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Entwicklung und Bau individueller Prüf-, Prozess- und Sonderanlagen für Hochdruck, Vakuum und Hochtemperatur.
aprotec GmbH
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Über aprotoc
Die aprotoc GmbH ist ein technischer Problemlöser für Prüf- und Prozesstechnik. Das Unternehmen entwickelt und fertigt seit über einem Jahrzehnt maßgeschneiderte Prüf- und Testanlagen, Prozessanlagen sowie Sondermaschinen für anspruchsvolle industrielle Prüf- und Fertigungsprozesse. Die Anlagen decken extreme Betriebsbereiche ab, darunter Drücke bis 3000 bar in der Hydraulik, Temperaturen bis 2500 °C, Leckraten bis 10^-10 sowie Messpräzisionen bis 50 nm. Typische Anwendungen sind Helium-Dichtheitsprüfungen, Hochdruck-Prüfstände, Funktions- und Geometrieprüfungen sowie automatisierte Messanlagen wie die WaferVision HSM-200. Jede Anlage wird exakt auf Anforderungen, Prozesse und Einsatzbereiche des Kunden abgestimmt und von der Idee bis zur Inbetriebnahme aus einer Hand geliefert. Abnehmerbranchen sind Halbleiterindustrie, Luft- und Raumfahrt sowie Verteidigung, Automobil, Energie, Subsea und Medizintechnik.
- Verfahren
- Helium-Dichtheitsprüfung (Vollautomatische Funktions- und Sitzdichtheitsprüfung für, Hochdruck-Prüfung (Tiefseesimulator, Prüfdruck 800 bar), Dichtheitsprüfung von Treibstoffleitungen (Geometrie- und Dichtheitsprüfung), Dichtheits- und Funktionsprüfung von Ventilen (sicherheitskritische Bauteile), Prüfung auf Dichtheit von chemischen Sauerstoffgeneratoren, Geometrieprüfung bei engsten Toleranzen (mit 50 nm Präzision), Wafer-Messung (ISO 5 reinraumtaugliche High-Speed-Messanlage WaferVision HSM-200, 130 Wafer/h, 50, Zonenschmelzen (Reinigung von Halbleitermaterialien durch Schmelzen und Erstarren)
- Werkstoffe
- Halbleitermaterialien, Helium (Prüfgas, 10^-5 bzw. 10^-6 mbar·l/s Leckrate nachweisbar), Helium-Dichtheitsprüfung, Wafer-Messtechnik, Hochdrucktechnik, Hochtemperaturtechnik, Vakuumtechnik, Zonenschmelzen
- Zertifikate
- Anlagen-Auslegung nach AS9100/MIL-SPEC
- Branchen
- Halbleiterindustrie, Luft- und Raumfahrt & Verteidigung, Automobilindustrie, Energie, Subsea, Medizintechnik
- 01
Beratung und Anforderungsanalyse
- 02
Engineering und Auslegung
- 03
Anlagenbau (Prüf-, Prozess- und Sonderanlagen)
- 04
Inbetriebnahme
- 05
Integration in Fertigungslinien
Technologien und Prüfverfahren
Helium-Dichtheitsprüfung
Prüfgas zum Nachweis von Leckraten bis 10^-6 mbar·l/s (je nach Anlage 10^-5 bzw. 10^-6 mbar·l/s).
Wafer-Messtechnik
ISO 5 reinraumtaugliche Hochgeschwindigkeitsmessung von 4"–8" Wafern mit 50 nm Wiederholgenauigkeit.
Hochdrucktechnik
Prüfstände für Drücke bis 3000 bar (Hydraulik) bzw. 800 bar im Tiefseesimulator.
Hochtemperaturtechnik
Prozessanlagen für Anwendungen bis 2500 °C.
Vakuumtechnik
Anlagenkomponente für Prüf- und Prozessanwendungen unter Vakuum.
Zonenschmelzen
Reinigung von Halbleitermaterialien durch Aufschmelzen und Erstarren in einer schmalen Schmelzzone.
Standorte
- Helium-Dichtheitsprüfanlage (8 s Taktzeit, 10^-5 mbar·l/s, 95 bar)
- Helium-Dichtheitsprüfanlage (8 s Taktzeit, 10^-6 mbar·l/s, 5 bar, 10 % Helium)
- Hochdruck-Prüfstand Tiefseesimulator (800 bar)
- High-Speed-Messanlage WaferVision HSM-200 (130 Wafer/h, 50 nm)
- Zonenschmelzanlage
Branchen
Verfahren & technische Grenzen
| Verfahren | Toleranz | Max. Bauteil | Gewicht | Losgröße | Werkstoffe |
|---|---|---|---|---|---|
| Helium-Dichtheitsprüfung (Vollautomatische Funktions- und Sitzdichtheitsprüfung fürPrüfung | – | – | – | – | – |
| Hochdruck-Prüfung (Tiefseesimulator, Prüfdruck 800 bar)Prüfung | – | – | – | – | – |
| Dichtheitsprüfung von Treibstoffleitungen (Geometrie- und Dichtheitsprüfung)Prüfung | – | – | – | – | – |
| Dichtheits- und Funktionsprüfung von Ventilen (sicherheitskritische Bauteile)Prüfung | – | – | – | – | – |
| Prüfung auf Dichtheit von chemischen SauerstoffgeneratorenPrüfung | – | – | – | – | – |
| Geometrieprüfung bei engsten Toleranzen (mit 50 nm Präzision)Prüfung | 50 nm | – | – | – | – |
| Wafer-Messung (ISO 5 reinraumtaugliche High-Speed-Messanlage WaferVision HSM-200, 130 Wafer/h, 50Prüfung | 50 nm | – | – | – | Wafer |
| Zonenschmelzen (Reinigung von Halbleitermaterialien durch Schmelzen und Erstarren)Wärmebehandlung | – | – | – | – | Halbleitermaterialien |
| Sondermaschinenbau (individuelle Prüf-, Prozess- und Sonderanlagen)Engineering | – | – | – | – | – |
| Prozessanlagen (industrielle, biologische und thermische Anwendungen)Engineering | – | – | – | – | – |
5 Anlagen & Maschinen
| Maschine | Hersteller / Modell | Anzahl | Arbeitsraum | Baujahr | Standort |
|---|---|---|---|---|---|
| Helium-Dichtheitsprüfanlage (Funktions- und Sitzdichtheitsprüfung) | aprotec | – | Taktzeit 8 s je Bauteil, 10^-5 mbar·l/s Leckrate, 95 bar Prüfdruck | – | – |
| Hochdruck-Prüfstand (Tiefseesimulator) | aprotec | – | 800 bar Prüfdruck, enormes Prüfraumvolumen | – | – |
| High-Speed-Messanlage für Wafer | aprotec WaferVision HSM-200 | – | ISO 5 reinraumtauglich, 130 Wafer/h, 50 nm Wiederholgenauigkeit, 4"–8" Wafer | – | – |
| Zonenschmelzanlage | aprotec | – | schmale Schmelzzone, Reinigung von Halbleitermaterialien | – | – |
| Helium-Dichtheitsprüfanlage | aprotec | – | Taktzeit 8 s je Bauteil, 10^-6 mbar·l/s Leckrate, 5 bar Prüfdruck mit 10 % Helium | – | – |
Zusatzleistungen
Qualität
Die Anlagen werden auf normkonforme Prüfprozesse (z. B. AS9100, MIL-SPEC) ausgelegt, mit dokumentierten, reproduzierbaren Prüfergebnissen und lückenloser Rückverfolgbarkeit für kritische Bauteile.
| Nachweis | Unternehmen |
|---|---|
| Anlagen-Auslegung nach AS9100/MIL-SPEC |
Unternehmenshistorie
Gründung des Unternehmens; seit über einem Jahrzehrt Erfahrung in Prüf- und Prozesstechnik