Ist das Ihr Unternehmen? Profil übernehmen
Entwicklung und Fertigung von Aberrationskorrektoren, Energiefiltern, Monochromatoren und UHV-SEM-Säulen für Elektronenmikroskope.
CEOS GmbH
HeidelbergNeu auf Amplifa
Über CEOS
Die CEOS GmbH (Corrected Electron Optical Systems) wurde 1996 von Dr. Max Haider und Dr. Joachim Zach in Heidelberg gegründet und entwickelt und produziert elektronenoptische Komponenten für Elektronenmikroskope. Das Produktspektrum umfasst Aberrationskorrektoren für TEM-, STEM- und SEM-Systeme (u. a. CETCOR, ATCOR, BCOR, CCOR, SALVE, CESCOR, DCOR/ASCOR, SEMCOR), abbildende Energiefilter (CEFID), den elektrostatischen Omega-Monochromator für TEM sowie die ultrahochvakuumgeeignete SEM-Säule NanoSAM auf Zeiss-Gemini-Prinzip. Die Komponenten ermöglichen Bildaufnahmen mit Auflösungen bis in den Pikometerbereich und werden in Kleinserie gefertigt. Einsatzgebiete sind Materialwissenschaften, Biowissenschaften (u. a. Kryo-EM) sowie Metrologie- und Inspektionsanwendungen in der Halbleiterindustrie, etwa bei Strukturgrößen unterhalb des 7 nm und 5 nm Technologieknotens. Kunden sind unter anderem ZEISS, JEOL, Hitachi High Technology, Thermo Fisher Scientific, Omicron und HOLON. Am Hauptsitz in Heidelberg stehen Büros, Werkstätten, Labor und Lager- und Technikräume zur Verfügung; zudem entwickelt CEOS die Software CEOS Panta Rhei zur Datenerfassung und -analyse.
- Standort
- Heidelberg
- Verfahren
- Entwicklung und Produktion von Aberrationskorrektoren für TEM-, STEM- und SEM-Systeme, Produktion von TEM Aberrations-Korrektoren (CETCOR, CETCOR-MeV, ATCOR, BCOR, CCOR, SALVE), Produktion von STEM Aberrations-Korrektoren (CESCOR, DCOR/ASCOR), Produktion des SEMCOR Cs/Cc Korrektors für CD-SEM (Halbleiter-Metrologie, Strukturgrößen unter 7 nm, Produktion des CEFID Post-Column Imaging Energy Filters (EFTEM, ESI, EELS, 30–300 kV), Produktion von Monochromatoren für TEM (Omega-Monochromator, 30–200 kV, Energiebreiten 0.7 eV bis, Produktion der Ultrahochvakuum-SEM-Säule NanoSAM (auf Zeiss-Gemini-Prinzip), Entwicklung der Software CEOS Panta Rhei zur Datenerfassung und -analyse (TEM Imaging, EELS, EFTEM,
- Werkstoffe
- Galliumnitrid (GaN) (nur als Beispielprobe in Abbildungen), Silizium (110)-Probe (nur als Beispielprobe in Abbildungen), Elektronenoptische Komponenten, Ultrahochvakuum-Technik, CEOS Panta Rhei (Python)
- Gegründet
- 1996
- Branchen
- Materialwissenschaften, Biowissenschaften (Kryo-EM), Halbleiterindustrie (Metrologie, Inspection), Elektronenmikroskopie, Forschungseinrichtungen
- 01
Forschung und Entwicklung
- 02
Konstruktion der Elektronenoptik
- 03
Fertigung in Werkstätten
- 04
Montage und Test im Labor
- 05
Software-Entwicklung (CEOS Panta Rhei)
- 06
Ausliefung und Integration in Kundensysteme
Entwicklung und Fertigungsverfahren
Elektronenoptische Komponenten
Präzisionskomponenten für TEM, STEM und SEM inkl. Aberrationskorrektoren, Energiefilter und Monochromatoren.
Ultrahochvakuum-Technik
Rein elektrostatischer Aufbau des Omega-Monochromators, geeignet für den Einsatz im Ultrahochvakuum und remanenzfrei bedienbar.
CEOS Panta Rhei (Python)
Open-Source-Software zur Datenerfassung und -analyse für TEM Imaging, EELS, EFTEM und 4D STEM.
Standort
Heidelberg
DEHauptsitz mit Büros, Werkstätten, Labor, Lager- und Technikräumen
- Losgröße
- Kleinserie
- Werkstoffe
- Elektronenoptik, UHV-Technik
Bauteile und Produkte
Einblicke in die Fertigung
Branchen
Verfahren & technische Grenzen
| Verfahren | Toleranz | Max. Bauteil | Gewicht | Losgröße | Werkstoffe |
|---|---|---|---|---|---|
| Entwicklung und Produktion von Aberrationskorrektoren für TEM-, STEM- und SEM-SystemeEngineering | – | – | – | Kleinserie | – |
| Produktion von TEM Aberrations-Korrektoren (CETCOR, CETCOR-MeV, ATCOR, BCOR, CCOR, SALVE)Engineering | – | – | – | – | – |
| Produktion von STEM Aberrations-Korrektoren (CESCOR, DCOR/ASCOR)Engineering | – | – | – | – | – |
| Produktion des SEMCOR Cs/Cc Korrektors für CD-SEM (Halbleiter-Metrologie, Strukturgrößen unter 7 nmEngineering | Auflösung unter 2 nm (Strukturgrößen) | – | – | – | – |
| Produktion des CEFID Post-Column Imaging Energy Filters (EFTEM, ESI, EELS, 30–300 kV)Engineering | Energieauflösung deutlich unter 100 meV (FWHM) | Gerätemaße 326 x 300 x 1160 mm | 130 kg (inkl. TVIPS XF416) | – | – |
| Produktion von Monochromatoren für TEM (Omega-Monochromator, 30–200 kV, Energiebreiten 0.7 eV bisEngineering | Energiebreite bis 0.05 eV | Maße 116 x 139 x 46 mm | – | – | – |
| Produktion der Ultrahochvakuum-SEM-Säule NanoSAM (auf Zeiss-Gemini-Prinzip)Engineering | – | – | – | – | – |
| Entwicklung der Software CEOS Panta Rhei zur Datenerfassung und -analyse (TEM Imaging, EELS, EFTEM,Engineering | – | – | – | – | – |
3 Anlagen & Maschinen
| Maschine | Hersteller / Modell | Anzahl | Arbeitsraum | Baujahr | Standort |
|---|---|---|---|---|---|
| Zeiss TEM Libra 200 (kompatibles TEM für Omega-Monochromator) | Zeiss Libra 200 | – | – | – | Kundensystem / Referenz |
| Hitachi 1.2MeV ultra-high-voltage electron microscope (kompatibles TEM für CETCOR-MeV) | Hitachi 1.2MeV ultra-high-voltage electron microscope | – | – | – | Kundensystem / Referenz |
| Mask CD-SEM 'ZX' (Referenzsystem mit SEMCOR Korrektor) | HOLON Co., Ltd. ZX | – | – | – | Kundensystem / Referenz |
Zusatzleistungen
Referenzkunden
Historie
- 1996
Gründung der CEOS GmbH in Heidelberg durch Dr. Max Haider und Dr. Joachim Zach; Start mit vier Mitarbeitern
- 1999
Errichtung des Firmengebäudes in der Englerstr. 28 nach Plänen der Architekten Schulz & Uhlemann
- 2004
Umsatz von vier Millionen Euro (Stuttgarter Zeitung)
- 2005
Innovationspreis des Landes Baden-Württemberg (Rudolf-Eberle-Preis, 2. Platz); zu diesem Zeitpunkt 24 Mitarbeiter
- 2009
Umbau und Einbindung eines benachbarten Firmengebäudes (Büros, Werkstätten, Lager- und Technikräume)
- 2015
Dr. Stephan Uhlemann und Dr. Heiko Müller wurden im Februar 2015 in die Geschäftsführung berufen