# VON ARDENNE GmbH

> Entwicklung und Fertigung von Vakuum-Vakuumbeschichtungsanlagen für Funktions- und optische Schichten auf Glas, Wafern, Metallband und Polymerfolien.

## Auf einen Blick

- **Ort:** Dresden
- **Website:** https://vonardenne.com/
- **Gegründet:** 1991
- **Mitarbeiter:** 1300
- **Verfahren:** PVD (Physikalische Gasphasenabscheidung), Elektronenstrahlverdampfung (Electron Beam Evaporation), Magnetronsputtern (Magnetron Sputtering), Bootverdampfung (Thermal Evaporation of Aluminum), Thermisches Verdampfen organischer & anorganischer Materialien, Laser-Arc-Verdampfung (High Current Laser Arc) für Kohlenstoffbeschichtungen, Ionenstrahlprozesse (Ion Beam Processes), Arc Evaporation, PECVD (Chemische Gasphasenabscheidung), ALD (Atomic Layer Deposition), HiPIMS Abscheidung (für Panel-Level Packaging), Roll-to-Roll Electron Beam Evaporation (SiOx Barrier Layer), Roll-to-Roll Vakumbeschichtung (Metal Strip Coating), PVD-Beschichtung metallischer Bipolarplatten (Pre-/Mid-/Post-Coating), X-CONDUCT Carbon Coating (Kohlenstoffbasierte Schichtstapeln), Edelmetallbeschichtung für PEM-Elektrolyseure, Beschichtung für BC-Solarzellen (Seed Layers, PVD), Dielektrische Spiegelbeschichtung (CARS-Prozesstechnologie), Beschichtung großer optischer Flächen (Teleskopspiegel bis 8,4 m), Antireflex- und Filterbeschichtung auf Linsen & optischen Domen
- **Werkstoffe:** Glas, Wafers (Si, InP, GaAs), Metallband (Metal Strip), Polymerfolien (Polymer Films), Aluminium (Al), Kupfer (Cu), Titan (Ti), TCO: ITO (Indium Tin Oxide), TCO: AZO (Aluminium Zinc Oxide), Silber (Ag), Gold (Au), SiOx (Barrier Layer), Galliumoxid (Ga₂O₃, β-Phase), Kohlenstoff (Carbon, X-CONDUCT), Edelmetalle (für PEM-Elektrolyseure), Elektronenstrahlverdampfung, Magnetronsputtern, Bootverdampfung (Thermisches Verdampfen von Aluminium), Hochstrom-Laser-Arc-Verdampfung, HiPIMS-Abscheidung
- **Zertifikate:** ISO 9001:2015, ISO 45001:2018, ISO 14001
- **Branchen:** Photovoltaik, Wasserstofftechnik (Brennstoffzellen & Elektrolyse), Halbleiter / Advanced Packaging / MEMS, Leistungselektronik (SiC, GaN, Ga2O3), Präzisionsoptik / Photonik, Großflächenoptik / Astronomie / Raumfahrt, Architekturglas, Flexible Verpackung / Roll-to-Roll, Big Science / Forschung, Photovoltaik (BC-, TOPCon-, HJT-, Perovskit-Tandem-Solarzellen), Wasserstofftechnik (PEM-Brennstoffzellen, PEM-Elektrolyse, Bipolarplatten), Präzisionsoptik / Photonik (dielektrische Spiegel, Linsen, AR/VR/XR), Metallband-/Roll-to-Roll-Beschichtung (Flexible Packaging), Big Science/Forschung
- **Profil:** https://amplifa-marketplace.com/anbieter/von-ardenne

## Über uns

Die VON ARDENNE GmbH entwickelt und produziert in Dresden industrielle Vakuum-Vakuumbeschichtungsanlagen für funktionale Dünnschichten auf Substraten wie Glas, Wafern (Si, InP, GaAs), Metallband und Polymerfolien. Die Kernverfahren sind physikalische Gasphasenabscheidung (PVD), insbesondere Magnetronsputtern und Elektronenstrahlverdampfung, ergänzt um Bootverdampfung, Hochstrom-Laser-Arc-Verdampfung, Ionenstrahl- und Arc-Prozesse sowie PECVD, ALD und HiPIMS. Die Anlagen kommen unter anderem in der Photovoltaik (TOPCon, HJT, Perovskit-Tandem), der Wasserstofftechnik (Bipolarplatten für PEM-Brennstoffzellen und Elektrolyseure), der Halbleiter- und Leistungselektronik, der Präzisions- und Großflächenoptik, dem Architekturglasbau und im Roll-to-Roll-Verpackungsbereich zum Einsatz. Beschichtete astronomische Spiegel bis 8,4 m Durchmesser werden auf SKYVA-Systemen gefertigt. Das Unternehmen wurde 1991 aus dem Forschungsinstitut Manfred von Ardenne ausgegründet, beschäftigt rund 1300 Mitarbeitende weltweit und betreibt neben dem Hauptsitz in Dresden-Weißig mit 600 m² Reinraum Standorte in China, Indien, Malaysia, den USA und Vietnam. Über 1000 Anlagen sind in mehr als 50 Ländern im Einsatz.

## Verfahren & technische Grenzen

- PVD (Physikalische Gasphasenabscheidung)
- Elektronenstrahlverdampfung (Electron Beam Evaporation)
- Magnetronsputtern (Magnetron Sputtering)
- Bootverdampfung (Thermal Evaporation of Aluminum)
- Thermisches Verdampfen organischer & anorganischer Materialien
- Laser-Arc-Verdampfung (High Current Laser Arc) für Kohlenstoffbeschichtungen
- Ionenstrahlprozesse (Ion Beam Processes)
- Arc Evaporation
- PECVD (Chemische Gasphasenabscheidung)
- ALD (Atomic Layer Deposition)
- HiPIMS Abscheidung (für Panel-Level Packaging)
- Roll-to-Roll Electron Beam Evaporation (SiOx Barrier Layer)
- Roll-to-Roll Vakumbeschichtung (Metal Strip Coating)
- PVD-Beschichtung metallischer Bipolarplatten (Pre-/Mid-/Post-Coating)
- X-CONDUCT Carbon Coating (Kohlenstoffbasierte Schichtstapeln)
- Edelmetallbeschichtung für PEM-Elektrolyseure
- Beschichtung für BC-Solarzellen (Seed Layers, PVD)
- Dielektrische Spiegelbeschichtung (CARS-Prozesstechnologie)
- Beschichtung großer optischer Flächen (Teleskopspiegel bis 8,4 m), Toleranz Oberflächengenauigkeit ca. 20 nm
- Antireflex- und Filterbeschichtung auf Linsen & optischen Domen
- MEMS-Beschichtung (Metall-, Halbleiter- & Passivierungsschichten)
- Inline-Glasbeschichtung (Architekturglas)
- Engineering (Simulation, Sampling, Layout)
- Technology & Application Center: Sampling, Layer Development & Pilotbeschichtung
- Cleanroom-fähiges Sampling, Montage & Inbetriebnahme (600 m² Halbleiter-Reinraum)
- Service: Wartung, Inspektion, Upgrades, Retrofits, Ersatzteile, Schulung
- Kundenspezifische Beschichtung als Lohnfertigung (Schichtentwicklung, -qualifizierung)

## Maschinenpark

- Vakumbeschichtungsanlage (Magnetron Sputtering, Horizontal Coating System) VON ARDENNE HISS
- Horizontal Coating System (Gigawatt-Skala) VON ARDENNE GIGANOVA
- Inline Coating System VON ARDENNE XEANOVA
- Evaporation System für optische Anwendungen VON ARDENNE VERA
- Rotary Disk Coating System VON ARDENNE OPTA X / OPTA X300
- Cluster System für Forschung, Entwicklung & Produktion VON ARDENNE CLUSTER SYSTEMS
- Vertical Coating System VON ARDENNE VISS
- Vacuum Coating System für große astronomische Spiegel (bis 8,4 m) VON ARDENNE SKYVA / SKYVA2000
- Metal Strip Coating System (Roll-to-Roll) VON ARDENNE MSC500
- Metal Strip Coating System (Roll-to-Roll) VON ARDENNE MSC1250
- Vertical Coating System (Sheet-to-Sheet, Bipolarplatten) VON ARDENNE VICA / VICA900
- Elektronenstrahlkanone (bis 1.200 kW Strahlleistung) VON ARDENNE
- Halbleiter-Reinraum (600 m², AMC-fähig) für Sampling, Montage & Inbetriebnahme VON ARDENNE

## Standorte

- Dresden – Hauptsitz, Entwicklung, Zentralfertigung, Technologie- & Applikationszentrum, Customer Training Center, Reinraum
- Shanghai – Tochtergesellschaft VAVE: Vertrieb, Service, Ersatzteile, eigene Produktion
- Kulim – Tochtergesellschaft VAMA: Service, Vertrieb, Ersatzteile, Zollager seit 2014
- Perrysburg (OH) – Tochtergesellschaft VANA: Service und Vertrieb Nordamerika
- Ho Chi Minh City – Servicestandort VAVN für Photovoltaik und Architekturglas
- Chennai – Tochtergesellschaft VAID: Vertrieb, Service, Inbetriebnahme, Ersatzteile

## Historie

- 1950er: Beteiligung an der Entwicklung der Elektronenstrahlverdampfung am Umfeld des Forschungsinstituts Manfred von Ardenne
- 1970er: Pionierrolle bei der Entwicklung der Magnetron-Sputter-Technologie
- 1991: Ausgründung der VON ARDENNE GmbH aus dem Forschungsinstitut Manfred von Ardenne mit 67 Mitarbeitenden und 35 Jahren Know-how
- 1994/95: Durchbruch mit Großauftrag für eine Inline-Glasbeschichtungsanlage
- 1996: Bau des zweiten Standorts auf 3.200 m² in Dresden-Weißig, dem heutigen Hauptsitz
- 2002: Markteintritt in China im Bereich Glasbeschichtungssysteme
- 2006: Gründung der VON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd. (VAVE)
- 2008: Umwandlung der Repräsentanz in VON ARDENNE Malaysia Sdn. Bhd., Kulim
- 2011: Gründung von VON ARDENNE North America, Inc. (VANA), Perrysburg, USA
- 2014: Einrichtung eines Zollagers für Ersatzteile in Malaysia
- 2017: Gründung von VON ARDENNE Vietnam, Corp., Ltd., Ho Chi Minh City
- 2022: Aufnahme des Betriebs von VON ARDENNE India Pvt. Ltd. (VAID) in Chennai
- 2025: Erste Ergebnisse des Vera C. Rubin Observatory mit VON ARDENNE-Beschichtungstechnologie

## Kontakt

- Am Hahnweg 8
- 01328 Dresden
- +49 351 2637 300
- office@vonardenne.com