# SPS International (SPS Europe B.V.)

> Ausrüstung und Verbrauchsmaterial für Halbleiterprozesse: Wafer-Handling, Photolithografie, Wet Process, CMP und Ersatzteile.

## Auf einen Blick

- **Ort:** TS Putten, Niederlande
- **Website:** https://www.sps-international.com/
- **Verfahren:** Spin Coating (Spin Coater POLOS SPINx-Serie, 150/200/300/450 mm, bis 12.000 RPM), Maskless Lithographie (POLOS Print UV Standard, Beam, Beam XL, NanoWriter), Mask Aligner (MDA-400LJ, MDA-400M, MDA-400M-6, MDA-600S, MA-400X, MDA-80MS, MDA-12FA), Spray Coating (POLOS UC330, UC320, UC360c), Atomic Layer Deposition (ALD: AT200, AT410, AT650T thermisch; AT650P Plasma), Wafer Handling (Wafer Transfers, Sorter, Aligner, Vacuum Wands, Wafer Picks, Presenter), Wafer Shipping (Moisture Barrier Bags ab 25 bis 300 mm, Wafer Shippers, Vacuum Sealer bis 1000 mm), Process Cassettes & Boxes (PP, PTFE, PFA, PEEK; Metall-Cassetten aus Aluminium/Edelstahl), Wet Process (Reinigung & Ätzen: Spin Process Stations, Megasonic Cleaning, Process Baths), CMP (Pad Conditioner, Polishing Pads, Slurry Filter/Pumpen, Retaining Rings, Slurry Monitoring), Polishing Service (Edge Polishing, Cleaning, Permanent Bonding, Surface Polishing, Wafer Re-Sizing), Grinding & Dicing (Film Applicator/Remover, Film Frame Mounter, Die Matrix Expander, UV Curing), Tool Refurbishment & Maintenance (Robot Refurbishment, Semitool Upgrades, Spray Acid/Solvent Tool), Filtration (Capsule, Chemical, DI-Water, CMP Slurry, Photoresist, Electroplate Liquid), Heiztechnik (Inline Heater, Immersion Heater, Tank Heater, DI-Water Heater, Heat Exchanger, Grid), Flow & Pressure Control (Flowmeter, Sensoren, Ventile, PFA Tubing & Fittings), Pumpen (Membran-, Bellows-, Metering-, Dispense-, Double Diaphragm Pumps, Slurry Pumps), Prozess-Monitoring (KxS Wet Chemical Concentration Monitor, Drain Flow, Motor & Bearing Monitoring), Film Characterization (Fr-Scanner, Fr-ES, Fr-Pro, Fr-Mic Schichtdickenmessung), CMP Prozess Training (10-Modul-Kurs)
- **Werkstoffe:** Polypropylen (PP, NPP), PTFE, PFA, PEEK, PVDF, Quarz, Aluminium, Edelstahl (SST), Silizium, Glas, LDPE, PET, Polypropylen (PP/NPP), Edelstahl
- **Zertifikate:** ISO 9001:2015, ISO 14001:2015
- **Branchen:** Halbleiterindustrie, Life Science, Labor/Pharma
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/sps-international-sps-europe-b-v

## Über uns

SPS International ist ein international tätiger Anbieter von Produkten und Services für die Halbleiter- und Life-Science-Industrie mit Hauptsitz in Putten, Niederlande. Das Portfolio umfasst Wafer-Handling-Systeme (WHS), Photolithografie- und Beschichtungsausrüstung (POLOS), Fluid-Handling-Komponenten (esPRO) sowie Prozesscassetten, Wafer-Shipping-Verpackungen, CMP-Verbrauchsmaterial und Ersatzteile. Eigene Produktentwicklungen sind unter anderem Spin Coater bis 450 mm Substratgröße, masklose Lithografiesysteme, Mask Aligner, ALD-Systeme, Megasonic-Reinigungstanks sowie automatische Wafer-Transfers. Daneben bietet SPS Tool-Refurbishment, Roboter-Refurbishment, Semitool-Upgrades, Polierservices und CMP-Prozesstraining an; über 9.000 Teile sind ab Lager verfügbar. Verwendete Werkstoffe sind neben Edelstahl und Aluminium vor allem chemisch resistente Kunststoffe wie PTFE, PFA, PEEK, PVDF und PP sowie Quarz. Mit über 35 Jahren Erfahrung in der Halbleiterindustrie beliefert das Unternehmen mit Büros in Europa, den USA und Asien Kunden weltweit.

## Verfahren & technische Grenzen

- Spin Coating (Spin Coater POLOS SPINx-Serie, 150/200/300/450 mm, bis 12.000 RPM), max. Länge 450 mm Substratdurchmesser
- Maskless Lithographie (POLOS Print UV Standard, Beam, Beam XL, NanoWriter), max. Länge 150 x 150 mm Substrat
- Mask Aligner (MDA-400LJ, MDA-400M, MDA-400M-6, MDA-600S, MA-400X, MDA-80MS, MDA-12FA)
- Spray Coating (POLOS UC330, UC320, UC360c)
- Atomic Layer Deposition (ALD: AT200, AT410, AT650T thermisch; AT650P Plasma)
- Wafer Handling (Wafer Transfers, Sorter, Aligner, Vacuum Wands, Wafer Picks, Presenter), max. Länge 76 mm bis 200 mm (SafeGuard WHS-T1)
- Wafer Shipping (Moisture Barrier Bags ab 25 bis 300 mm, Wafer Shippers, Vacuum Sealer bis 1000 mm), max. Länge 1000 mm (Vacuum Sealer)
- Process Cassettes & Boxes (PP, PTFE, PFA, PEEK; Metall-Cassetten aus Aluminium/Edelstahl), max. Länge 300 mm
- Wet Process (Reinigung & Ätzen: Spin Process Stations, Megasonic Cleaning, Process Baths)
- CMP (Pad Conditioner, Polishing Pads, Slurry Filter/Pumpen, Retaining Rings, Slurry Monitoring), max. Länge bis 450 mm (Polishing)
- Polishing Service (Edge Polishing, Cleaning, Permanent Bonding, Surface Polishing, Wafer Re-Sizing), max. Länge bis 450 mm
- Grinding & Dicing (Film Applicator/Remover, Film Frame Mounter, Die Matrix Expander, UV Curing), max. Länge bis 300 mm
- Tool Refurbishment & Maintenance (Robot Refurbishment, Semitool Upgrades, Spray Acid/Solvent Tool)
- Filtration (Capsule, Chemical, DI-Water, CMP Slurry, Photoresist, Electroplate Liquid)
- Heiztechnik (Inline Heater, Immersion Heater, Tank Heater, DI-Water Heater, Heat Exchanger, Grid)
- Flow & Pressure Control (Flowmeter, Sensoren, Ventile, PFA Tubing & Fittings)
- Pumpen (Membran-, Bellows-, Metering-, Dispense-, Double Diaphragm Pumps, Slurry Pumps)
- Prozess-Monitoring (KxS Wet Chemical Concentration Monitor, Drain Flow, Motor & Bearing Monitoring)
- Film Characterization (Fr-Scanner, Fr-ES, Fr-Pro, Fr-Mic Schichtdickenmessung)
- CMP Prozess Training (10-Modul-Kurs)
- Ozone Generation (AT-Ozone Generator)
- Photoresist (HARE-SQ Negativ-Tone Photoresist)

## Maschinenpark

- Spin Coater (Tabletop) POLOS (SPS) SPIN150x
- Spin Coater POLOS (SPS) SPIN200x
- Spin Coater POLOS (SPS) SPIN300x
- Spin Coater (Advanced) POLOS (SPS) SPIN450x / 450 Advanced
- Automated Spin Processor POLOS (SPS) SPIN4000A / SPIN5000A
- Maskless Lithography System (Direct Laser Writer) POLOS (SPS) NanoWriter / NanoWriter Advanced
- Maskless Lithography System POLOS (SPS) Beam XL Mk2
- Maskless Exposure System (DMD) POLOS (SPS) Print UV Standard
- Mask Aligner (Manuell) POLOS (SPS) MDA-400LJ / MA-400X
- Mask Aligner (Semi-Automatisch) POLOS (SPS) MDA-80MS
- Mask Aligner (Automatisch) POLOS (SPS) MDA-12FA / MDA-400M / MDA-600S
- Spray Coater POLOS (SPS) UC330 / UC320 / UC360c
- Hotplate POLOS (SPS) Hotplate 200 / Hotplate 350
- Atomic Layer Deposition System (Thermal) POLOS (SPS) AT200 / AT410 / AT650T
- Atomic Layer Deposition System (Plasma) POLOS (SPS) AT650P
- Automatischer Wafer Transfer (SafeGuard) WHS (SPS) WHS-T1 (T1 Series LCT2)
- Wafer Transfer / Sorter / Aligner / Presenter WHS (SPS) WHS-T2/T3/T4, Sorter, WHS-A1-A6, WHS-P1-P4
- Spin Coater (Indeck/Tabletop) Indeck/Semitool-basiert (SPS) Semitool Spincoater / SAT / SRD / SST
- Megasonic Cleaning Tank esPRO (SPS)
- POLOS SPIN Wet Station POLOS (SPS)
- Ozone Generator POLOS (SPS) AT-Ozone

## Historie

- : Über 35 Jahre Erfahrung in der Halbleiterindustrie; heute Büros in Europa, den USA, Singapur und Malaysia

## Kontakt

- Midden Engweg 41
- 3882 TS Putten, Niederlande
- +31 341 360 590
- sales@sps-international.com