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Reinstmedienversorgungssysteme für hochreine Gase und Precursor-Chemikalien – Konstruktion, Fertigung, Installation und Service aus Dresden
SEMPA SYSTEMS GmbH
Dresden · Hermsdorf · Marktl/Inn · ReutlingenNeu auf Amplifa
Über SEMPA SYSTEMS
Die SEMPA SYSTEMS GmbH entwickelt und fertigt seit 2001 am Hauptsitz in Dresden Reinstmedienversorgungssysteme aus Edelstahl für hochreine Gase und Vorläuferchemikalien (Präkursoren). Die Produktfamilien GAS'BOT (Gasversorgungssysteme), CHEM'BOT (Flüssigversorgungssysteme) und VAPOR'BOT (Verdampfungssysteme für CVD-, ALD- und EPI-Prozesse) sichern die kontaminationsfreie Versorgung vom Vorratsbehälter bis in die Prozesskammer. Die vertikal integrierte Fertigung umfasst mehr als 2.000 m² Produktionsfläche mit mehreren Produktionslinien, einem 120 m² Reinraum, Werkstätten für Metallbearbeitung und Elektrotechnik, einer Teststation und einem Innovationslabor (SEMPA LAB). Das Portfolio wird durch Bubbler-Fertigung (150 ml bis 3.950 ml), Sicherheitstechnologie (ECS1, CHEM'BOT EnMAT), Messtechnik (HiBarSens® Permeationsmessung), Anlageninstallation inklusive Orbitalschweißen sowie Wartung und 24/7-Service ergänzt. Kunden sind Unternehmen der Halbleiter-, LED-, Photovoltaik- und Pharma-Branche. Seit 2021 gehört SEMPA zur weltweit tätigen Meptagon Group.
- Standort
- Dresden
- Verfahren
- Design und Fertigung von Gasversorgungssystemen (GAS'BOT) für Bulk- und Spezialgase, Flüssigversorgungssysteme für Precursor-Chemikalien (CHEM'BOT, inkl. BULK- und EnMAT-Varianten), Verdampfungssysteme für Precursor (VAPOR'BOT: Verdampfer, Bubbler-Systeme, DLI-Einheiten,, Fertigung von Bubblern (Prozessbehälter zur Precursor-Verdampfung) mit elektropolierten Innenflächen, Orbitalschweißen von 1/8'' bis 8'' für Edelstahl und Anlagen in Hastelloy, Kupfer, Messing und Monel, Installation von Reinstmedienversorgungsleitungen in Edelstahl von 1/8'' bis 8'' sowie, Hook-up Installation von Prozessanlagen, Filterstationen, Rohrleitungsinstallationen,, Prüfungen: Dichtheitsprüfungen, Druck- und Vakuumtests, Feuchtigkeits- und Partikelmessungen,
- Werkstoffe
- Edelstahl, Edelstahl 316L, Hastelloy, Monel, Kupfer, Messing, Hochlegierter Stahl, TCC-Rohr
- Zertifikate
- DIN EN ISO 9001:2015, DIN EN ISO 14001:2015, DIN EN ISO 3834-3 (Schweißqualität), SEMI S2, EcoVadis "Committed", CE (ECS1), ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, DIN EN ISO 3834-3, EcoVadis Committed
- Gegründet
- 2001
- Mitarbeiter
- >200
- Branchen
- Halbleiter, LED/Photonik, Photovoltaik, Pharma, Lebensmittelverpackung, Flexible Elektronik (OLED/Organik)
- 01
Planung und mechanische/elektrische Konstruktion inkl. Software-Programmierung
- 02
Prototyping und Tests im SEMPA LAB
- 03
Fertigung der Systeme und Komponenten (Reinraum-Montage)
- 04
Prüfung und Qualifikation (Dichtheit, Druck-/Vakuumtests, Schweißnahtkontrolle)
- 05
Lieferung und Installation vor Ort (Orbitalschweißen)
- 06
Inbetriebnahme und Produktschulung
- 07
Wartung und 24/7-Service
Werkstoffe & Verfahren
Edelstahl 316L
Elektropolierte Innenflächen (Ra 0,6 µm) für ultrareine Bubbler und Prozessbehälter.
Edelstahl
Grundwerkstoff für Reinstmedienversorgungssysteme und Rohrleitungen von 1/8'' bis 8''.
Hastelloy
Werkstoff für korrosive Anwendungen beim Orbitalschweißen und Rohrleitungsbau.
Monel
Für Anlagen im Kontakt mit aggressiven Medien.
Kupfer
Werkstoff für Orbitalschweißanwendungen in der Anlageninstallation.
Messing
Werkstoff für spezielle Rohrleitungs- und Installationsanwendungen.
Hochlegierter Stahl
Einsatz im VAPOR'BOT SOLID für korrosive, feste Präkursoren bei Hochtemperaturbetrieb.
TCC-Rohr
Elektropoliertes Rohrmaterial für Bubbler mit ultrareiner Innenfläche.
Ultrabarrierematerial
Prüfgut für die HiBarSens®-Permeationsmessung (WVTR/OTR).
Standorte
Dresden
DEHauptsitz, Fertigung (2.000 m² Produktion, 120 m² Reinraum)
- Werkstoffe
- Edelstahl, 316L, hochlegierter Stahl
- Reinraum-Montage
- Werkstätten für Metallbearbeitung und Elektrotechnik
- Teststation
- SEMPA LAB Innovationslabor
Hermsdorf
DENiederlassung, Installation und Prüftests
- Werkstoffe
- Edelstahl
- Installation und Gebindewechsel für gefährliche Materialien
- Prüftests
Marktl/Inn
DENiederlassung, Sondermaschinenbau und Zerspanung
- Werkstoffe
- Edelstahl
- CNC-Lohnarbeiten
- Wasserstrahlschneiden
- Sondermaschinenbau
- Rohrleitungsmontagen
Reutlingen
DENiederlassung (in Eröffnung)
Bauteile & Systeme
Einblicke in die Fertigung
Branchen
Verfahren & technische Grenzen
| Verfahren | Toleranz | Max. Bauteil | Gewicht | Losgröße | Werkstoffe |
|---|---|---|---|---|---|
| Design und Fertigung von Gasversorgungssystemen (GAS'BOT) für Bulk- und SpezialgaseEngineering | – | – | – | – | Edelstahl |
| Flüssigversorgungssysteme für Precursor-Chemikalien (CHEM'BOT, inkl. BULK- und EnMAT-Varianten)Engineering | – | – | – | – | Edelstahl |
| Verdampfungssysteme für Precursor (VAPOR'BOT: Verdampfer, Bubbler-Systeme, DLI-Einheiten,Engineering | Lieferdruckregelung +/- 50 torr | 1600 mm × 2120 mm | ~ 400 kg | – | hochlegierter Stahl, Edelstahl |
| Fertigung von Bubblern (Prozessbehälter zur Precursor-Verdampfung) mit elektropolierten InnenflächenFügen | Ra 0,6 | – | 150 ml – 3.950 ml | – | Edelstahl 316L, TCC-Rohr |
| Orbitalschweißen von 1/8'' bis 8'' für Edelstahl und Anlagen in Hastelloy, Kupfer, Messing und MonelFügen | – | – | – | – | Edelstahl, Hastelloy, Kupfer, Messing, Monel |
| Installation von Reinstmedienversorgungsleitungen in Edelstahl von 1/8'' bis 8'' sowieMontage | – | – | – | – | Edelstahl |
| Hook-up Installation von Prozessanlagen, Filterstationen, Rohrleitungsinstallationen,Montage | – | – | – | – | Edelstahl |
| Prüfungen: Dichtheitsprüfungen, Druck- und Vakuumtests, Feuchtigkeits- und Partikelmessungen,Prüfung | – | – | – | – | – |
| Anlageninstallation und Inbetriebnahme von Reinstmedienversorgungssystemen inkl. SchulungMontage | – | – | – | – | – |
| Permeationsmessung an Ultrabarrierematerialien (HiBarSens, WVTR/OTR, TDLAS)Prüfung | – | Ø 195 mm | – | – | Ultrabarrierematerial |
| Sicherheitstechnologie: Emergency Cylinder Shutter ECS1 (automatisches mechanisches Absperrsystem)Engineering | – | 254 mm × 120 mm × 135 mm | 3.0 kg approx | – | Vollmetall |
| CNC-Lohnarbeiten (Niederlassung Marktl, ehem. Stefan Zettl GmbH)Zerspanung | – | – | – | – | – |
| Wasserstrahlschneiden (Niederlassung Marktl, ehem. Stefan Zettl GmbH)Zerspanung | – | – | – | – | – |
| Mechanische und elektrische Konstruktion/Software-Programmierung, Fertigung nach Plänen,Engineering | – | – | – | – | – |
| Sondermaschinenbau (Niederlassung Marktl, ehem. Stefan Zettl GmbH)Montage | – | – | – | – | Edelstahl |
| Rohrleitungsmontagen aus Edelstahl für Bulk- und SondergaseMontage | – | – | – | – | Edelstahl |
| Gebindewechsel für gefährliche Materialien, Prüftests (Niederlassung Hermsdorf)Montage | – | – | – | – | – |
| Reinraum-Montage und Qualifikation von Versorgungssystemen (Reinraum 120 qm, ProduktionsflächeMontage | – | – | – | – | – |
Zusatzleistungen
Referenzkunden
Qualität & Zertifizierung
SEMPA fertigt im eigenen Reinraum und prüft über Dichtheitsprüfungen, Druck- und Vakuumtests, Feuchtigkeits- und Partikelmessungen sowie Schweißnahtkontrollen mit Endoskopie und Durchstrahlung. Alle Systeme folgen einem strengen Entwurfskonzept mit garantierter Leistung.
| Nachweis | Dresden | Hermsdorf | Marktl/Inn | Reutlingen |
|---|---|---|---|---|
| ISO 9001:2015 | ||||
| ISO 14001:2015 | ||||
| DIN EN ISO 3834-3 | ||||
| SEMI S2 | ||||
| EcoVadis Committed |
Historie
- 2001
Gründung durch Kurt Pietsch, Hauptsitz Dresden und Niederlassung Thüringen
- 2005
Gründung der ersten Niederlassung, heute Hermsdorf/Thüringen
- 2006
Erste flüssige MO-Versorgungssysteme
- 2007
Markteintritt Asien
- 2009
Markteintritt USA
- 2011
Dr. Jörg Koch wird Geschäftsführer für Business Development
- 2013
Neue Produktionsstätte: 2.000 m² Fertigung, 120 m² Reinraum, 1.000 m² Büro
- 2018
Einführung einer neuen Produktfamilie
- 2021
Übernahme durch die Meptagon Group zum 1. November
- 2023
Neues Führungsteam (Koch, Schlamm, Kretzschmar, Scheumann)
- 2024
Spatenstich neue Produktionshalle; Niederlassungen Marktl/Inn und Reutlingen
- 2025
Einweihung der neuen Firmengebäude, Verdoppelung der Produktionskapazität