# SPECS Surface Nano Analysis GmbH

> Entwickelt und fertigt Instrumente, Komponenten und Systeme für Oberflächenanalyse, Elektronenspektroskopie und Dünnschichtdeposition in UHV.

## Auf einen Blick

- **Ort:** Berlin
- **Website:** https://www.specs-group.com
- **Verfahren:** Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS/ESCA), NAP-XPS (Near Ambient Pressure XPS), HAXPES (µFOCUS 450 mit Titan-X-ray-Linie), ARPES (winkelaufgelöste Photoelektronenspektroskopie, 2D-Momentum Mapping), Elektronenstrahl-Aufdampfen (e-beam evaporation) für Dünnschichtabscheidung, Ion Beam Assisted Deposition (IBAD), Spin-aufgelöste Photoelektronenspektroskopie (3D-Spin Detection), Analytical Services (fallbezogene Analysen aus Produktportfolio), Engineering: Design, Fertigung, Montage und QA von UHV-Systemen und -Komponenten, Reparaturen, Ersatzteile, Schulungen, Systemumzüge und Inbetriebnahme, Service und Support (DE, China, USA), Wartungsverträge, Reparaturen (In-house und On-site), Ersatzteilversorgung (auch für Geräte über 20 Jahre), Schulungen/Trainings, Analytical Services (Fallstudien mit Produktportfolio), Design Engineering / kundenspezifische Systeme, Systemumzüge inkl. Montage und Inbetriebnahme, Remote Support (TeamViewer), Custom Design Solutions inkl. Engineering und Rework
- **Werkstoffe:** Fe, Co, Cr, Mn, Ni, Pt, Ag, Au, Al, Ti, Ta, W, Silicium, organische Moleküle, Graphene auf Ir(111), BSCCO (Bi2Sr2Can-1CunO2n+4+x, Hochtemperatur-Supraleiter), CaF2 auf Si(111), Ultrahochvakuum-Systeme, Elektronenstrahl-Aufdampfen (e-beam evaporation), Ion Beam Assisted Deposition
- **Zertifikate:** ISO 9001
- **Branchen:** Oberflächenanalyse und Spektroskopie, Materialforschung, Nanotechnologie, Universitäten und Synchrotrone, Halbleiter, Photovoltaik, Quantentechnologien, Medizinische Biotechnologie, Wissenschaft/Forschung (Universitäten, Synchrotrone), Medizinische Biotechnologie (EnviroESCA-Anwendungen)
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/specs-surface-nano-analysis

## Über uns

SPECS Surface Nano Analysis GmbH mit Sitz in Berlin entwickelt, konstruiert und produziert Instrumente, Komponenten und komplette Systeme für die Oberflächenwissenschaft, Materialforschung und Nanotechnologie. Zum Portfolio gehören Elektronenanalysatoren (PHOIBOS, ASTRAIOS), XPS-/NAP-XPS-Systeme (EnviroESCA, EnviroMETROS), LEED- und LEEM/PEEM-Systeme, UV-Quellen, Ionenquellen, Elektronenstrahl-Aufdampfquellen der EFM-Serie, Detektoren sowie Mess- und Steuerungssysteme (Nanonis) für SPM und Quantentransport. Die Fertigung umfasst Design, Fertigung von Bauteilen und Komponenten, Montage, Qualitätssicherung und Spezifikationsprüfung von UHV-Systemen; ergänzend werden kundenspezifische Systeme, Analytical Services, Reparaturen, Ersatzteile, Schulungen und Systemumzüge angeboten. Die Business Unit Focus in Hünstetten (ehemals FOCUS GmbH) ist spezialisiert auf Momentum-Mikroskopie (NanoESCA) und Depositionsquellen mit über 2000 installierten EFM-Instrumenten. Kunden stammen aus Forschung, Universitäten, Synchrotronen, Halbleiter-, Photovoltaik- und Quantentechnologie-Branchen. Die SPECSGROUP ist Teil von Lab14 (RSBG SE, RAG-Stiftung) und vertreibt weltweit über eigene Standorte in Deutschland, USA und China sowie ein internationales Vertreternetz. Seit fast 30 Jahren arbeitet das Unternehmen mit Wissenschaftlern weltweit zusammen.

## Verfahren & technische Grenzen

- Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS/ESCA)
- NAP-XPS (Near Ambient Pressure XPS)
- HAXPES (µFOCUS 450 mit Titan-X-ray-Linie)
- ARPES (winkelaufgelöste Photoelektronenspektroskopie, 2D-Momentum Mapping), Toleranz k-resolution < 0.003 Å-1
- Elektronenstrahl-Aufdampfen (e-beam evaporation) für Dünnschichtabscheidung
- Ion Beam Assisted Deposition (IBAD)
- Spin-aufgelöste Photoelektronenspektroskopie (3D-Spin Detection), Toleranz Winkelauflösung ≤ 0.3°
- Analytical Services (fallbezogene Analysen aus Produktportfolio)
- Engineering: Design, Fertigung, Montage und QA von UHV-Systemen und -Komponenten
- Reparaturen, Ersatzteile, Schulungen, Systemumzüge und Inbetriebnahme

## Maschinenpark

- XPS/ESCA Umgebungsdruck-Analysesystem SPECS EnviroESCA
- 2D-Momentum-Mapping-Elektronenanalysator (ARPES) SPECS ASTRAIOS 190
- über 2000× Elektronenstrahl-Aufdampfquelle (E-Beam Evaporator) FOCUS EFM 3 / EFM 3s / EFM 4 / EFM 3Ts / EFM 3i
- Elektronenanalysatoren (Hemispherical Energy Analyzer) SPECS PHOIBOS 100/150/225
- LEED-System (ErLEED) SPECS ErLEED 100 / 150
- LEEM/PEEM System SPECS FE-LEEM/PEEM P90 / P90 NAP
- SPM-System (Rastersondenmikroskopie) mit Mess- und Steuerungssystem Nanonis Nanonis 6. Generation
- Momentum Microscope FOCUS NanoESCA
- UV-Quelle (UPS/ARPES) SPECS UVS 10/35, UVS 300, UVLS
- TOF-Spektrometer (Time-of-Flight) SPECS METIS 1000 / TOF MARIS
- 2D-Detektor mit CMOS-Kamera und GPU-Pulszählung SPECS 2D-CMOS Detector
- Spin-Detektor (VLEED) FOCUS Ferrum VLEED
- 1D-Delay-Line-Detektor SPECS/Surface Concept 1D-DLD

## Standorte

- Berlin – Zentrale und Fertigung: SPECS Surface Nano Analysis GmbH, Voltastrasse 5, Technologiepark Humboldthain
- Hünstetten – Business Unit Focus (ehem. FOCUS GmbH): Momentum-Mikroskopie und Depositionsquellen, Neukirchner Str. 2
- Zürich – SPECS Zurich GmbH: Software- und Elektronikentwicklung Nanonis (Technoparkstrasse 1)
- Mansfield, MA – SPECS-TII Inc.: Vertrieb und Service USA
- Peking – SPECS-TII Technology Beijing Co., Ltd.: Vertrieb und Service China

## Historie

- 1991: Beginn des Baus der EFM-Evaporatoren durch FOCUS; Service, Ersatzteile und Support für alle seitdem gebauten EFM-Geräte
- : SPECS baut seit fast 30 Jahren Instrumente für Oberflächenwissenschaft, Materialforschung und Nanotechnologie
- 2024: Business Unit Focus (ehemals FOCUS Geräte GmbH, Hünstetten) wird als neueste Ergänzung Teil der SPECSGROUP

## Kontakt

- Voltastrasse 5
- 13355 Berlin
- +49 30 46 78 24 0
- info@specs-group.com