# SOLAYER GmbH

> Entwicklung und Fertigung von Vakuum-Beschichtungsanlagen und Prozessen für hochpräzise Dünnschichten und optische Beschichtungen.

## Auf einen Blick

- **Ort:** Karlstein
- **Website:** https://www.solayer.com
- **Gegründet:** 2007
- **Verfahren:** Hochpräzise Dünnschichtbeschichtung / Vakuum Beschichtung (Dünnschichtabscheidung), MF-, DC-, DC-Puls- und RF-Magnetronsputtern, PECVD (Plasma-unterstützte chemische Gasphasenabscheidung), Aufdampfen (Evaporation), ALD (Atomlagenabscheidung), IBAD (Ion Beam Assisted Deposition), IBE (Ion Beam Etching) / Ion Milling, RIE (Reactive Ion Etching), PIII (Plasma-Immersions-Ionen-Implantation), Flash Lamp Annealing (FLA) – schnelle Wärmebehandlung (RTP) von Proben, Oberflächenbehandlung – Reinigung, Ätzen, Ionenimplantation, Optische Beschichtung (Antireflex-, Filter-, Spiegel-, TCO-, Metallschichten mittels Sputtern), Dünnschichtmess- und Charakterisierungsdienste im Analytiklabor, Schichtstapel-Simulation und -Modellierung (optische Schichteigenschaften), Design maßgeschneiderter ALD-Reaktorwerkzeuge; mechanischer & elektrischer Anlagendesign, Herstellung von NIR-Bandpassfiltern (X41) auf Dünnglas mit 'Zero Bow'-Technologie,, Kundenspezifische Vakuumautomatisierung (Substrattransport, Kassettenbetrieb, Cluster-Anlagen 2–8, Kundenspezifische Anlagenkonstruktion & -entwicklung, Vakuumautomatisierung, Retrofits/Upgrades bestehender Anlagen
- **Werkstoffe:** ITO, AZO, IGZO, ZnO:X / iZnO, ZinxSnyOz, Siliziumdioxid, Aluminiumoxid, Tantalpentoxid, Niobpentoxid, Titandioxid, Zirkoniumdioxid, Hafniumdioxid, Wolframtrioxid, Siliziumnitrid, Titannitrid, Aluminiumnitrid, Siliziumoxynitrid, Molybdän, Chrom, Aluminium
- **Branchen:** Photonik, Präzisionsoptik, Optische Filter, Halbleiter/organische Halbleiter, Display, Photovoltaik, Sensorik/3D-Sensing/LiDAR/TOF, Automotive, Consumer Electronics, Security & Defense, Life Sciences/Biotech, Laseroptik, Halbleiter/Organische Halbleiter, Photovoltaik (PV), Sensorik / 3D-Sensing / LiDAR / TOF, Life Sciences / Biotech
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/solayer

## Über uns

Die SOLAYER GmbH ist ein 2007 in Dresden gegründetes, international tätiges Hightech-Unternehmen der Oberflächentechnik mit Sitz in Karlstein am Main. Das Unternehmen entwickelt und fertigt kundenspezifische Vakuum-Beschichtungsanlagen, darunter die Ultra-Hochpräzisions-Sputteranlage AVIOR M-300, die AVIOR S-100, die modulare ALASCO O-200 sowie die Inline-Plattform ALIOTH für die Serienproduktion. Die Verfahrenspalette umfasst MF-, DC-, DC-Puls- und RF-Magnetronsputtern, PECVD, Aufdampfen, ALD, IBAD, Ionenstrahlätzen, RIE, PIII und Flash Lamp Annealing. Abgeschieden werden Funktions- und optische Schichten wie ITO, AZO, IGZO, SiO2, Ta2O5, TiO2, SiNx, TiN sowie Metalle auf Substraten aus Silizium, Glas (inklusive Dünnglas ab 0,2 mm), Polymer und Metallfolie. Zu den Zielbranchen zählen Photonik, Präzisionsoptik, Halbleiter, Display, Photovoltaik, Sensorik/3D-Sensing/LiDAR, Automotive und Life Sciences. Neben Anlagen bietet SOLAYER Schichtstapel-Simulation, Materialqualifizierung, Lohnbeschichtung, Dünnschichtmessdienste, Retrofits und Ersatzteilversorgung. Standorte sind zwei Technology Center in Karlstein und Kesselsdorf bei Dresden sowie Vertriebsbüros in Shanghai, Singapur und Taiwan; seit 2020 ist die AMEC (Shanghai) strategischer Investor.

## Verfahren & technische Grenzen

- Hochpräzise Dünnschichtbeschichtung / Vakuum Beschichtung (Dünnschichtabscheidung)
- MF-, DC-, DC-Puls- und RF-Magnetronsputtern
- PECVD (Plasma-unterstützte chemische Gasphasenabscheidung)
- Aufdampfen (Evaporation)
- ALD (Atomlagenabscheidung)
- IBAD (Ion Beam Assisted Deposition)
- IBE (Ion Beam Etching) / Ion Milling
- RIE (Reactive Ion Etching)
- PIII (Plasma-Immersions-Ionen-Implantation)
- Flash Lamp Annealing (FLA) – schnelle Wärmebehandlung (RTP) von Proben
- Oberflächenbehandlung – Reinigung, Ätzen, Ionenimplantation
- Optische Beschichtung (Antireflex-, Filter-, Spiegel-, TCO-, Metallschichten mittels Sputtern)
- Dünnschichtmess- und Charakterisierungsdienste im Analytiklabor
- Schichtstapel-Simulation und -Modellierung (optische Schichteigenschaften)
- Design maßgeschneiderter ALD-Reaktorwerkzeuge; mechanischer & elektrischer Anlagendesign
- Herstellung von NIR-Bandpassfiltern (X41) auf Dünnglas mit 'Zero Bow'-Technologie,, max. Länge 200 mm Substratdurchmesser
- Kundenspezifische Vakuumautomatisierung (Substrattransport, Kassettenbetrieb, Cluster-Anlagen 2–8

## Maschinenpark

- Ultra-Hochpräzisions-Sputteranlage (High-End-Produktionsanlage, optische Beschichtung) SOLAYER AVIOR M-300
- Optische Sputteranlage (plug & coat, kleine Chargen / Markteintritt) SOLAYER AVIOR S-100
- Modulare optische Beschichtungsanlage (R&D und Produktion, mit PIII-, FLA-Modulen und SOLAYER ALASCO O-200
- Vielseitige Inline-Beschichtungsanlage (dielektrische, metallisch-dielektrische und SOLAYER ALIOTH
- Vertikale Inline-Beschichtungsanlage (PVD- und PECVD-Modulplattform, kontinuierlicher SOLAYER
- Horizontale Inline-Beschichtungsanlage (Sputtern, PECVD, ALD, FLA; Reinigung, Ätzen, Abscheidung, SOLAYER

## Standorte

- Karlstein – Headquarters & Technology Center 2 – Entwicklung und Engineering von Vakuumbeschichtungsanlagen
- Kesselsdorf bei Dresden – Technology Center 1 – Forschung und Entwicklung Filtertechnologien
- Shanghai – Vertriebsbüro (AMEC China)
- Singapore – Vertriebsbüro (AMEC Singapore)
- Zhunan – Vertriebsbüro (AMEC Taiwan)
- Taichung – Vertriebsbüro
- Hsinchu – Vertriebsbüro
- Tainan – Vertriebsbüro

## Historie

- 2007: Gründung in Dresden – Silicon Saxony
- 2013–2015: Aufbau von Vertretungen in den USA, China, Taiwan, Japan, Korea und Indien
- 2016: Übernahme der DTF – Dresden Thin Film Technology GmbH; Eröffnung des neuen Technology Centers in Karlstein
- 2020: AMEC (Shanghai) wird strategischer Investor; Mitgliedschaft in EPIC; Vorstellung der Zero-Bow-Wafer-Technologie für NIR-Bandpassfilter (X41)
- 2021: Präsenz auf der virtuellen Messe Photonics+

## Kontakt

- Seligenstädter Straße 100
- 63791 Karlstein
- +49 6188 9547100