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Entwicklung und Vermarktung piezoresistiver Self-Sensing-Cantilever für laserfreie AFM-Messungen im Nanobereich.

c-sense GmbH

Langenlois (Hauptsitz) · Wiener Neustadt (TFZ Labor) · Wien (Tech Park Vienna Labor)Neu auf Amplifa

GmbH, FN 539869 a, Handelsgericht KremsRechtsform

Dr. Ernest J. FantnerGeschäftsführung

3Standorte in Österreich

Europa, Nordamerika, AsienLieferregionen

Über c-sense

Die c-sense GmbH ist ein österreichisches Nanotechnologie-Unternehmen mit Hauptsitz in Langenlois (Niederösterreich), Laborstandorten im TFZ Wiener Neustadt und im Tech Park Vienna. Das Unternehmen entwickelt und vermarktet piezoresistive Self-Sensing-Cantilever für die Rasterkraftmikroskopie (AFM), bei denen die Erfassung der Cantilever-Auslenkung elektrisch integriert erfolgt – ohne externe Laserausrichtung und optischen Detektionspfad. Das Produktportfolio umfasst Silizium-Cantilever mit und ohne Spitze, patentierte Trilayer-Cantilever auf Polymer-Dünnschicht-Architektur, leitfähige Varianten für KPFM, EFM und cAFM sowie die Quantum Cryogenic Trilayer (QCT)-Cantilever für Tieftemperatur- und Quantenmessungen. Ergänzend bietet c-sense Auslese-Elektronik (NanoOne Starter Kit, NanoLab Pro), kundenspezifische Cantilever-Entwicklungen, OEM-Integration und Applikationsengineering. Die Technologie, die auf Jahrzehnten der Entwicklung piezoresistiver Self-Sensing-Cantilever basiert und als Nachfolger der SCL Sensor.Tech Aktivitäten geführt wird, wurde in Nature Electronics publiziert. Abnehmer sind Universitäten, Forschungseinrichtungen und industrielle Partner in Europa, Nordamerika und Asien, insbesondere aus Biotechnologie, Halbleiter-Metrologie, Nanomechanik, Quantentechnologien und Magnetmessungen.

Standort: Langenlois
Verfahren: Herstellung von piezoresistiven Self-Sensing AFM-Cantilevern (MEMS-Mikrofabrikation), Entwicklung und Anpassung von Cantilever-Lösungen (Custom Development, OEM-Integration), Systemintegration von Sensortechnologie und Readout-Elektronik (NanoOne, NanoLab Pro), Nanoscale-Messtechnik-Services: Topographie, mechanische Eigenschaften, KPFM/EFM, cAFM, MFM, Bio-AFM, Custom Cantilever Development, OEM Integration, AFM-Integration, Applikationsengineering
Werkstoffe: Silizium, Polymer-Dünnschicht (Trilayer-Architektur), Halbleiter-Dünnschicht (Trilayer), Keramik-Dünnschicht (Trilayer), Trilayer-Architektur (Polymer-Dünnschicht)
Branchen: Biotechnologie, Halbleiter-Metrologie, Nanomechanik, Quantentechnologien, Magnetmessungen, OEM-Instrumentierung

01
Produktdefinition und Custom Cantilever Development
02
MEMS-Mikrofabrikation mit spezialisierten Fertigungspartnern
03
Elektronik für High-Performance-Auslesung (NanoOne, NanoLab Pro)
04
Systemintegration und AFM-Integration
05
Applikationsengineering, Kundensupport und Training

Werkstoffe & Verfahren

Silizium

Grundmaterial der piezoresistiven Self-Sensing-Cantilever, mit oder ohne Silizium-Spitze, in verschiedenen Resonanzfrequenzen und Steifigkeiten.

Tri

Trilayer-Architektur (Polymer-Dünnschicht)

Patentierter Polymer-Halbleiter-Keramik-Schichtaufbau für hohe Kraftsensitivität und flüssigkeitskompatible MEMS-Anwendungen.

cTri

Halbleiter-Dünnschicht (Trilayer)

Wird als Schicht der Trilayer-Cantilever für leitfähige und elektrostatische AFM-Messungen genutzt.

qTri

Keramik-Dünnschicht (Trilayer)

Harte Dünnschicht im Trilayer-Aufbau, optimiert für Tieftemperatur- und Quantenmessumgebungen.

Standorte

Langenlois

Hauptsitz

Werkstoffe: Silizium, Trilayer

Wiener Neustadt

Labor im TFZ Technologie und Forschungszentrum, Viktor Kaplan-Straße 2, Bauteil E – OG 2

NanoOne
NanoLab Pro

Wien

Labor im Tech Park Vienna, Gutheil-Schoder-Gasse 17

Bauteile & Produkte

**Trilayer Self-Sensing Cantilever**MEMS-Mikrofabrikation · Nanomechanik

**Quantum Cryogenic Trilayer (QCT) Cantilever**Piezoresistiver Sensor · Quantentechnologien

**Conductive Trilayer Cantilever**Self-Sensing · KPFM/EFM/cAFM

**NanoOne Starter Kit**Auslese-Elektronik · Systemintegration

Einblicke in die Fertigung

Rendering eines Trilayer-Self-Sensing-Cantilevers mit Dünnschicht und

Vergleich: optische Auslesung versus integrierte piezoresistive Auslesung

Nanomechanisches Mikroskop: AFM-Scanner, Nano-Indenter und optisches Mikroskop

Self-Sensing-Cantileverhalter in einer opaken Flüssigkeit mit AFM-Bildern

Branchen

BiotechnologieHalbleiter-MetrologieNanomechanikQuantentechnologienMagnetmessungenOEM-InstrumentierungForschung/AkademieAdvanced OEM Instrumentation

Verfahren & technische Grenzen

Verfahren	Toleranz	Max. Bauteil	Gewicht	Losgröße	Werkstoffe
Herstellung von piezoresistiven Self-Sensing AFM-Cantilevern (MEMS-Mikrofabrikation)Engineering	–	–	–	–	Silizium, Polymer-Dünnschicht-Trilayer, Halbleiter-Dünnschicht, Keramik-Dünnschicht
Entwicklung und Anpassung von Cantilever-Lösungen (Custom Development, OEM-Integration)Engineering	–	–	–	–	–
Systemintegration von Sensortechnologie und Readout-Elektronik (NanoOne, NanoLab Pro)Montage	–	–	–	–	–
Nanoscale-Messtechnik-Services: Topographie, mechanische Eigenschaften, KPFM/EFM, cAFM, MFM, Bio-AFMPrüfung	–	–	–	–	–

1 Anlagen & Maschinen

Maschine	Hersteller / Modell	Anzahl	Arbeitsraum	Baujahr	Standort
AFM-Messtechnik / Nanomechanisches Mikroskop	c-sense NanoOne Starter Kit / NanoLab Pro Elektronik	–	–	–	Wiener Neustadt / Langenlois / Wien

Zusatzleistungen

Custom Cantilever DevelopmentOEM IntegrationAFM-IntegrationApplikationsengineeringElektronik für High-Performance-Auslesung (NanoOne, NanoLab Pro)Anwendungsspezifische AnpassungKundensupport/Training

Referenzkunden

AlemnisDanube University (Donau-Universität Krems)EPFL

Historie

Aus der Weiterführung der SCL Sensor.Tech Aktivitäten entstanden: Die Technologie basiert auf Jahrzehnten der Entwicklung piezoresistiver Self-Sensing-Cantilever.
Eureka-Label für das CAS-C-Projekt NanoInspect mit den Partnern Alemnis, Donau-Universität Krems und EPFL.
2024
Publikation der Trilayer-Technologie in Nature Electronics (N. Hosseini et al., DOI 10.1038/s41928-024-01195-z).