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Semilate – Fertigung

Software für SECS/GEM300 Host-Simulation, Integrationstests und Compliance-Validierung in der Halbleiterindustrie

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Semilate

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SemilateGeschäftsführung/Kontakt: Hannes Enzesberger MSc

Über Semilate

Semilate bietet eine Software zur SECS/GEM300-Host-Simulation für die Halbleiterindustrie. Das Werkzeug unterstützt Equipment-Hersteller und Fertigungsautomationsteams bei Integrationstests, indem es gängige GEM300-Testszenarien automatisiert ausführt und die Einhaltung der SEMI-Standards prüft. Der Equipment-Zustand wird über visuelle Übersichten dargestellt, unter anderem für E87 (Carrier/Loadports), E40/E94 (Jobs), E90/E116 (Substrate/Module) und E30 (Rezepturen). Benutzer können individuelle SECS-Nachrichten in E173 SMN erstellen, speichern und senden; alle Nachrichten werden in annotierten Logs protokolliert und detailliert analysierbar aufbereitet. Die Software wird on-premises betrieben und ist über den Browser zugänglich; eine Benutzerverwaltung mit zwei Privilegienstufen ist integriert. Eine intuitive Bedienoberfläche mit Erläuterungen erleichtert zudem neuen Fachkräften den Einstieg in SECS/GEM300-Tests.

Verfahren
SECS/GEM300 Host-Simulation / Integrationstest-Software, SECS/GEM300 Host-Simulation und Integrationstests, GEM300-Szenario-Testing und Compliance-Validierung, Visualisierung des Equipment-Zustands (E87, E40/E94, E90/E116, E30), Senden und Verwalten individueller SECS-Nachrichten (E173 SMN), Message-Logging mit Annotationen, On-Premises-Deployment mit Browser-Zugriff, Benutzerverwaltung mit zwei Privilegienstufen
Werkstoffe
SEMI E87 (Carriers/Loadports), SEMI E40/E94 (Process/Control Jobs), SEMI E90/E116 (Substrate/Module), SEMI E30 (Rezepturen), SECS-II Message Notation (SMN)
Branchen
Halbleiterindustrie, Equipment-Hersteller / Fertigungsautomation
  1. 01

    Anforderungsanalyse der Equipment-Schnittstelle

  2. 02

    Konfiguration von GEM300-Testszenarien

  3. 03

    Host-Simulation und Nachrichtenaustausch (SECS-II/E173 SMN)

  4. 04

    Visualisierung und Management des Equipment-Zustands

  5. 05

    Analyse der annotierten Message-Logs

  6. 06

    Compliance-Validierung nach SEMI SECS/GEM300

Funktionen und Standards

E87

SEMI E87 (Carriers/Loadports)

Visuelle Überwachung und Aufruf der E87-Standardservices für Loadports und Carrier.

E40/E94

SEMI E40/E94 (Process/Control Jobs)

Verwaltung und Erstellung von Process- und Control-Jobs gemäß beiden Zustandsmodellen.

E90/E116

SEMI E90/E116 (Substrate/Module)

Darstellung von Substraten, Locations und Modulen inklusive E116-Performance-Zuständen.

E30

SEMI E30 (Rezepturen)

Anfordern, Speichern und Senden von Rezepturen über integrierte Dienste.

E173

SECS-II Message Notation (SMN)

Standardisiertes Erstellen und Kommentieren individueller SECS-Nachrichten.

Standort

Softwareentwicklung und Vertrieb

Produktmodule

Scenario View – GEM300-Compliance-Testszenarien
Scenario View – GEM300-Compliance-TestszenarienSECS/GEM300-Simulation · Halbleiterindustrie
Load-Port- und Carrier-Statusanzeige
Load-Port- und Carrier-StatusanzeigeE87-Visualisierung · Equipment-Integration
Process- und Control-Jobs
Process- und Control-JobsE40/E94-Management · Fertigungsautomation
Substrate-, Locations- und Modulansicht
Substrate-, Locations- und ModulansichtE90/E116-Visualisierung · Halbleiterindustrie
Annotierte SECS-Nachrichtendetails
Annotierte SECS-NachrichtendetailsMessage-Logging (E173 SMN) · Tests und Analyse

Einblicke in die Fertigung

Verwaltung und Ausführung von GEM300-Testszenarien
Verwaltung und Ausführung von GEM300-Testszenarien
Carrier-Verarbeitung und Load-Port-Steuerung
Carrier-Verarbeitung und Load-Port-Steuerung
Standard- und gespeicherte SECS-Nachrichten
Standard- und gespeicherte SECS-Nachrichten
E87 Proceed-With-Carrier-Request im Detail
E87 Proceed-With-Carrier-Request im Detail
SECS-Message-Log mit Filteroptionen
SECS-Message-Log mit Filteroptionen

Branchen

HalbleiterindustrieEquipment-Hersteller / Fertigungsautomation

Verfahren & technische Grenzen

VerfahrenToleranzMax. BauteilGewichtLosgrößeWerkstoffe
SECS/GEM300 Host-Simulation / Integrationstest-SoftwareEngineering–––––

Zusatzleistungen

SECS/GEM300 Host-Simulation und IntegrationstestsGEM300-Szenario-Testing und Compliance-ValidierungVisualisierung des Equipment-Zustands (E87, E40/E94, E90/E116, E30)Senden und Verwalten individueller SECS-Nachrichten (E173 SMN)Message-Logging mit AnnotationenOn-Premises-Deployment mit Browser-ZugriffBenutzerverwaltung mit zwei Privilegienstufen
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