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Systemintegration, Software und Distributorleistung für automatisierte Halbleiter-Charakterisierung auf Wafer-Ebene.
ATV Systems GmbH
DresdenNeu auf Amplifa
Über ATV Systems
Die ATV Systems GmbH (ehemals AutomatisierungsTechnik Voigt GmbH) mit Sitz in Dresden ist ein Systemintegrator für automatisierte Halbleitercharakterisierung und Automatisierungslösungen für Mess-, Steuer- und Regelungstechnik. Das Unternehmen konfiguriert, integriert und validiert schlüsselfertige On-Wafer-Messsysteme, die Kataloggeräte führender Hersteller mit eigener Hardware und der Software Measmatic™ kombinieren – von DC-Parametrik über Leistungshalbleiterprüfung (SiC, GaN, IGBT) und Silicon Photonics bis hin zu RF-, mmWave- und Terahertz-Anwendungen. Weiterhin entwickelt ATV kundenspezifische Software für Messroutinen und Testautomatisierung, vertreibt Messtechnik von Partnern wie Keithley, Keysight, MPI, Focus Microwaves, Microsanj und Celadon sowie generalüberholte Gebrauchtgeräte mit Gewährleistung. Kunden sind IDMs, Foundries, Fabless-Unternehmen und Forschungsinstitute in Deutschland, Europa und weltweit. Seit 2025 gehört ATV zur MPI-Familie.
- Standort
- Dresden
- Verfahren
- Halbleiter-Charakterisierung auf Wafer-Ebene (On-Wafer-Messtechnik), DC-Parametrik und Device Characterization (I-V/C-V, PCM, WAT), RF-, mmWave- und THz-Messungen (On-Wafer S-Parameter bis 250 GHz, Load-Pull), High-Power Halbleiterprüfung (bis 3 kV triaxial / 10 kV koaxial, 600 A gepulst), Silicon Photonics / photonische Komponenten (Insertionsverlust, PDL, elektrisch-optisch), Load-Pull- und Noise-Messungen (Impedanztuner 1,5 MHz bis 330 GHz, Pulsed-IV), Thermoreflektanz-Thermografie auf Wafer-Ebene (Ortsauflösung bis 250 nm, 10 mK Empfindlichkeit, 50, Automatisierung von Messgeräten und Testsystemen / kundenspezifische Softwareentwicklung
- Werkstoffe
- Silizium (Halbleiter), GaN (Galliumnitrid), SiC (Siliziumkarbid), IGBT (Leistungshalbleiter), DC-Parametrik & Device Characterization, High-Power Halbleiterprüfung, RF-, mmWave- und THz-Messungen, Thermoreflektanz-Thermografie
- Gegründet
- 2000
- Branchen
- Halbleiterindustrie, Leistungshalbleiter (SiC, GaN, IGBT), Silicon Photonics / Photonik, RF/mmWave/Terahertz, Forschungsinstitute, IDMs, Foundries, Fabless-Unternehmen
- 01
Beratung und Systemkonfiguration
- 02
Komponentenauswahl (Messgeräte, Probestationen, Probes)
- 03
Integration und Validierung
- 04
Installation und Schulung
- 05
Service, Wartung und Support
Anwendungen & Messbereiche
DC-Parametrik & Device Characterization
I-V/C-V-Messungen, PCM und WAT mit Keysight B1500A/B1505A auf Wafern bis 200 mm.
High-Power Halbleiterprüfung
Messungen bis 3 kV triaxial / 10 kV koaxial und 600 A gepulst an SiC-, GaN- und IGBT-Bauelementen.
RF-, mmWave- und THz-Messungen
On-Wafer S-Parameter bis 250 GHz und Load-Pull mit PNA-X, MPI Probes und Focus-Impedanztunern.
Thermoreflektanz-Thermografie
Ortsauflösung bis 250 nm und 10 mK Empfindlichkeit für thermische Charakterisierung auf Wafer-Ebene.
Silicon Photonics
Elektrisch-optische Messlösungen für Insertionsverlust, PDL und Wafer-Level-SiPh-Produktion.
Standorte
Dresden
DEHauptsitz
- MPI TS200 Manual Test System (200 mm Waferprobestation)
- Keithley 2400 SourceMeter SMU
- Keithley 2700 Multimeter-/Datenerfassungssystem
- Keithley 4200-SCS Parameteranalysator
- VDI WM-570 (WR2.2) VNA Extender
Branchen
Verfahren & technische Grenzen
| Verfahren | Toleranz | Max. Bauteil | Gewicht | Losgröße | Werkstoffe |
|---|---|---|---|---|---|
| Halbleiter-Charakterisierung auf Wafer-Ebene (On-Wafer-Messtechnik)Prüfung | – | 200 mm (Wafer, TS200) | – | – | Silizium, GaN, SiC |
| DC-Parametrik und Device Characterization (I-V/C-V, PCM, WAT)Prüfung | – | 200 mm (Wafer) | – | – | Silizium, GaN, SiC |
| RF-, mmWave- und THz-Messungen (On-Wafer S-Parameter bis 250 GHz, Load-Pull)Prüfung | – | – | – | – | GaN, GaAs, Silizium |
| High-Power Halbleiterprüfung (bis 3 kV triaxial / 10 kV koaxial, 600 A gepulst)Prüfung | – | – | – | – | SiC, GaN, IGBT |
| Silicon Photonics / photonische Komponenten (Insertionsverlust, PDL, elektrisch-optisch)Prüfung | – | – | – | – | – |
| Load-Pull- und Noise-Messungen (Impedanztuner 1,5 MHz bis 330 GHz, Pulsed-IV)Prüfung | – | – | – | – | GaN |
| Thermoreflektanz-Thermografie auf Wafer-Ebene (Ortsauflösung bis 250 nm, 10 mK Empfindlichkeit, 50Prüfung | – | – | – | – | GaN, SiC, Silizium, IGBT |
| Automatisierung von Messgeräten und Testsystemen / kundenspezifische SoftwareentwicklungEngineering | – | – | – | – | – |
| Systemintegration, Validierung, Installation und Schulung von MesssystemenEngineering | – | – | – | – | – |
10 Anlagen & Maschinen
| Maschine | Hersteller / Modell | Anzahl | Arbeitsraum | Baujahr | Standort |
|---|---|---|---|---|---|
| Manual Probe System (Waferprobestation, 200 mm) | MPI Corporation TS200 Manual Test System | 1 | Chuck XY 240 x 315 mm, Feinauflösung < 1,0 µm; 200 mm Chuck; Thermal Chuck 25x25 mm 25-150 °C | – | Dresden |
| SourceMeter SMU | Keithley 2400 | 1 | 200 V / 1 A / 20 W, 0,012 % Grundmessgenauigkeit, 6½-stellig | – | Dresden |
| Multimeter-/Datenerfassungs-/Schaltsystem | Keithley 2700 | 1 | bis zu 200 Kanäle / 240 Koppelpunkte | – | Dresden |
| Parameteranalysator | Keithley 4200-SCS | 1 | I-V, C-V, ultraschnell gepulste I-V | – | Dresden |
| Semiconductor Device Analyzer | Keysight B1500A | – | – | – | – |
| Semiconductor Device Analyzer (High-Power) | Keysight B1505A | – | – | – | – |
| Vector Network Analyzer | Keysight PNA-X | – | On-Wafer S-Parameter bis 250 GHz | – | – |
| VNA Extender | VDI (Virginia Diodes) WM-570 (WR2.2) VNAX | 1 | – | – | Dresden |
| Impedanztuner (Load-Pull) | Focus Microwaves CCMT/MPT/DELTA-Serie | – | 0,1–120 GHz (Fundamental), bis 330 GHz (Waveguide) | – | – |
| Thermoreflektanz-Thermografiesystem | Microsanj EZ500 / NT220 | – | Auflösung bis 250 nm, 10 mK, 50 ns–500 ps | – | – |
Zusatzleistungen
Historie
- 2000
Gründung der ATV mit Spezialisierung auf Softwarelösungen für Automatisierungsanlagen; Systemintegrator für Messtechnik von Keithley Instruments
- 2010
Systemintegrator und Distributor für Messtechnik von Keithley Instruments
- 2014
Distributor von MPI Advanced Semiconductor Test und LED Produktionstestern
- 2015
Distributor für Nadelkarten von Celadon Systems, Inc.
- 2018
C.N. Rood wird neuer Vertriebspartner für Belgien, Niederlande und Luxemburg
- 2025
ATV wird Teil der MPI Familie
- 2026
ATV ist Keysight Solutions Partner und Partner von Focus Microwaves; Mitgliedschaft im Silicon Saxony e. V.