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AeroLas – Fertigung

AeroLas entwickelt und fertigt kundenspezifische aerostatische Luftlager und luftgelagerte Antriebssysteme für Präzisionsanwendungen.

AeroLas Logo

AeroLas GmbH

Unterhaching (Zentrale) · Aying (Produktion) · Shanghai (Vertrieb/Service iStar, China)Neu auf Amplifa

1997Gegründet (Spin-off der TU München)
Unterhaching, AyingStandorte (Zentrale/Produktion)
< 2 nmStörbewegungen der Luftlager
0,02–0,06 mmDurchmesser der lasergebohrten Mikro-Düsen
10–15 µmLagerluftspalt

Über AeroLas

AeroLas GmbH ist ein 1997 als Spin-off der TU München in Unterhaching bei München gegründetes Unternehmen, das aerostatische Luftlager (Air Bearings) und luftgeführte Antriebssysteme entwickelt und produziert. Die patentierte Technologie basiert auf lasergebohrten Mikro-Düsen mit Durchmessern von 0,02 mm bis 0,06 mm, die vollautomatisch gefertigt werden, und ermöglicht Sub-µm-Präzision sowie Störbewegungen unter 2 Nanometern. Die Produkte reichen von einzelnen Luftlagern über funktionale Lösungen für Großserien bis zu komplexen Hochleistungsantrieben mit eigener Antriebsregelung. Die Entwicklung stützt sich auf eine über zwanzig Jahre weiterentwickelte, unternehmenseigene Simulationsssoftware kombiniert mit FEM-Berechnungen, Modalanalysen und thermischen Deformationsanalysen. Lagerkörper werden aus Stahl, Granit und Glas gefertigt; Einsatzgebiete sind insbesondere die Halbleiterfertigung, Elektronik- und Flat-Panel-Produktion, Messtechnik und Optikindustrie. Die Produktion erfolgt in Aying (Bayern), für China, Taiwan, Hongkong und Macao wird der Vertrieb und Service durch iStar (Shanghai) wahrgenommen.

Standort
Unterhaching
Verfahren
Luftlagertechnologie (air bearings, patentierte Mikro-Düsen-Technologie), Laserbohren von Mikro-Düsen (Durchmesser 0,02 mm bis 0,06 mm, vollautomatisch), Vakuumsaug-Vorspannung (Vacuum Preload) von Luftlagern, Magnetische Vorspannung (Magnetic Preload) von Luftlagern, Simulation von Luftlagern und Antriebssystemen (eigene Software, FEM, Modalanalyse), Flexible Lagerkörper (Flexible Bearing Bodies) für hochdynamische und thermisch belastete, Air-bearing-Slide für Dampfabscheidung auf Glassubstraten (ALD-Prozess, 350 °C), Hochvakuum-Anwendungen (High-Vacuum Applications)
Werkstoffe
Stahl, Granit, Glas, Glasplatten/-substrate (für Vakuum-/ALD-Prozesse), poröse Lagerwerkstoffe (gesinterte Luftlager, als Vergleichstechnologie genannt), Folie (kontaktloser Transport)
Gegründet
1997
Branchen
Halbleiterfertigung, Elektronik, Flat-Panel-Produktion, Messtechnik, Optikindustrie, Konsumgüter- und Produktionsmaschinen
  1. 01

    Machbarkeitsstudie

  2. 02

    Simulation (eigene Software, FEM)

  3. 03

    Auslegung Luftlager/Antrieb

  4. 04

    Laserbohren der Mikro-Düsen

  5. 05

    Fertigung der Lagerkörper

  6. 06

    Montage

  7. 07

    Antriebsregelung/Inbetriebnahme

Standorte

Unterhaching

DE

Zentrale/Hauptsitz

Aying

DE

Produktion

Losgröße
Einzelstücke bis Großserien
Werkstoffe
Stahl, Granit, Glas
  • Vollautomatisches Laserbohren von Mikro-Düsen (0,02–0,06 mm)

Shanghai

CN

Vertriebs- und Servicepartner (iStar) für China, Taiwan, Hongkong und Macao

Einblicke in die Fertigung

AeroLas-Logo
AeroLas-Logo

Branchen

HalbleiterfertigungElektronikFlat-Panel-ProduktionMesstechnikOptikindustrieKonsumgüter- und Produktionsmaschinen

Verfahren & technische Grenzen

VerfahrenToleranzMax. BauteilGewichtLosgrößeWerkstoffe
Luftlagertechnologie (air bearings, patentierte Mikro-Düsen-Technologie)EngineeringSub-µm-Präzision; Störbewegungen <2 Nanometer–––Stahl, Granit, Glas, poröse Lagerwerkstoffe (Vergleichstechnologie)
Laserbohren von Mikro-Düsen (Durchmesser 0,02 mm bis 0,06 mm, vollautomatisch)Fertigung/Laserbearbeitung–––Kleinserien – Großserien–
Vakuumsaug-Vorspannung (Vacuum Preload) von LuftlagernEngineering––––Granit, Stahl, Glas
Magnetische Vorspannung (Magnetic Preload) von LuftlagernEngineering–––––
Simulation von Luftlagern und Antriebssystemen (eigene Software, FEM, Modalanalyse)Engineering–––––
Flexible Lagerkörper (Flexible Bearing Bodies) für hochdynamische und thermisch belasteteEngineeringPlanheit der Lagerflächen <2 µm; Spalt 10-15 µmca. 200 x 200 mm² und größer––Granit, Stahl, Glas
Air-bearing-Slide für Dampfabscheidung auf Glassubstraten (ALD-Prozess, 350 °C)Engineering–Slide ca. 1,6 m; Stator ca. 2,2 m––Glas
Hochvakuum-Anwendungen (High-Vacuum Applications)Engineering–––––
Hochdynamischer Kurzhub-Antrieb (High-Dynamic Short-Stroke Drive)Engineering–––––
Reaktionskraft-Kompensation (Reaction Force Compensation)Engineering–––––
Auswuchten von Spindeln (Balancing of Spindles)Engineering–––––
Berührungsloser Folien-/Glastransport (Non-contact foil / glass transport)Handling––––Folie, Glas
Kraftbegrenzung und Kraftregelung (Force limitation and force control, z. B. Montage von Mikrochips)Montage–––––
Kontaktlose Medienübertragung durch den Lagerluftspalt (Gase/Vakuum bei rotatorischen und linearenEngineering–––––
Leichtbau (Lightweight design) luftgelagerter SystemeEngineering–––––
Produktion und Montage (Production and assembly) kundenspezifischer luftgeführter LösungenMontage–––Einzelstücke – Großserien–

Zusatzleistungen

Entwicklung kundenspezifischer aerostatischer Luftlager und luftgelagerter AntriebssystemeSimulation von Luftlagern und Antriebssystemen (eigene Software, FEM)MachbarkeitsstudienAntriebsregelung (eigener Drive Controller)Vakuum- und magnetische VorspannungKontaktloser Medientransfer (Gas/Vakuum) durch den LagerringSchwerkräfte-/GewichtskraftkompensationKraftbegrenzung und KraftregelungKontaktloser Folien-/GlastransportHigh-Vacuum-AnwendungenHochdynamischer KurzhubmotorReaktionskraftkompensationSpindelauswuchtenFertigung und Montage

Historie

  1. 1997

    Gründung als Spin-off der TU München in Unterhaching bei München

  2. 2002

    Japan wurde erster Schlüsselmarkt

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