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Entwicklung und Vertrieb von Trockenbett-Chemisorptions- und Plasma-Systemen zur Abgasreinigung in der Halbleiter- und Hightech-Industrie
CS CLEAN SOLUTIONS GmbH
Ismaning (85737) · Burkau (bei Dresden)Neu auf Amplifa
Abgasreinigung für Halbleiter- und andere Hightech-Industriesparten
Die CS CLEAN SOLUTIONS GmbH ist seit 1986 im Bereich der Abgasreinigung für die Halbleiter-, Photovoltaik- und verwandte Hightech-Industrien tätig. Das Unternehmen entwickelt in Ismaning bei München die CLEANSORB-Technologie auf Basis der Trockenbett-Chemisorption, bei der gefährliche Prozessabgase ohne Strom, Wasser oder fossile Brennstoffe in anorganische Salze umgewandelt werden. Zum Portfolio gehören Trockenbett-Absorbersysteme (CLEANSORB FABLINE, FABLINE FX, CLEANSORB TOWER) sowie Atmosphären-Plasma-Quellen (PCS TROPO, PCS STRATO) zum Abbau perfluorierter Verbindungen wie CF4, CHF3, SF6 und NF3. Sämtliche Produkte einschließlich der Chemisorptionsgranulate werden intern vom Entwurf bis zum getesteten Endprodukt entwickelt; Systemgehäuse und Komponenten bestehen aus korrosionsbeständigem 316L-Edelstahl. Zu den Kunden zählen alle namhaften Chip-Hersteller sowie führende Forschungsinstitute weltweit; weitere Absatzbranchen sind Pharma und Chemie. Der Vertrieb und Service erfolgen über ein internationales Netzwerk mit Vertriebs- und Servicepartnern in Europa, Nord- und Südamerika, Asien und Australien, ergänzt durch einen eigenen Standort für Logistik in Burkau bei Dresden.
- Standort
- Ismaning
- Verfahren
- Trockenbett-Chemisorption / Abgasreinigung mit CLEANSORB-Granulat (Umwandlung gefährlicher Gase in, Plasma Conversion (Abbau perfluorierter Verbindungen wie CF4, CHF3, SF6, NF3 mit, Konzipierung, Detaillierung und verfahrenstechnische Auslegung von Abgasreinigungssystemen und, Service & Wartung: Säulenaustausch, Sensor-Kalibrierung, Refill von Absorbersäulen, Inbetriebnahme,, Abgasreinigung/Trockenbett-Chemisorption (CLEANSORB), Plasma Conversion Systems (PCS TROPO/STRATO) für PFC-Abbau, Wiederbefüllungs-/Refill-Service für Absorbersäulen, Wartung, Inbetriebnahme, Installation, Prozessanwendungs-Support
- Werkstoffe
- 316L-Edelstahl (korrosionsbeständig), 316L-Edelstahl, CLEANSORB-Chemisorptionsgranulat, Plasma Conversion (PCS TROPO / PCS STRATO)
- Zertifikate
- AEO (Authorised Economic Operator), Anerkannter Bekannter Versender (Known Consignor), Anerkannter Bekannter Versender (Known Consignor, LBA)
- Gegründet
- 1986
- Branchen
- Halbleiter, Photovoltaik, MEMS, Pharma, Chemie, Forschungsinstitute
- 01
F&E: System- und Anlagendesign, verfahrenstechnische Auslegung
- 02
Prototypenbau, Versuche und Qualifizierung
- 03
Serieneinführung der Systeme (CLEANSORB, PCS)
- 04
Logistik und Versand (Burkau), weltweiter Vertrieb
- 05
Inbetriebnahme, Installation und Parametrierung vor Ort
- 06
Service: Säulenaustausch, Refill, Sensor-Kalibrierung, Wartung, Schulung
Werkstoffe & Verfahren
316L-Edelstahl
Korrosionsbeständiger Edelstahl für Gehäuse und Komponenten der Trockenbett-Chemisorber.
CLEANSORB-Chemisorptionsgranulat
Eigenentwickeltes Trockenbett-Medium, das gefährliche Abgase bei Raumtemperatur in anorganische Salze umwandelt.
Plasma Conversion (PCS TROPO / PCS STRATO)
Atmosphären-Plasmaquellen zum Abbau perfluorierter Verbindungen wie CF4, CHF3, SF6 und NF3.
Standorte
Ismaning
DEHauptsitz, Entwicklung und R&D (System- und Anlagendesign)
- Werkstoffe
- 316L-Edelstahl, CLEANSORB-Chemisorptionsgranulat
- CLEANSORB FABLINE FX (Zweisäulen-Chemisorber)
- CLEANSORB FABLINE
- PCS TROPO / PCS STRATO Plasmaquellen
Burkau
DELogistikstandort (bei Dresden): Warenannahme/-ausgabe, Lagerung, Kommissionierung, Versand
- ERP-System
- Gabelstapler
Systeme & Baugruppen
Einblicke in die Fertigung
Branchen
Verfahren & technische Grenzen
| Verfahren | Toleranz | Max. Bauteil | Gewicht | Losgröße | Werkstoffe |
|---|---|---|---|---|---|
| Trockenbett-Chemisorption / Abgasreinigung mit CLEANSORB-Granulat (Umwandlung gefährlicher Gase inSonstiges (Abgas-/Prozessgasreinigung) | – | – | – | – | 316L-Edelstahl (Gehäuse/Komponenten) |
| Plasma Conversion (Abbau perfluorierter Verbindungen wie CF4, CHF3, SF6, NF3 mitSonstiges (Abgas-/Prozessgasreinigung) | – | – | – | – | – |
| Konzipierung, Detaillierung und verfahrenstechnische Auslegung von Abgasreinigungssystemen undEngineering | – | – | – | – | – |
| Service & Wartung: Säulenaustausch, Sensor-Kalibrierung, Refill von Absorbersäulen, Inbetriebnahme,Sonstiges (Abgas-/Prozessgasreinigung) | – | – | – | – | – |
5 Anlagen & Maschinen
| Maschine | Hersteller / Modell | Anzahl | Arbeitsraum | Baujahr | Standort |
|---|---|---|---|---|---|
| CLEANSORB Trockenbett-Chemisorber (Zweisäulen-Abgasreinigungssystem mit Backup-Säule) | CS CLEAN SOLUTIONS CLEANSORB FABLINE FX | – | – | – | Ismaning (Entwicklung), weltweite Installationen |
| CLEANSORB Trockenbett-Absorbersystem (3 Säulengrößen, Standardmodell Schadgasbeseitigung) | CS CLEAN SOLUTIONS CLEANSORB FABLINE | – | – | – | Ismaning (Entwicklung), weltweite Installationen |
| Atmosphären-Plasma-Quelle zur PFC-Gaszerlegung | CS CLEAN SOLUTIONS PCS TROPO / PCS STRATO | – | – | – | Ismaning (Entwicklung) |
| Mikrowellen-Plasmasystem | CS CLEAN SOLUTIONS PCS PIRANHA | – | – | 2008 (Mark | – |
| CLEANSORB TOWER (Abgasreinigung H2S/H2Se) | CS CLEAN SOLUTIONS CLEANSORB TOWER | – | – | 2010 (erst | – |
Zusatzleistungen
Referenzkunden
Qualität & Zertifizierung
Die Produkte sind auf Sicherheit und Prozesszuverlässigkeit ausgelegt und werden intern vom Entwurf bis zum getesteten Endprodukt entwickelt. Das Unternehmen ist als AEO (Authorised Economic Operator) und als Anerkannter Bekannter Versender durch das Luftfahrt-Bundesamt zertifiziert.
| Nachweis | Ismaning |
|---|---|
| AEO (Authorised Economic Operator) | |
| Anerkannter Bekannter Versender (Known Consignor, LBA) |