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Entwickelt und fertigt Instrumente, Komponenten und Systeme für Oberflächenanalyse, Elektronenspektroskopie und Dünnschichtdeposition in UHV.
SPECS Surface Nano Analysis GmbH
Berlin · Hünstetten · Zürich · Mansfield, MA (USA) · Peking (China)Neu auf Amplifa
Über SPECSGROUP
SPECS Surface Nano Analysis GmbH mit Sitz in Berlin entwickelt, konstruiert und produziert Instrumente, Komponenten und komplette Systeme für die Oberflächenwissenschaft, Materialforschung und Nanotechnologie. Zum Portfolio gehören Elektronenanalysatoren (PHOIBOS, ASTRAIOS), XPS-/NAP-XPS-Systeme (EnviroESCA, EnviroMETROS), LEED- und LEEM/PEEM-Systeme, UV-Quellen, Ionenquellen, Elektronenstrahl-Aufdampfquellen der EFM-Serie, Detektoren sowie Mess- und Steuerungssysteme (Nanonis) für SPM und Quantentransport. Die Fertigung umfasst Design, Fertigung von Bauteilen und Komponenten, Montage, Qualitätssicherung und Spezifikationsprüfung von UHV-Systemen; ergänzend werden kundenspezifische Systeme, Analytical Services, Reparaturen, Ersatzteile, Schulungen und Systemumzüge angeboten. Die Business Unit Focus in Hünstetten (ehemals FOCUS GmbH) ist spezialisiert auf Momentum-Mikroskopie (NanoESCA) und Depositionsquellen mit über 2000 installierten EFM-Instrumenten. Kunden stammen aus Forschung, Universitäten, Synchrotronen, Halbleiter-, Photovoltaik- und Quantentechnologie-Branchen. Die SPECSGROUP ist Teil von Lab14 (RSBG SE, RAG-Stiftung) und vertreibt weltweit über eigene Standorte in Deutschland, USA und China sowie ein internationales Vertreternetz. Seit fast 30 Jahren arbeitet das Unternehmen mit Wissenschaftlern weltweit zusammen.
- Standort
- Berlin
- Verfahren
- Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS/ESCA), NAP-XPS (Near Ambient Pressure XPS), HAXPES (µFOCUS 450 mit Titan-X-ray-Linie), ARPES (winkelaufgelöste Photoelektronenspektroskopie, 2D-Momentum Mapping), Elektronenstrahl-Aufdampfen (e-beam evaporation) für Dünnschichtabscheidung, Ion Beam Assisted Deposition (IBAD), Spin-aufgelöste Photoelektronenspektroskopie (3D-Spin Detection), Analytical Services (fallbezogene Analysen aus Produktportfolio)
- Werkstoffe
- Fe, Co, Cr, Mn, Ni, Pt, Ag, Au
- Zertifikate
- ISO 9001
- Branchen
- Oberflächenanalyse und Spektroskopie, Materialforschung, Nanotechnologie, Universitäten und Synchrotrone, Halbleiter, Photovoltaik
- 01
Design Engineering und kundenspezifische Systementwicklung
- 02
Fertigung und Einkauf von Teilen und Komponenten
- 03
Montage von UHV-Systemen und Komponenten
- 04
Qualitätssicherung und Spezifikationsprüfung
- 05
Inbetriebnahme, Service, Schulungen und Support
Werkstoffe und Verfahren
Ultrahochvakuum-Systeme
Design, Fertigung, Montage und QA von UHV-Komponenten und -Systemen für Oberflächenanalyse.
Elektronenstrahl-Aufdampfen (e-beam evaporation)
Abscheidung hochreiner Dünnschichten aus Metallen und Halbleitern im UHV (bis unter 10-10 mbar).
Ion Beam Assisted Deposition
Schicht-für-Schicht-Wachstum kontrolliert assistierter Deposition (EFM 3i).
Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS/ESCA)
Zerstörungsfreie chemische Oberflächenanalyse, auch unter Umgebungsdruck (NAP-XPS, HAXPES).
Winkelaufgelöste Photoelektronenspektroskopie
2D-Momentum-Mapping mit k-Auflösung unter 0,003 Å-1 (ASTRAIOS 190).
Standorte
Berlin
DEZentrale und Fertigung: SPECS Surface Nano Analysis GmbH, Voltastrasse 5, Technologiepark Humboldthain
- Werkstoffe
- UHV-Komponenten, Elektronenanalysatoren, XPS-Systeme, Detektoren
- EnviroESCA (Proben bis Ø 120 mm, 40 mm Höhe)
- PHOIBOS 100/150/225 Elektronenanalysatoren
- ASTRAIOS 190 ARPES-Analysator
- ErLEED 100/150
- FE-LEEM/PEEM P90
- UVS-Quellenserie
- METIS 1000 / TOF MARIS
- 2D-CMOS Detektor
Hünstetten
DEBusiness Unit Focus (ehem. FOCUS GmbH): Momentum-Mikroskopie und Depositionsquellen, Neukirchner Str. 2
- Werkstoffe
- Elektronenstrahl-Aufdampfquellen, Spin-Detektoren
- EFM-Serie (EFM 3/3s/4/3Ts/3i), 100–3300 °C, UHV unter 10-10 mbar
- NanoESCA Momentum Microscope
- Ferrum VLEED Spin-Detektor
Zürich
CHSPECS Zurich GmbH: Software- und Elektronikentwicklung Nanonis (Technoparkstrasse 1)
- Nanonis Mess- und Steuerungssysteme, 6. Generation
Mansfield, MA
USSPECS-TII Inc.: Vertrieb und Service USA
Peking
CNSPECS-TII Technology Beijing Co., Ltd.: Vertrieb und Service China
Produkte und Bauteile
Einblicke in die Fertigung
Branchen
Verfahren & technische Grenzen
| Verfahren | Toleranz | Max. Bauteil | Gewicht | Losgröße | Werkstoffe |
|---|---|---|---|---|---|
| Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS/ESCA)Prüfung | – | – | – | – | Metalle, Halbleiter, Polymere, Keramik, Flüssigkeiten |
| NAP-XPS (Near Ambient Pressure XPS)Prüfung | – | – | – | – | – |
| HAXPES (µFOCUS 450 mit Titan-X-ray-Linie)Prüfung | – | – | – | – | – |
| ARPES (winkelaufgelöste Photoelektronenspektroskopie, 2D-Momentum Mapping)Prüfung | k-resolution < 0.003 Å-1 | – | – | – | – |
| Elektronenstrahl-Aufdampfen (e-beam evaporation) für DünnschichtabscheidungOberfläche | – | – | – | – | Fe, Co, Cr, Mn, Ni, Pt, Ag, Au, Al, Ti, Ta, W, Silicium, organische Moleküle |
| Ion Beam Assisted Deposition (IBAD)Oberfläche | – | – | – | – | – |
| Spin-aufgelöste Photoelektronenspektroskopie (3D-Spin Detection)Prüfung | Winkelauflösung ≤ 0.3° | – | – | – | Au, Graphene auf Ir(111) |
| Analytical Services (fallbezogene Analysen aus Produktportfolio)Prüfung | – | – | – | – | – |
| Engineering: Design, Fertigung, Montage und QA von UHV-Systemen und -KomponentenEngineering | – | – | – | – | – |
| Reparaturen, Ersatzteile, Schulungen, Systemumzüge und InbetriebnahmeMontage | – | – | – | – | – |
13 Anlagen & Maschinen
| Maschine | Hersteller / Modell | Anzahl | Arbeitsraum | Baujahr | Standort |
|---|---|---|---|---|---|
| XPS/ESCA Umgebungsdruck-Analysesystem | SPECS EnviroESCA | – | Proben bis Ø 120 mm und 40 mm Höhe | – | Berlin |
| 2D-Momentum-Mapping-Elektronenanalysator (ARPES) | SPECS ASTRAIOS 190 | – | Akzeptanzwinkel ±30°, Analysatorradius 190 mm, Pass Energy 1-200 eV, kinetische Energie 0,5-1500 eV | – | Berlin |
| Elektronenstrahl-Aufdampfquelle (E-Beam Evaporator) | FOCUS EFM 3 / EFM 3s / EFM 4 / EFM 3Ts / EFM 3i | über 2000 | Temperaturen 100 °C – 3300 °C, UHV unter 10-10 mbar | – | Hünstetten |
| Elektronenanalysatoren (Hemispherical Energy Analyzer) | SPECS PHOIBOS 100/150/225 | – | – | – | Berlin |
| LEED-System (ErLEED) | SPECS ErLEED 100 / 150 | – | – | – | Berlin |
| LEEM/PEEM System | SPECS FE-LEEM/PEEM P90 / P90 NAP | – | – | – | Berlin |
| SPM-System (Rastersondenmikroskopie) mit Mess- und Steuerungssystem | Nanonis Nanonis 6. Generation | – | – | – | Berlin / Zürich |
| Momentum Microscope | FOCUS NanoESCA | – | – | – | Hünstetten |
| UV-Quelle (UPS/ARPES) | SPECS UVS 10/35, UVS 300, UVLS | – | – | – | Berlin |
| TOF-Spektrometer (Time-of-Flight) | SPECS METIS 1000 / TOF MARIS | – | – | – | Berlin |
| 2D-Detektor mit CMOS-Kamera und GPU-Pulszählung | SPECS 2D-CMOS Detector | – | – | – | Berlin |
| Spin-Detektor (VLEED) | FOCUS Ferrum VLEED | – | – | – | Hünstetten |
| 1D-Delay-Line-Detektor | SPECS/Surface Concept 1D-DLD | – | 124 oder 200 parallele Kanäle | – | Berlin |
Zusatzleistungen
Qualität
SPECS arbeitet nach zertifiziertem Qualitätsmanagement (ISO 9001); jedes System durchläuft Montage, Qualitätssicherung und Spezifikationsprüfung vor Auslieferung. Service, Reparaturen und Ersatzteilversorgung – auch für Geräte über 20 Jahre alt – sichern langfristigen Betrieb.
| Nachweis | Berlin |
|---|---|
| ISO 9001 |
Historie
- 1991
Beginn des Baus der EFM-Evaporatoren durch FOCUS; Service, Ersatzteile und Support für alle seitdem gebauten EFM-Geräte
SPECS baut seit fast 30 Jahren Instrumente für Oberflächenwissenschaft, Materialforschung und Nanotechnologie
- 2024
Business Unit Focus (ehemals FOCUS Geräte GmbH, Hünstetten) wird als neueste Ergänzung Teil der SPECSGROUP