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Modulare Robotik und Handling-Systeme für Wafer und Substrate im Hochvakuum
Adenso Industrial Services GmbH
01468 Moritzburg (OT Boxdorf / Dresden) · DeutschlandNeu auf Amplifa
Über Adenso
Adenso entwickelt und fertigt modulare Robotik- und Handlingsysteme für den Einsatz im Hochvakuum, mit Fokus auf Optik-, Solar- und Halbleiterindustrie. Das Portfolio umfasst das WHM WaferHandling.Module für Waferhandhabung, den PHM Panel Handling Robot vom Typ ULTRA STROKE für dünne, großformatige Substrate sowie das Modul adON für Heiz-, Kühl- und Flipprozesse (adHEAT). Ergänzt werden die Hardwarekomponenten durch Softwarelösungen: adCONTROL als Cluster Control System, adCLUSTER für Multi-Cluster-Anwendungen und adVAC zur Vakuumdruckregelung. Über den ROBOT.Configurator entstehen individuelle Roboterlösungen für Forschung und Produktion, inklusive Inbetriebnahme und Service. Das Unternehmen aus Moritzburg bei Dresden (Silicon Saxony) bedient neben Halbleiterfertigung auch die Bereiche Quantum-Technologie, Advanced Packaging und Photonik (PIC), etwa beim Handling von UltraThin-Substraten.
- Standort
- Moritzburg
- Verfahren
- WHM Wafer Handling Module (Waferhandling im Hochvakuum), PHM Panel Handling Robot – ULTRA STROKE-Typ (Handling dünner, großformatiger Substrate), adON: Heating, Cooling, Flipping Module, adCLUSTER / Advanced MULTI.CLUSTER Solutions (Cluster-Systeme), adCONTROL Cluster Control System (Software.Solutions), adVAC Advanced Vacuum Pressure Control, ROBOT.Configurator (individuelle Roboterlösungen für Optik, Solar- und Halbleiterindustrie), Modulare Robotik im Hochvakuum
- Werkstoffe
- Wafer, Substrate (UltraThin), Wafer Handling Module (WHM), PHM Panel Handling Robot (ULTRA STROKE), Heating, Cooling, Flipping Module (adON/adHEAT)
- Branchen
- Halbleiterindustrie, Optik, Solar, Quantum-Technologie, Advanced Packaging, Photonik (PIC)
- 01
Entwicklung und Konstruktion
- 02
Fertigung und Montage
- 03
Softwareintegration
- 04
Inbetriebnahme
- 05
Service
Produkte und Handled Materialien
Wafer Handling Module (WHM)
Modulares Handlingsystem für Wafer im Hochvakuum.
PHM Panel Handling Robot (ULTRA STROKE)
Präzises Handling dünner, großformatiger Substrate.
Heating, Cooling, Flipping Module (adON/adHEAT)
Modul für Heiz-, Kühl- und Wendeprozesse im Prozessumfeld.
Standort
Moritzburg (OT Boxdorf / Dresden)
DEHauptsitz, Entwicklung und Fertigung
- Werkstoffe
- Wafer, Substrate (UltraThin)
- WHM WaferHandling.Module
- PHM Panel Handling Robot ULTRA STROKE
- adHEAT / adON Heiz-/Kühlmodule
Branchen
Verfahren & technische Grenzen
| Verfahren | Toleranz | Max. Bauteil | Gewicht | Losgröße | Werkstoffe |
|---|---|---|---|---|---|
| WHM Wafer Handling Module (Waferhandling im Hochvakuum)Montage | – | – | – | – | Wafer, Substrate |
| PHM Panel Handling Robot – ULTRA STROKE-Typ (Handling dünner, großformatiger Substrate)Montage | – | – | – | – | Substrate, Wafer |
| adON: Heating, Cooling, Flipping ModuleMontage | – | – | – | – | – |
| adCLUSTER / Advanced MULTI.CLUSTER Solutions (Cluster-Systeme)Montage | – | – | – | – | – |
| adCONTROL Cluster Control System (Software.Solutions)Engineering | – | – | – | – | – |
| adVAC Advanced Vacuum Pressure ControlEngineering | – | – | – | – | – |
| ROBOT.Configurator (individuelle Roboterlösungen für Optik, Solar- und Halbleiterindustrie)Montage | – | – | – | – | – |
3 Anlagen & Maschinen
| Maschine | Hersteller / Modell | Anzahl | Arbeitsraum | Baujahr | Standort |
|---|---|---|---|---|---|
| Wafer Handling Module (WHM) | Adenso WHM WaferHandling.Module | – | Hochvakuum | – | Dresden/Moritzburg |
| Panel Handling Robot | Adenso PHM ULTRA STROKE | – | großformatige Substrate | – | Dresden/Moritzburg |
| Heiz-/Kühlmodule | Adenso adHEAT / adON | – | – | – | Dresden/Moritzburg |
Zusatzleistungen
Historie
- 26.06.2026
Ankündigung: UltraThin Substrate Handling für Quantum, PIC und Advanced Packaging
- 24.11.2025
Vorstellung PHM Panel Handling Robot – ULTRA STROKE-Typ
- 2025 (News)
adHEAT-Präsentation auf der SEMICON EU 2025