# Sonosys GmbH

> Entwicklung und Fertigung von Ultraschall- und Megasonic-Reinigungssystemen im Frequenzbereich 400 kHz bis 9 MHz

## Auf einen Blick

- **Ort:** Neuenbürg
- **Website:** https://sonosys.de
- **Gegründet:** 1995
- **Verfahren:** Megasonic cleaning (Reinigung von Mikro- und Nanostrukturen), Ultrasonic cleaning, Demo-Systeme zur Vermietung für Tests beim Kunden, Entwicklung kundenspezifischer Lösungen (Frequenz, Modulation, Abmessungen, Leistung), Anbindung/Integration in Wet-Cleaning-Anlagen
- **Werkstoffe:** Megasonic-Reinigung, Ultraschall-Reinigung, Megasonic-Düsen (Single/Dual/Triple)
- **Branchen:** Halbleiter (Wafer-/Photomaskenreinigung), Mikrosystemtechnik/MEMS, Optik, Solar/PV, Ligationstechnik, Lebensmittelindustrie
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/sonosys

## Über uns

Die Sonosys GmbH mit Sitz in Neuenbürg (Baden-Württemberg) entwickelt, produziert und vertreibt Ultraschall- und Megasonic-Reinigungssysteme für die Reinigung von Mikro- und Nanostrukturen. Das Unternehmen beherrscht die Herstellung von Hochfrequenz-Ultraschallsystemen im Bereich von 400 kHz bis 9 MHz und bietet Megasonic-Generatoren, -Wandler sowie Düsen-Systeme in Single-, Dual- und Triple-Ausführung an. Die Lösungen entfernen kleinste Partikel und Kontaminationen bis in den Nanometerbereich von Wafern, Photomasken und Substraten und werden als Single- und Batch-Anwendungen in Wet-Cleaning-Anlagen integriert. Hauptmärkte sind die Halbleiterindustrie, Mikrosystemtechnik/MEMS, Optik, Solar/PV sowie die Ligationstechnik und Lebensmittelindustrie. Neben Standardprodukten entwickelt SONOSYS kundenspezifische Lösungen hinsichtlich Frequenz, Modulation, Abmessungen und Leistung; Demo-Systeme können für Tests beim Kunden gemietet werden. 2022 wurde das Unternehmen von Semiconductorreview.com als eines der Top-5-Halbleiterunternehmen Deutschlands ausgezeichnet.

## Verfahren & technische Grenzen

- Megasonic cleaning (Reinigung von Mikro- und Nanostrukturen)
- Ultrasonic cleaning

## Maschinenpark

- Megasonic generators and transducers SONOSYS
- Megasonic nozzle systems (single, dual, triple) SONOSYS
- Ultrasonic and megasonic cleaning systems SONOSYS

## Standorte

- Neuenbürg – Hauptsitz, Entwicklung und Produktion

## Historie

- 1995: Gründung der Sonosys GmbH
- 2022: Auszeichnung als eine der 'Top 5 Semiconductor Companies' Deutschlands durch Semiconductorreview.com