# Team Nanotec GmbH

> Fertigung von SPM-Probe-Tips, Probe-Tip-Charakterizern und Silizium-basierten 3D-MEMS-Komponenten.

## Auf einen Blick

- **Ort:** Villingen-Schwenningen
- **Website:** https://team-nanotec.de
- **Gegründet:** 1997
- **Verfahren:** Mikro- und Nanofabrikation (SPM-Spitzen, Charakterisierer, 3D-MEMS), Batch-Fertigung von Silizium-SPM-Spitzen (AFM Cantilever/Probe Tips), Herstellung kundenspezifischer Cantilever und Probe Tips, Stencil-Mask-Technologie, MEMS-Fertigung von Strahlformungs-Aperturen (Beam shaping apertures) mit kontrollierten Profilen,, Herstellung von Probe Tip Characterizern (z. B. I²FSR, CDR-Probes), Vermessung von SPM-Produkten mit Elektronenstrahlmikroskop (Gewährleistungs-relevante, Kundenspezifische Cantilever- und Probetip-Entwicklung und -fertigung, 3D-MEMS-Fertigung auf Siliziumbasis, Strahlformende Aperturen (MEMS-Technologie), Herstellung von SPM-Probe-Tip-Charakterizern, Stencil-Masken-Technologie
- **Werkstoffe:** Silizium (Einkristall, high quality single crystal silicon), Siliziumnitrid, Metalle
- **Branchen:** Scan-/Rastersondenmikroskopie (SPM/AFM), Metrologie, Materialcharakterisierung, Mikro- und Nanofabrikation
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/team-nanotec

## Über uns

Die Team Nanotec GmbH wurde 1997 als Spin-off von IBM Deutschland gegründet und entwickelt sowie fertigt am Hauptsitz in Villingen-Schwenningen Mikro- und Nanokomponenten auf Siliziumbasis. Das Portfolio umfasst SPM-Probe-Tips (AFM-Cantilever) für die Rastersondenmikroskopie, Probe-Tip-Charakterizer für die quantitative 3D-AFM, strahlformende Aperturen auf MEMS-Basis sowie Stencil-Masken. Neben Standardprodukten entwickelt und fertigt das Unternehmen kundenspezifische Cantilever und Probe-Tips. Gefertigt wird unter anderem in Batch-Prozessen aus Einkristall-Silizium, Siliziumnitrid und Metallen; die MEMS-Aperturen zeichnen sich durch kontrollierte Profile, glatte Seitenwände und kleine Eckradien aus. Kunden stammen aus Scan-/Rastersondenmikroskopie, Metrologie, Materialcharakterisierung und Mikro-/Nanofabrikation. Zur Gewährleistungssicherung werden SPM-Produkte im Haus mit einem Elektronenstrahlmikroskop vermessen.

## Verfahren & technische Grenzen

- Mikro- und Nanofabrikation (SPM-Spitzen, Charakterisierer, 3D-MEMS)
- Batch-Fertigung von Silizium-SPM-Spitzen (AFM Cantilever/Probe Tips)
- Herstellung kundenspezifischer Cantilever und Probe Tips
- Stencil-Mask-Technologie
- MEMS-Fertigung von Strahlformungs-Aperturen (Beam shaping apertures) mit kontrollierten Profilen,
- Herstellung von Probe Tip Characterizern (z. B. I²FSR, CDR-Probes)
- Vermessung von SPM-Produkten mit Elektronenstrahlmikroskop (Gewährleistungs-relevante

## Standorte

- Villingen-Schwenningen – Hauptsitz, Entwicklung und Fertigung

## Historie

- 1997: Gründung der Team Nanotec GmbH als Spin-off von IBM Deutschland

## Kontakt

- Wilhelm-Schickard-Str. 10
- 78052 Villingen-Schwenningen
- +49 7721 8863-3
- info@team-nanotec.de