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Lösungen aus Silizium, Keramik und Quarz sowie Rework-Services für die Halbleiter-, Solar- und LED-Industrie.
CE-MAT GmbH
Linsengericht (Hauptsitz) · Dresden (Büro) · Siegen (Büro)Neu auf Amplifa
Über CE-MAT
Die CE-MAT GmbH wurde 2004 mit dem Ziel gegründet, kostengünstige und innovative Lösungen für den Halbleitermarkt anzubieten. Das Unternehmen ist ein etablierter Lieferant namhafter Halbleiterhersteller in Deutschland, Europa und Asien und bietet darüber hinaus Ersatzteile und Servicelösungen für die Solar- und LED-Industrie. Das Portfolio umfasst Teile aus Silizium für Ofenprozesse (Boote für vertikale und horizontale Öfen, Spezialboote mit herausnehmbaren Waferhalterungen, Prozessrohre), keramische elektrostatische Waferhalterungen (ESCs) mit Funktionsflächen aus hochreinem Al2O3 sowie Consumables für Etch-, CVD- und PVD-Prozesse aus Quarzglas, Silizium, Keramik und CVD-SiC. Im Servicebereich bietet CE-MAT mechanische und chemische Reparatur prozessbelasteter Bauteile einschließlich Reanodisierung nach MIL-A-8625 an, mit Endkontrolle zu Schichtdicke, Scheinleitwert, Rauheit und Durchschlagsfestigkeit sowie Reinraumreinigung und Verpackung der Klasse 100. Das Fundament bilden mehr als 20 Jahre Erfahrung der Gründer und Mitarbeiter im Halbleitermarkt in Europa, Asien und Nordamerika; Partner in Asien und Europa liefern Second-Source- und alternative Lösungen für Teile, Service und Equipment. Der Hauptsitz befindet sich in Linsengericht, ergänzt durch Büros in Dresden und Siegen.
- Standort
- Linsengericht
- Verfahren
- Rework / Wiederaufarbeitung (Reanodisierung gemäß MIL-A-8625), Herstellung von Siliziumbooten für vertikale Ofenprozesse (aus CZ-Monosilizium, Reinraumklasse 100, Herstellung von Siliziumbooten für horizontale Ofenprozesse (25/50 Waferslots, 150–300 mm Wafer), Fertigung von Spezialbooten aus Silizium mit herausnehmbaren Waferhalterungen, Fertigung von Prozessrohren aus Silizium (segmentiert, gasdicht nach Einbau), Herstellung keramischer Elektrostatischer Chucks (ESCs) via Spray Coating (Funktionsflächen aus, Herstellung von Ersatzteilen (Consumables) für Etch-, CVD- und PVD-Prozesse, Lieferung von Ersatzteilen für die Ionenimplantation
- Werkstoffe
- Silizium (CZ-Monosilizium, wafergleich), Quarzglas (geschmolzen oder synthetisch), Siliziumkarbid (SiC), CVD-SiC, Oxidkeramik, Nichtoxidkeramik, Al2O3 (hochreine Oxidkeramik), Polyimid
- Zertifikate
- DIN EN ISO 9001:2015, ISO 9001
- Gegründet
- 2004
- Branchen
- Halbleiterindustrie, Solarindustrie, LED-Industrie
- 01
Anfrage und kundenspezifische Lösung (Spare Parts, Equipment, Service)
- 02
Fertigung bzw. Beschaffung über Partner in Asien und Europa
- 03
Rework: Eingangskontrolle, bauteilspezifische Vorbereitung, Entschichtung,
- 04
Beschichtung nach individueller Beschichtungsanweisung bzw. Reanodisierung nach
- 05
Nacharbeit und Endkontrolle (Schichtdicke, Scheinleitwert, Rauheit,
- 06
Reinraumreinigung und Verpackung (Klasse 100)
- 07
Auslieferung an Kunden in Deutschland, Europa und Asien
Werkstoffe & Verfahren
CZ-Monosilizium (wafergleich)
Hochreines Monosilizium mit waferidentischem Ausdehnungskoeffizient für Siliziumboote und Prozessrohre in Ofenprozessen; minimiert Rückseitendefekte.
Multi- und quasimonokristallines Silizium
Werkstoff für Ersatzteile (Consumables) in Etch-, CVD- und PVD-Prozessen.
Einkristallsilizium
Eingesetzt für Waferadapter.
Quarzglas (geschmolzen oder synthetisch)
Herkömmlicher Trägerwerkstoff für Ofenprozesse bis ca. 950 °C und Material für Ersatzteile in verschiedenen Qualitäten.
Siliziumkarbid (SiC)
Bewährter Werkstoff für Hochtemperatur-Ofenprozesse über 950 °C.
CVD-SiC
Eingesetzt für Waferdummies und hochbeanspruchte Consumables.
Hochreine Oxidkeramik (Al2O3)
Funktionsflächen keramischer ESCs per Spray Coating mit hoher Plasmabeständigkeit und elektrischer Durchschlagsfestigkeit.
Oxid- und Nichtoxidkeramik
Materialpalette für Ersatzteile unter aggressiven, korrosiven Prozessbedingungen.
Polyimid
Klassischer Funktionsflächenwerkstoff von ESCs; CE-MAT liefert alternativ auch Polyimid-ESCs (150–300 mm).
Standorte
Linsengericht
DEHauptsitz mit Fertigung und Service (Rework)
- Werkstoffe
- Silizium, Keramik, Quarzglas, CVD-SiC, Aluminium (anodisierte Bauteile)
- Anodisierungsanlage (Reanodisierung nach MIL-A-8625)
- Reinraumanlage Klasse 100 für Endreinigung und Verpackung
Dresden
DEBüro (Kontakt: Axel Junge)
Siegen
DEBüro (Kontakt: Dr. Ralf Walther)
Produkte & Bauteile
Einblicke in die Fertigung
Branchen
Verfahren & technische Grenzen
| Verfahren | Toleranz | Max. Bauteil | Gewicht | Losgröße | Werkstoffe |
|---|---|---|---|---|---|
| Rework / Wiederaufarbeitung (Reanodisierung gemäß MIL-A-8625)Oberfläche | – | – | – | – | Aluminium (anodisierte Bauteile), Keramik, Silizium, Quarzglas, CVD-SiC |
| Herstellung von Siliziumbooten für vertikale Ofenprozesse (aus CZ-Monosilizium, Reinraumklasse 100Engineering | Ra < 1 µm | – | – | – | Silizium (CZ-Monosilizium) |
| Herstellung von Siliziumbooten für horizontale Ofenprozesse (25/50 Waferslots, 150–300 mm Wafer)Engineering | – | – | – | – | Silizium |
| Fertigung von Spezialbooten aus Silizium mit herausnehmbaren WaferhalterungenEngineering | – | – | – | – | Silizium |
| Fertigung von Prozessrohren aus Silizium (segmentiert, gasdicht nach Einbau)Engineering | – | – | – | – | Silizium |
| Herstellung keramischer Elektrostatischer Chucks (ESCs) via Spray Coating (Funktionsflächen ausOberfläche | – | – | – | – | Al2O3 (Oxidkeramik) |
| Herstellung von Ersatzteilen (Consumables) für Etch-, CVD- und PVD-ProzesseEngineering | – | – | – | – | Quarzglas, Silizium (mono-/multikristallin, quasimonokristallin), Einkristallsilizium, Keramik (Oxid- und Nichtoxidkeramik), CVD-SiC |
| Lieferung von Ersatzteilen für die IonenimplantationEngineering | – | – | – | – | – |
| Vertrieb von O-Ringen (PPE)Montage | – | – | – | – | – |
| Lieferung von Wafer Inspektions ToolsPrüfung | – | – | – | – | – |
2 Anlagen & Maschinen
| Maschine | Hersteller / Modell | Anzahl | Arbeitsraum | Baujahr | Standort |
|---|---|---|---|---|---|
| Anodisierungsanlage (Reanodisierung nach MIL-A-8625) | CE-MAT | – | – | – | Linsengericht |
| Reinraumanlage (Klasse 100) für Endreinigung und Verpackung | CE-MAT | – | – | – | Linsengericht |
Zusatzleistungen
Referenzkunden
Qualität
CE-MAT ist nach DIN EN ISO 9001:2015 zertifiziert. Die Endkontrolle umfasst Schichtdicke, Scheinleitwert, Rauheit und Durchschlagsfestigkeit; Reinigung und Verpackung erfolgen im Reinraum der Klasse 100.
| Nachweis | Linsengericht |
|---|---|
| ISO 9001 |
Historie
- 2004
Gründung der CE-MAT GmbH mit dem Ziel, kostengünstige und innovative Lösungen für den Halbleitermarkt anzubieten.
- 2021
Kooperation mit Creative Technology Corp. (Japan) für elektrostatische Chucks und Prozesskammerbauteile für den nordeuropäischen Markt, Start am 01. März 2021.
- 2024
20-jähriges Firmenjubiläum, gefeiert im Lingener Schloss in Dresden.