# SUSS MicroTec SE

> Umbau zu B2B-Fertigungslayout mit Wertschöpfungskette, Material-/Verfahrensmatrix und Zertifikatstabelle für die Halbleiteranlagenfertigung.

## Auf einen Blick

- **Ort:** Garching
- **Website:** https://www.suss.com
- **Gegründet:** 1949
- **Verfahren:** Wafer-Cleaning (hybrid, chemikalienreduziert), Mask Aligner Lithographie (Fotolithographie), Spin-Coating / Belackung (Coater, Produktions-Coater), Substrat-Bonding (Substratbonder, temporäres Bonding), Device-Bonding (Thermo-Kompressionsbonding), Photomasken-Prozessierung (wet processing), Inkjet Printing (Tintenstrahldruck), Laser-Mikrostrukturierung, Mikrooptiken-Lithographie (SUSS MicroOptics, 2024 verkauft), Montage-/Servicetätigkeit: Installation, Inbetriebnahme, Wartung, Reparatur, Upgrades, Installation und Inbetriebnahme, Präventive Wartung, Ersatzteilversorgung/Logistik, Reparaturen und Inspektion, Service-Upgrades, Prozessoptimierung, Machbarkeitsstudien, Applikationslabor/Equipment-Demonstrationen, Training (globale Trainingszentren), Prozess-Ramp-up
- **Werkstoffe:** Silizium-Wafer (200 mm), Fotomasken, Fotolack, Heterogene Werkstoffe
- **Zertifikate:** ISO 9001:2015 / ISO 14001:2015, DIN EN ISO 50001:2018, ISO 45001:2018, ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 50001 (Energiemanagement), ISO 45001 (Arbeitsschutz, Taiwan), RoHS/REACH-Konformität
- **Branchen:** Halbleiterindustrie, Nanotechnologie, Mikrosystemtechnik (MEMS), LED, Forschung & Entwicklung
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/suss-microtec

## Über uns

Die SUSS MicroTec SE mit Sitz in Garching bei München ist ein börsennotierter Anlagenhersteller, der Anlagen und Prozesslösungen für die Halbleiterindustrie, die Nanound Mikrosystemtechnik (MEMS) sowie verwandte Märkte entwickelt und fertigt. Das Portfolio umfasst Mask-Aligner für die Fotolithografie, Coater zur Wafer-Belackung, Substrat- und Device-Bonder, Anlagen zur Nassbearbeitung von Fotomasken, Inkjet-Drucksysteme sowie Laser-Technologie zur Mikrostrukturierung; mit der 2026 eingeführten Produktlinie GreenTec Solutions (GT200) ist das Unternehmen zudem in den Markt für chemikalienreduziertes hybrides Wafer-Cleaning in 200-mm-Umgebungen eingetreten. Die Systeme kommen bei der Herstellung von Speicherchips, Prozessoren, MEMS, LEDs und anderen mikrotechnischen Bauteilen zum Einsatz und bedienen sowohl die industrielle Großserienfertigung als auch Forschung und Entwicklung. Die Produktion erfolgt an den deutschen Standorten Garching und Sternenfels (Kompetenzzentrum für Wet Processing mit Coatern, Bondern und Fotomaskenbearbeitung) sowie in Taiwan; ein globales Netz aus Vertriebs- und Servicestandorten mit rund 300 Field Service Engineers und mehr als 60 Prozessexperten sichert Installation, Wartung und Lifecycle-Support. Das Unternehmen wurde 1949 gegründet und firmiert seit 2024 als SUSS MicroTec SE.

## Verfahren & technische Grenzen

- Wafer-Cleaning (hybrid, chemikalienreduziert)
- Mask Aligner Lithographie (Fotolithographie), Toleranz mikrometergenau (doppelseitige Belichtung)
- Spin-Coating / Belackung (Coater, Produktions-Coater)
- Substrat-Bonding (Substratbonder, temporäres Bonding)
- Device-Bonding (Thermo-Kompressionsbonding)
- Photomasken-Prozessierung (wet processing)
- Inkjet Printing (Tintenstrahldruck)
- Laser-Mikrostrukturierung
- Mikrooptiken-Lithographie (SUSS MicroOptics, 2024 verkauft)
- Montage-/Servicetätigkeit: Installation, Inbetriebnahme, Wartung, Reparatur, Upgrades

## Maschinenpark

- Hybrid-Wafer-Cleaning-System SUSS GT200 (GreenTec Solutions)
- Mask Aligner (Maskenjustierbelichter) SUSS MJB3
- Mask Aligner (Volumenproduktion) SUSS MJB55

## Standorte

- Garching – Hauptsitz, Produktion und Entwicklung
- Sternenfels – Produktion/Entwicklung – Kompetenzzentrum Wet Processing
- Zhubei City (Taiwan) – Produktion (Coating, Bonding, Imaging Solutions)
- Eindhoven – Vertrieb und Service
- Yokohama – Vertrieb und Service

## Historie

- 1949: Karl Süss gründet in München eine Vertriebsvertretung für Mikroskope, Kameras und Laborgeräte von Ernst Leitz Wetzlar; erste Zentrale ist eine Garage.
- 1962/1963: Siemens-Auftrag für ein Thermo-Kompressionsbondgerät für Transistoren – Wechsel zur Auftragsfertigung; kurz darauf Prototyp des weltweit ersten Mask-Aligners MJB3.
- 1968: Umzug nach Garching, wo sich bis heute die Konzernzentrale befindet.
- 1974/1975: Entwicklung des ersten Mask-Aligners mit mikrometergenauer doppelseitiger Belichtung; 1975 Markteinführung des MJB55, des ersten Mask-Aligners für die Serienproduktion.
- 1980er: Globale Expansion: erstes Auslandswerk in Waterbury (Vermont, USA), Tochtergesellschaft in Thailand (1983), Vertriebsbüros in Japan, China und Taiwan; Prober-Fertigung in Dresden.
- 1989/1993: Markteinführung des ersten Substrat-Bonders (1989) und der Device-Bonder (1993).
- 1994: Tod des Gründers Karl Süss und seines Sohnes Ekkehard; die Familie gibt ihre Anteilsmehrheit ab.
- 1999: Börsengang der Holding als SÜSS MicroTec AG; Akquisition von Convac und Fairchild Technologies.
- 2000/2001: Übernahme von Fairchild Technologies (Produktions-Coater); Gründung der Tochter SUSS MicroOptics in Neuchâtel.
- 2007/2009: Verkauf der Device-Bonder-Sparte (2007) und der Wafer-Prober-Sparte (2009); neue Standorte in Singapur und Korea.
- 2010: Übernahme von HamaTech APE in Sternenfels (Fotomaskenbearbeitung); Verlagerung der Substratbonder-Produktion von Waterbury nach Sternenfels – Kompetenzzentrum für Wet Processing.
- 2012: Übernahme von Tamarack Scientific (Laserprozessierung für Mikrostrukturierung).
- 2020: Aufbau einer neuen Produktionsstätte in Taiwan; Übernahme von PiXDRO (Inkjet-Printing-Technologie, vormals Meyer Burger).
- 2023: Nach Aufkommen generativer KI stark steigende Nachfrage nach Temporary-Bonding-Lösungen.
- 2024: Verkauf von SUSS MicroOptics an Focuslight Technologies; Umbenennung in SUSS MicroTec SE und Etablierung der Marke SUSS.
- 2026: Auftragsbuch erreicht Rekord von 473,7 Mio. €; Markteintritt im Wafer-Cleaning-Markt mit GreenTec Solutions (GT200); Partnerschaften mit Ignite Next und Manz Asia.

## Kontakt

- Schleißheimer Str. 90
- 85748 Garching
- +49 89 32007-0
- info@suss.com