# SENTECH Instruments GmbH

> Entwicklung und Fertigung von Plasmaprozessanlagen und Dünnschicht-Messtechnik für die Halbleiterindustrie und -forschung.

## Auf einen Blick

- **Ort:** Berlin-Adlershof
- **Website:** https://sentech.com/
- **Verfahren:** Plasma Etching, ICPECVD Systems (Deposition), Atomic Layer Deposition, Cluster Configuration for Plasma Etching and Deposition, Spectroscopic Ellipsometry, Spectroscopic Reflectometry, Laser Ellipsometry, In-situ Metrology / Endpoint Detection, Metrology for Quality Control, Application Support über die Systemlebensdauer, Technical Service Support, Weltweites Vertriebsnetz / Vertrieb
- **Werkstoffe:** GaN, SiC, Galliumnitrid (GaN), Siliziumkarbid (SiC), Plasma-Ätzen (Plasma Etching), ICPECVD-Deposition, Atomlagenabscheidung (ALD), Spektroskopische Ellipsometrie, Spektroskopische Reflektometrie, Laser-Ellipsometrie, In-situ-Messtechnik / Endpoint-Detection
- **Zertifikate:** Application Support über die Systemlebensdauer, Technischer Service Support, Weltweites Vertriebsnetz
- **Branchen:** Halbleiterindustrie und Halbleiterforschung, Optoelektronik, MEMS, Sensorik, Leistungshalbleiter (GaN/SiC), Qualitätskontrolle, Quantentechnologien, MEMS (Mikroelektromechanische Systeme), Leistungshalbleiter (Power Devices, GaN/SiC), Quantentechnologien (supraleitende Schaltkreise, Quantensensoren)
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/sentech-instruments

## Über uns

SENTECH Instruments GmbH entwickelt und fertigt Anlagen für die Plasma-Prozesstechnik sowie Werkzeuge für die Dünnschicht-Messtechnik. Das Produktportfolio umfasst Systeme für Low-Damage-Plasmaätzprozesse, ICPECVD-Deposition (Plasma-unterstützte chemische Gasphasenabscheidung), Atomlagenabscheidung (ALD) sowie Cluster-Konfigurationen für kombinierte Ätz- und Abscheidelösungen. Im Bereich Messtechnik bietet das Unternehmen spektroskopische Ellipsometrie, spektroskopische Reflektometrie, Laser-Ellipsometrie, In-situ-Messtechnik und Endpoint-Detection für die Qualitätskontrolle von Dünnschichten. Einsatzfelder liegen in der Halbleiterforschung und -industrie, darunter Optoelektronik, MEMS, Sensorik, Leistungshalbleiter auf Basis von GaN und SiC, Quantentechnologien und Qualitätskontrolle. Das Unternehmen unterstützt seine Kunden mit weltweitem Vertrieb, Anwendungsbetreuung über die Systemlebensdauer sowie technischem Service. SENTECH ist in Berlin-Adlershof angesiedelt, einem der führenden Wissenschafts- und Technologieparks Deutschlands.

## Verfahren & technische Grenzen

- Plasma Etching
- ICPECVD Systems (Deposition)
- Atomic Layer Deposition
- Cluster Configuration for Plasma Etching and Deposition
- Spectroscopic Ellipsometry
- Spectroscopic Reflectometry
- Laser Ellipsometry
- In-situ Metrology / Endpoint Detection
- Metrology for Quality Control

## Standorte

- Berlin-Adlershof – Hauptsitz mit Entwicklung und Fertigung