Entwicklung kundenspezifischer Sensorik und Systemkomponenten, Laser-Charakterisierung und Tests, RMA-Service
- **Werkstoffe:** GaAs, InP, GaSb, Galliumarsenid (GaAs), Indiumphosphid (InP), Galliumantimonid (GaSb), Elektronenstrahllithographie, Nass- und Trockenätzen, Evaporation und Sputtern
- **Zertifikate:** DIN EN ISO 9001:2015, ISO 9001
- **Branchen:** Umwelt- und Klimamonitoring, Medizintechnik, Sicherheitstechnik, Automotive, Industrielle Prozesskontrolle, Umwelt-/Klimamonitoring, Gesundheitswesen/Medizintechnik, Prozesskontrolle/Industrie
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/sensalight-technologies

## Über uns

Sensalight Technologies GmbH entwickelt und fertigt in Würzburg Halbleiterlaser und Lasersysteme für die Echtzeitanalyse von Gasen, Flüssigkeiten und festen Stoffen. Das Produktportfolio umfasst Distributed-Feedback-Laser (DFB) für die Gasensorik, weit abstimbare monolithische coupled-cavity-Laser für Flüssigkeits- und Feststoffmessungen sowie Mid-Infrarot-LEDs mit Wellenlängen zwischen 2.800 und 6.500 nm auf Basis von Interband-Kaskaden-Heterostrukturen. Die Laserspecifikationen sind kundenspezifisch zwischen unter 1 µm und über 10 µm einstellbar. Als vertikal integriertes Unternehmen deckt Sensalight die gesamte Technologiekette vom Laserdesign über Epitaxie und Nanofabrikation bis zu Charakterisierung und Assembly ab. Ergänzend bietet das Unternehmen Technologiedienstleistungen an, darunter Elektronenstrahllithographie mit Strukturgrößen von rund 10 nm, optische Lithographie, Nass- und Trockenätzen sowie dielektrische und metallische Beschichtung durch Evaporation und Sputtern auf Wafern bis 8 Zoll. Anwendungen finden sich in Umwelt- und Klimamonitoring, medizinischer Diagnostik, Sicherheitstechnik, Automotive und industrieller Prozesskontrolle.

## Verfahren & technische Grenzen

- Halbleiterlaser-Herstellung (Design bis Assembly, vertikal integriert)
- Nanofabrikation per Elektronenstrahllithographie, Toleranz ca. 10 nm Strukturgröße, max. Länge Wafer bis 6"
- Optische Lithographie, max. Länge Wafer bis 8"
- Trockenätzen, max. Länge Wafer bis 8"
- Nassätzen, max. Länge Wafer bis 8"
- Dielektrische und metallische Beschichtung durch Evaporation, max. Länge Wafer bis 8"
- Beschichtung durch Sputtern, max. Länge Wafer bis 8"
- Lasercharakterisierung und Test
- Herstellung von Distributed-Feedback-Lasern (DFB)
- Herstellung weit abstimmbarer Monolithik-Laser (coupled cavity)
- Herstellung von Mid-IR-LEDs (Interband-Kaskaden-Heterostrukturen)
- Molekularstrahlepitaxie (MBE)

## Maschinenpark

- Elektronenstrahllithographie-System
- Evaporationsbeschichtungssystem
- Sputtersystem
- Ätzsysteme (nass und trocken)
- Optisches und Elektronenmikroskop (Inspektion)
- 1× Reinraum (700 m²) mit kompletter Laser-Fertigungslinie

## Standorte

- Würzburg – Hauptsitz: Entwicklung, Fertigung, Charakterisierung, Vertrieb

## Historie

- 2019: Gründung von Sensalight Technologies durch Alfred Forchel und Johannes Koeth als Spin-off aus der Halbleiterlaser-Forschung in Würzburg; beide gründeten bereits 1998 nanoplus Nanosystems and Technologies.
- 2022: Umzug in neue Räumlichkeiten mit 700 m² Cleanroom und kompletter Laser-Fertigungslinie.

## Kontakt

- John-Skilton-Straße 8a
- 97074 Würzburg
- +49-931-660966-0
- info@sensalight-technologies.com