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Prozessanlagen für nasschemische Anwendungen: Nassprozessanlagen, Chemieversorgungssysteme und Sonderanlagen aus eigener Fertigung.
atp GmbH
Ötzingen, WesterwaldNeu auf Amplifa
Über die atp GmbH
Die atp GmbH (advanced technology process) entwickelt und fertigt seit 1992 Prozess-, Produktions- und Laboranlagen für die Halbleiterindustrie, Solarindustrie und den Sondermaschinenbau. Das Leistungsspektrum umfasst Nassprozessanlagen (manuelle Nassbänke, halbautomatische und automatische Anlagen zum Ätzen und Reinigen von Siliziumwafern bis 12"), Chemieversorgungssysteme in redundantem Aufbau, Misch- und Dosiersysteme, Entsorgungsmodule, Trocknungssysteme wie IPA-Trockner und Spin Rinse Dryer sowie kundenspezifische Sonderanlagen wie Tube Cleaner für Quarzrohre und Anlagen zur Abwasserneutralisation. Sämtliche Schritte der Prozesskette – Planung, Konstruktion, Verfahrens- und Elektrotechnik, SPS-Programmierung, Fertigung, Abnahme und Inbetriebnahme – erfolgen im eigenen Haus. Der Standort Ötzingen im Westerwald bietet 1.200 m² Produktionsfläche sowie einen 60 m² Reinraum für die Endmontage. Zusätzlich realisiert das Unternehmen Refurbishment von Legacy-Tools (SAT/SST).
- Standort
- Ötzingen
- Verfahren
- Nassprozessanlagen / Nassbänke (Ätzen und Reinigen von Siliziumwafern), Manuelle Nassprozessanlagen, Halbautomatische Nassprozessanlagen / Front-End-Reinigungsanlage, Automatische Nassbank, Laborabzüge für Reinraum- und Laborbereiche, Chemieversorgungssysteme (Reinstchemikalienversorgung), Entsorgungsmodule (Entsorgungskabinette für Säuren/Laugen, Lösemittel), Misch- und Dosiersysteme für Ätzlösungen (Lösemittel, Laugen)
- Werkstoffe
- Siliziumwafer, Quarz (Prozessrohre), PFA (medienberührend, Verrohrung), PVDF, PP (PP-weiss, FM4910), PE, PVC weiss (FM4910), Kunststoffkomponenten und Baugruppen (SemiPlast-Kooperation)
- Zertifikate
- Reinraum-Endmontage
- Gegründet
- 1992
- Branchen
- Halbleiterindustrie, Solarindustrie, Sondermaschinenbau, Forschung & Entwicklung, Medizintechnik, Automotive
- 01
Planung & Konstruktion
- 02
Verfahrens- & Elektrotechnik (EMSR)
- 03
Programmierung & Automatisierung (SPS)
- 04
Fertigung & Reinraummontage
- 05
Installation & Inbetriebnahme
- 06
Service & Support
Werkstoffe & Verfahrenstechnik
PFA
Medienberührende Komponenten und Verrohrung in Chemieversorgungssystemen.
PVDF
Medienberührte Verrohrung, Ventile und Gehäusekomponenten für Reinstchemikalien.
PP-weiss (FM4910)
Gehäuse der Chemieversorgungssysteme mit Sicherheitsauffangwanne und Leckagesensor.
PE
Medienberührende Komponenten in Chemieversorgungssystemen.
PVC weiss (FM4910)
Gehäuseausführung für Entsorgungs- und Versorgungsmodule.
Quarz
Prozessrohre in Tube Cleanern zur Rohrreinigung.
Siliziumwafer
Ätzen und Reinigen von Wafern bis 12" in Nassprozessanlagen.
Kunststoffkomponenten & Baugruppen
Fertigung und Montage durch die SemiPlast-Kooperation.
Standort Ötzingen
Ötzingen
DEProduktion, Engineering, Reinraum-Endmontage
- Werkstoffe
- PFA, PVDF, PP, PE, PVC, Quarz
- Manuelle Nassprozessanlage MWP new generation
- Halbautomatische Nassprozessbank (bis 12" Wafer)
- Automatische Nassbank
- Laborabzüge
- Chemieversorgungssystem smart line (200–1000 L)
- Entsorgungskabinette für Säuren/Laugen und Lösemittel
- Misch- und Dosiersystem atp smart line
- IPA-Trockner (bis 8" Wafer)
- Spin Rinse Dryer
- SAT- und SST-Anlagen
- Horizontal Tube Cleaner
- Vertikale Quarzrohrreinigungsanlage
- 60 m² Reinraum für Endmontage
Einblicke in die Fertigung
Branchen
Verfahren & technische Grenzen
| Verfahren | Toleranz | Max. Bauteil | Gewicht | Losgröße | Werkstoffe |
|---|---|---|---|---|---|
| Nassprozessanlagen / Nassbänke (Ätzen und Reinigen von Siliziumwafern)Oberfläche | – | – | – | – | Siliziumwafer |
| Manuelle NassprozessanlagenOberfläche | – | – | – | – | Silizium |
| Halbautomatische Nassprozessanlagen / Front-End-ReinigungsanlageOberfläche | – | Wafer bis 12" | – | – | Silizium |
| Automatische NassbankOberfläche | – | – | – | – | Silizium |
| Laborabzüge für Reinraum- und LaborbereicheOberfläche | – | – | – | – | – |
| Chemieversorgungssysteme (Reinstchemikalienversorgung)Engineering | – | – | – | Chemikalienversorgung 200 L – Chemikalienversorgung 1000 L | PFA, PVDF, PP, PE |
| Entsorgungsmodule (Entsorgungskabinette für Säuren/Laugen, Lösemittel)Engineering | – | – | – | 200 L – 1000 L | – |
| Misch- und Dosiersysteme für Ätzlösungen (Lösemittel, Laugen)Engineering | – | – | – | – | – |
| IPA-Trockner für WaferOberfläche | – | Wafer bis 8" | – | – | Silizium |
| Spin Rinse DryerOberfläche | – | – | – | – | Silizium |
| Refurbishment von Legacy-Tools (SAT-/SST-Anlagen) mit neuer Steuerung und VisualisierungEngineering | – | – | – | – | – |
| SAT-Anlagen (Sprühanlagen für Ätz-/Reinigungsaufgaben, Oxidschichtentfernung, Fotoresist-Stripping,Oberfläche | – | – | – | – | Silizium |
| SST-AnlagenOberfläche | – | – | – | – | – |
| Tube Cleaner zur Reinigung von Quarzrohren (horizontal/vertikal)Oberfläche | – | – | – | – | Quarz |
| Anlagen zur Neutralisation und Filtration chemischer AbwässerEngineering | – | – | – | – | – |
| Prozesslösungen für CMP-AbwässerEngineering | – | – | – | – | – |
| Kundenspezifische Sonderanlagen für Oberflächenbehandlung und nasschemische ProzesseEngineering | – | – | – | – | – |
| Nassprozessanlagen für die SolarzellenfertigungOberfläche | – | – | – | – | Silizium |
| Planung & Konstruktion / mechanische KonstruktionEngineering | – | – | – | – | – |
| Verfahrens- & Elektrotechnik (Anlagenaufbau, EMSR-Technik)Engineering | – | – | – | – | – |
| Programmierung & Automatisierung (Schaltplanerstellung, SPS-Programmierung)Engineering | – | – | – | – | – |
| Installation, Inbetriebnahme, Reinraummontage & ServiceMontage | – | – | – | – | – |
17 Anlagen & Maschinen
| Maschine | Hersteller / Modell | Anzahl | Arbeitsraum | Baujahr | Standort |
|---|---|---|---|---|---|
| Manuelle Nassprozessanlage / Nassbank | atp GmbH MWP new generation | – | – | – | Ötzingen |
| Halbautomatische Nassprozessbank | atp GmbH | – | Reinigungstool bis 12" Wafer; Etch tool für 6"/8" Wafer | – | Ötzingen |
| Automatische Nassbank | atp GmbH | – | – | – | Ötzingen |
| Laborabzug | atp GmbH | – | – | – | Ötzingen |
| Chemieversorgungssystem | atp GmbH smart line | – | Chemikalienversorgung 200–1000 L | – | Ötzingen |
| Entsorgungskabinett Säure/Laugen | atp GmbH | – | 200 L und 1000 L | – | Ötzingen |
| Entsorgungskabinett Lösemittel | atp GmbH | – | – | – | Ötzingen |
| Misch- und Dosiersystem | atp GmbH atp smart line | – | – | – | Ötzingen |
| IPA-Trockner | atp GmbH | – | Wafer bis 8" | – | Ötzingen |
| Spin Rinse Dryer | atp GmbH | – | – | – | Ötzingen |
| SAT-Anlage (Sprühätz-/Reinigungsanlage) | atp GmbH | – | – | – | Ötzingen |
| SST-Anlage | atp GmbH | – | – | – | Ötzingen |
| Horizontal Tube Cleaner (Quarzrohrreinigung) | atp GmbH | – | – | – | Ötzingen |
| Vertikale Quarzrohrreinigungsanlage | atp GmbH | – | – | – | Ötzingen |
| SPS-Steuerung mit Visualisierung | Siemens TIA Portal | – | – | – | – |
| Pneumatikkomponenten | Festo / SMC | – | – | – | – |
| Reinraum für Endmontage | – | 1 | 60 m² Reinraum; 1.200 m² Produktionsfläche | – | Ötzingen |
Zusatzleistungen
Qualität
Engineering, Konstruktion, Prozessentwicklung, Automatisierung und Fertigung greifen eng ineinander, damit reproduzierbare Prozesslösungen entstehen; sensible Anlagen werden in einem eigenen 60 m² Reinraum endmontiert.
| Nachweis | Ötzingen |
|---|---|
| Reinraum-Endmontage |
Unternehmenshistorie
- 1992
Gründung der atp GmbH durch Peter Becker und Michael Manns in Wirges, Westerwald.
- 1995
Produktionsstart am Standort Ötzingen.