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Entwickelt und fertigt integrierte Kathodolumineszenz-Systeme zur zerstörungsfreien Defektprüfung an Halbleitern und Wafern.
Attolight AG
Ecublens (Schweiz) · Cambridge, MA (USA)Neu auf Amplifa
Über Attolight
Attolight ist ein 2008 gegründetes Schweizer Unternehmen mit Sitz in Ecublens, das Kathodolumineszenz-Instrumente (CL) für die Materialcharakterisierung und Defektprüfung entwickelt und fertigt. Das Unternehmen ist der einzige Anbieter von voll integrierten CL-Systemen, bei denen Elektronen- und Lichtoptik gemeinsam konstruiert und optimiert werden. Das Portfolio umfasst die multispektroskopische CL-SEM-Plattform Allalin, das CL-Add-on für STEM (Mönch) sowie das Vollwafer-CL-SEM-System Säntis 300; das System Allalin Chronos ermöglicht zeitauflösende CL-Messungen im Pikosekundenbereich. Die Technologie wird unter anderem von Halbleiterherstellern und Forschungsinstituten in den Bereichen Optoelektronik, Datenkommunikation, Quantentechnologien, Life Science und Energiewerkstoffe eingesetzt; weltweit sind über 30 Systeme installiert. Neben dem Gerätegeschäft bietet Attolight Messdienstleistungen, Wartung und Support sowie spezifische Entwicklungs- und Engineering-Leistungen an.
- Standort
- Ecublens
- Verfahren
- Cathodoluminescence (CL) Defect Inspection / Materials Characterization, Panchromatic CL Imaging, Cathodoluminescence Spectroscopy, Quantitative Cathodoluminescence (q-CL), Time-Resolved Cathodoluminescence (TRCL, <10ps), EBIC/EBAC Imaging, Degree of Polarization (DoP) CL, Hyperspectral Imaging
- Werkstoffe
- Phosphide semiconductors (InP), Nitride semiconductors (GaN, InGaN), Silicon carbide (SiC), Silicon and alloys, Oxide semiconductors (ZnO, SnO2), II-VI semiconductors (CdTe, CdS, CIGS), Transition metal dichalcogenides, Halide perovskites
- Zertifikate
- Globales Support-Netzwerk mit garantierten Reaktionszeiten, Zertifizierungen (z. B. ISO 9001)
- Gegründet
- 2008
- Branchen
- Halbleiter, Optoelektronik, Datenkommunikation, Quantentechnologien, Life Science, Energiewerkstoffe (Photovoltaik, Dünnschichtbatterien)
- 01
F&E und Entwicklung von Elektronen- und Lichtoptik
- 02
Gerätebau und Systemintegration
- 03
Messdienstleistungen
- 04
Wartung, Support und Engineering-Dienstleistungen
Standorte
Ecublens
CHZentrale (HQ), F&E und Gerätebau
- Allalin – Multi Spectroscopic CL SEM Platform
- Mönch – CL Add-On für STEM
- Säntis 300 – Full Wafer CL SEM
- Allalin Chronos – Time-Resolved CL
Cambridge, MA
USTochtergesellschaft für den nordamerikanischen Markt (Service und Support)
Produkte
Einblicke in die Fertigung
Branchen
Verfahren & technische Grenzen
| Verfahren | Toleranz | Max. Bauteil | Gewicht | Losgröße | Werkstoffe |
|---|---|---|---|---|---|
| Cathodoluminescence (CL) Defect Inspection / Materials CharacterizationPrüfung | – | – | – | – | Halbleiter, Optoelektronische Materialien, Anorganische Materialien, Nitride semiconductors, Phosphide semiconductors, Arsenide semiconductors, Oxide semiconductors, Silicon carbide, Silicon and alloys, Diamond, II-VI semiconductors, Transition metal dichalcogenides, Halide perovskites, Rare-earth doped phosphors, Polymers & Biopolymers, Plasmonic/metamaterials |
| Panchromatic CL ImagingPrüfung | – | – | – | – | Nitride semiconductors, Phosphide semiconductors, Silicon carbide |
| Cathodoluminescence SpectroscopyPrüfung | – | – | – | – | Halbleiter, Optoelektronische Materialien |
| Quantitative Cathodoluminescence (q-CL)Prüfung | – | – | – | – | Nitride semiconductors, Phosphide semiconductors, Halide perovskites |
| Time-Resolved Cathodoluminescence (TRCL, <10ps)Prüfung | – | – | – | – | Halide perovskites, Nitride semiconductors, Oxide semiconductors |
| EBIC/EBAC ImagingPrüfung | – | – | – | – | Halbleiter |
| Degree of Polarization (DoP) CLPrüfung | – | – | – | – | Halbleiter |
| Hyperspectral ImagingPrüfung | – | – | – | – | Transition metal dichalcogenides, Oxide semiconductors, Halide perovskites |
| Cathodoluminescence g(2) AutocorrelationPrüfung | – | – | – | – | – |
| In-SEM Electrical Probing (Nanoprobing)Prüfung | – | – | – | – | Halbleiter |
| Cryogenic Cathodoluminescence (Cryo-CL, bis 10 K)Prüfung | – | – | – | – | Halbleiter |
| In-SEM Raman spectroscopyPrüfung | – | – | – | – | – |
| CL-STEM (Correlative STEM-CL)Prüfung | – | – | – | – | hBN, Halide perovskites |
| Measurement Services (CL-Analysen als Dienstleistung)Prüfung | – | – | – | – | Halbleiter, Optoelektronische Materialien, Anorganische Materialien |
| Custom Equipment Design / Software CustomizationEngineering | – | – | – | – | – |
| Maintenance and Support ServicesEngineering | – | – | – | – | – |
4 Anlagen & Maschinen
| Maschine | Hersteller / Modell | Anzahl | Arbeitsraum | Baujahr | Standort |
|---|---|---|---|---|---|
| Multi Spectroscopic CL SEM Platform | Attolight Allalin | – | – | – | Ecublens, Switzerland (HQ) |
| CL Add-On for STEM | Attolight Mönch | – | – | – | – |
| Full wafer CL SEM | Attolight Säntis 300 | – | Full wafer | – | – |
| Allalin Chronos TRCL (Time-Resolved CL) | Attolight Allalin Chronos | – | – | – | – |
Zusatzleistungen
Referenzkunden
Qualität & Support
Die proprietären, patentierten optischen Designs gewährleisten reproduzierbare und quantitative Messungen ohne Intensitäts- oder Auflösungsartefakte. Ein globales Support-Netzwerk mit lokalen Ingenieuren, garantierten Reaktionszeiten und Ersatzteillager sichert den Betrieb der Systeme.
| Nachweis | Ecublens |
|---|---|
| Globales Support-Netzwerk mit garantierten Reaktionszeiten | |
| Zertifizierungen (z. B. ISO 9001) |
Historie
- 2008
Attolight wurde von Samuel Sonderegger gegründet.
Transformation der Produkte von manuellen Labor- und FA-Werkzeugen zu Vollwafer-Halbleiter-Fab-Lösungen; mehr als 30 Systeme weltweit installiert.